公开(公告)号：CN109015393A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201810898314.6

申请日：2018-08-08

申请人： 西安工业大学

发明人： 弥谦 ,  李宏 ,  郭忠达 ,  潘永强 ,  秦琳

IPC分类号： B24C1/08 ,  B24C3/04 ,  B24C5/00 ,  B24C9/00

摘要： 本发明涉及光学元件超光滑表面抛光技术领域，具体涉及一种光学元件超光滑表面的抛光装置及抛光方法。来克服现有技术存在的抛光效率低，需高精度数控机床控制，以及大面积去除出现波度误差的情况。本抛光装置为轴对称结构，包括管道和中间供液的磨头，磨头下端的抛光面为平面，沿圆心在抛光面上等间距设置有数个环状沟槽，环状沟槽分布于抛光面的外圆处；管道将抛光液输送到磨头中心,抛光液为牛顿流体，在压力的作用下抛光液从磨头中心向四周流动，在磨头的抛光面与工件之间形成液膜将磨头与工件隔离开，磨头漂浮在工件表面上，流体流经抛光区域，在抛光面的凹槽处形成涡流，斜入射到工件表面，对工件表面产生剪切力，实现材料的去除。

公开(公告)号：CN108907906A

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201810907288.9

申请日：2018-08-08

申请人： 西安工业大学

发明人： 弥谦 ,  刘卫国 ,  郭忠达 ,  李宏 ,  秦琳

IPC分类号： B24B1/00

摘要： 本发明涉及光学元件超光滑表面抛光技术领域，具体涉及一种非牛顿幂律流体作为抛光介质的液浮抛光方法。对光学玻璃实现高效率、高质量和低成本的加工。本发明的技术方案所用装置包括管道、中间供液的磨头和工作台，所述管道将抛光液输送到磨头中心,抛光液经压力泵将抛光液导入到磨头内部，流经磨头抛光面与工作台上被加工件之间的抛光区域，在抛光区域流体形成的液膜将磨头托起，磨头在液体的作用下达到自平衡状态，流体在抛光区域以一定速度流动，在剪切力作用下流体出现剪切增稠现象，固态粒子将磨粒包裹其中，形成柔性固着磨料，形成类固体形态，对被加工件上的凸峰进行剪切，实现工件表面的去除。