公开(公告)号：CN104409533B

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201410667776.9

申请日：2014-11-20

申请人： 西安电子科技大学

发明人： 杨翠 ,  马京立 ,  张延涛 ,  毛维 ,  张小雷 ,  孟超 ,  刘鹏 ,  张建奇

IPC分类号： H01L31/0352 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 本发明公开了一种InSb红外焦平面探测器阵列及其制作方法。该探测器阵列包括n型InSb衬底(1)和钝化层(7)，n型InSb衬底(1)上刻蚀有t×t个台面(2)，t为整数且t≥1；每个台面(2)上部淀积有阳极(5)，n型InSb衬底(1)边缘上部淀积有“回”字形阴极(6)；所述n型InSb衬底(1)上部和每个台面(2)侧面淀积有保护层(4)；每个台面(2)正下方的n型InSb衬底(1)内设有m个相同的p型等腰三角形掺杂区(3)，m为整数且m≥1，这些p型等腰三角形掺杂区与n型InSb衬底构成pn结。本发明具有工艺简单、量子效率高、串音低的优点，可用于红外侦查和红外医疗领域。

公开(公告)号：CN104465686B

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201410667778.8

申请日：2014-11-20

申请人： 西安电子科技大学

发明人： 杨翠 ,  张延涛 ,  马京立 ,  陈园园 ,  陈晓冬 ,  孟超 ,  张小雷 ,  毛维 ,  吕衍秋 ,  司俊杰

IPC分类号： H01L27/146 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 本发明公开了一种红外探测器阵列及其制作方法。该探测器阵列包括n型InSb衬底(1)和钝化层(7)，n型InSb衬底(1)上刻蚀有t×t个台面(2)，t为整数且t≥1；台面(2)上部淀积有阳极(5)，n型InSb衬底(1)边缘上部淀积有“回”字型阴极(6)；所述n型InSb衬底(1)上部和每个台面(2)侧面淀积有保护层(4)，每个台面(2)正下方的n型InSb衬底(1)内设有m×m个相同的p型锥形掺杂区(3)，形成p型锥形掺杂区阵列，每个p型锥形掺杂区(3)均与n型InSb衬底(1)构成pn结，m为整数且m≥1。本发明具有工艺简单、量子效率高、串音低的优点，可用于红外侦查和红外医疗领域。

公开(公告)号：CN104465812B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201410668714.X

申请日：2014-11-20

申请人： 西安电子科技大学

发明人： 杨翠 ,  马京立 ,  林宏杰 ,  张延涛 ,  马琳 ,  张小雷 ,  孟超 ,  陈晓冬 ,  吕衍秋 ,  司俊杰

IPC分类号： H01L31/0352 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种光伏型探测器阵列及其制作方法。该探测器阵列包括n型InSb衬底(1)和钝化层(7)，n型InSb衬底(1)上刻蚀有t×t个台面(2)，t为整数且t≥1；每个台面(2)上部均淀积有阳极(5)，n型InSb衬底(1)边缘上部淀积有“回”字形阴极(6)；所述n型InSb衬底(1)上部和每个台面(2)侧面淀积有保护层(4)，每个台面(2)正下方的n型InSb衬底(1)内设有m个相同的p型锥形掺杂区(3)，每个p型锥形掺杂区(3)均与n型InSb衬底(1)构成pn结，m为大于或等于1的整数。本发明具有工艺简单、量子效率高、串音低的优点，可用于红外侦查和红外医疗领域。

公开(公告)号：CN104465812A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410668714.X

申请日：2014-11-20

申请人： 西安电子科技大学

发明人： 杨翠 ,  马京立 ,  林宏杰 ,  张延涛 ,  马琳 ,  张小雷 ,  孟超 ,  陈晓冬 ,  吕衍秋 ,  司俊杰

IPC分类号： H01L31/0352 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/035281 ,  H01L31/101 ,  H01L31/184

摘要： 本发明公开了一种光伏型探测器阵列及其制作方法。该探测器阵列包括n型InSb衬底(1)和钝化层(7)，n型InSb衬底(1)上刻蚀有t×t个台面(2)，t为整数且t≥1；每个台面(2)上部均淀积有阳极(5)，n型InSb衬底(1)边缘上部淀积有“回”字形阴极(6)；所述n型InSb衬底(1)上部和每个台面(2)侧面淀积有保护层(4)，每个台面(2)正下方的n型InSb衬底(1)内设有m个相同的p型锥形掺杂区(3)，每个p型锥形掺杂区(3)均与n型InSb衬底(1)构成pn结，m为大于或等于1的整数。本发明具有工艺简单、量子效率高、串音低的优点，可用于红外侦查和红外医疗领域。

公开(公告)号：CN104465686A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410667778.8

申请日：2014-11-20

申请人： 西安电子科技大学

发明人： 杨翠 ,  张延涛 ,  马京立 ,  陈园园 ,  陈晓冬 ,  孟超 ,  张小雷 ,  毛维 ,  吕衍秋 ,  司俊杰

IPC分类号： H01L27/146 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 本发明公开了一种红外探测器阵列及其制作方法。该探测器阵列包括n型InSb衬底(1)和钝化层(7)，n型InSb衬底(1)上刻蚀有t×t个台面(2)，t为整数且t≥1；台面(2)上部淀积有阳极(5)，n型InSb衬底(1)边缘上部淀积有“回”字型阴极(6)；所述n型InSb衬底(1)上部和每个台面(2)侧面淀积有保护层(4)，每个台面(2)正下方的n型InSb衬底(1)内设有m×m个相同的p型锥形掺杂区(3)，形成p型锥形掺杂区阵列，每个p型锥形掺杂区(3)均与n型InSb衬底(1)构成pn结，m为整数且m≥1。本发明具有工艺简单、量子效率高、串音低的优点，可用于红外侦查和红外医疗领域。

公开(公告)号：CN104409533A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201410667776.9

申请日：2014-11-20

申请人： 西安电子科技大学

发明人： 杨翠 ,  马京立 ,  张延涛 ,  毛维 ,  张小雷 ,  孟超 ,  刘鹏 ,  张建奇

IPC分类号： H01L31/0352 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521 ,  H01L31/035209 ,  H01L31/101 ,  H01L31/184

摘要： 本发明公开了一种InSb红外焦平面探测器阵列及其制作方法。该探测器阵列包括n型InSb衬底(1)和钝化层(7)，n型InSb衬底(1)上刻蚀有t×t个台面(2)，t为整数且t≥1；每个台面(2)上部淀积有阳极(5)，n型InSb衬底(1)边缘上部淀积有“回”字形阴极(6)；所述n型InSb衬底(1)上部和每个台面(2)侧面淀积有保护层(4)；每个台面(2)正下方的n型InSb衬底(1)内设有m个相同的p型等腰三角形掺杂区(3)，m为整数且m≥1，这些p型等腰三角形掺杂区与n型InSb衬底构成pn结。本发明具有工艺简单、量子效率高、串音低的优点，可用于红外侦查和红外医疗领域。