公开(公告)号：CN1703298A

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN03825453.0

申请日：2003-05-30

Applicant: 西门子公司

Inventor： D·希勒布兰德 ,  H·J·迈尔 ,  C·奥弗曼

IPC: B23K26/04

CPC classification number: B23K26/04

Abstract: 为了确定激光束的焦点位置，首先利用激光束(4)在样品衬底(5)的表面上产生许多线形图案(L1到L9)，其中逐步改变激光器和衬底表面之间的距离(Z)。之后测量单条线(L)的宽度(b)，并确定具有最小宽度(b5)的线(L5)。属于最小线宽的高度调节(Z5)作为机器的焦距调整被分析和储存。

公开(公告)号：CN1522187A

公开(公告)日：2004-08-18

申请号：CN02813038.3

申请日：2002-05-27

Applicant: 西门子公司

Inventor： A·基尔陶 ,  A·克莱蒂 ,  H·J·迈尔 ,  E·罗兰茨

IPC: B23K26/04 ,  B23K26/02 ,  B23K26/42

CPC classification number: B23K26/04 ,  B23K26/02 ,  B23K26/705 ,  H05K3/0026

Abstract: 为了校准具有激光源(1)，偏转单元(4)和成像单元(5)的激光机光学系统，首先在成像单元的焦平面(Z1)上安排第一样板，其中，通过激光束(2)对预定的网格点加标记。此后，加标记的点通过摄像机(6)进行量测，并且对其位置值与预先确定的目标点的位置值进行比较，以便由此导出和储存第一修正值。之后，把第二样板安排在离开该焦平面一定距离的一第二校准平面(Z2)，也通过激光束对准，并配备标记。该第二样板也通过摄像机(6)测量，并且把测量的标记位置与目标点位置加以比较，以便导出和储存第二修正值。从储存的两个平面的第一和第二修正值通过内插补求出对处于焦平面(Z1)和第二校准平面(Z2)之间空间区域的任一目标点的修正值，并用于控制偏转单元(4)。

公开(公告)号：CN1246116C

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN02813038.3

申请日：2002-05-27

Applicant: 西门子公司

Inventor： A·基尔陶 ,  A·克莱蒂 ,  H·J·迈尔 ,  E·罗兰茨

IPC: B23K26/04 ,  B23K26/02 ,  B23K26/42

CPC classification number: B23K26/04 ,  B23K26/02 ,  B23K26/705 ,  H05K3/0026

Abstract: 为了校准具有激光源(1)，偏转单元(4)和成像单元(5)的激光机光学系统，首先在成像单元的焦平面(Z1)上安排第一样板，其中，通过激光束(2)对预定的网格点加标记。此后，加标记的点通过摄像机(6)进行量测，并且对其位置值与预先确定的目标点的位置值进行比较，以便由此导出和储存第一修正值。之后，把第二样板安排在离开该焦平面一定距离的一第二校准平面(Z2)，也通过激光束对准，并配备标记。该第二样板也通过摄像机(6)测量，并且把测量的标记位置与目标点位置加以比较，以便导出和储存第二修正值。从储存的两个平面的第一和第二修正值通过内插补求出对处于焦平面(Z1)和第二校准平面(Z2)之间空间区域的任一目标点的修正值，并用于控制偏转单元(4)。

公开(公告)号：CN1617784A

公开(公告)日：2005-05-18

申请号：CN03802368.7

申请日：2003-01-07

Applicant: 西门子公司

Inventor： H·J·迈尔

IPC: B23K26/06

CPC classification number: B23K26/0613 ,  B23K26/0604

Abstract: 本发明创立了一种激光加工装置(100)，用这种装置在一个唯一的加工过程中能将两个相互独立的激光束(110，120)导向到相同的加工区域上。通过应用至少部分反射的光学元件(130)使这成为可能，该元件是这样构成的，即基本上将第一个激光束(110)透射和基本上将第二个激光束(120)反射。两个激光束(110和120)的光路，在打到至少部分反射的光学元件(130)上之前，相互独立地通过两个偏转单元(111和121)来变化，并用两个平面场镜组(F－Theta镜头)(112和122)聚焦。

公开(公告)号：CN1711150A

公开(公告)日：2005-12-21

申请号：CN200380102681.2

申请日：2003-10-27

Applicant: 西门子公司

Inventor： A·基尔陶 ,  H·J·迈尔 ,  M·范比森

IPC: B23K26/38 ,  H05K3/00

CPC classification number: H05K3/0032 ,  B23K26/389 ,  H05K2203/0554

Abstract: 在借助激光束在衬底(1)中、优选地在印刷电路板中钻孔(14、15)时，在创建新的钻孔时光束轴分别首先在孔中心点(M)中，然后从那运动到圆形轨道(K)上，以便沿圆形运动来钻该孔。为了避免在孔中心点中的跳跃方向和沿圆形轨道上的固定的预先编程的移位运动之间在孔中心点无突发的方向变化，预定具有相应的钻孔程序的预定数量的移位方向(V1至V8)，从该移位方向中按照到达的光束的跳跃方向选出那些具有最小的方向变化的移位方向。由此，较高的处理速度(在圆形轨道上的跳跃速度和钻孔速度)可在保持或提高孔的钻孔质量时达到并达到致偏单元(2)中的电流计的更长的使用寿命。

公开(公告)号：CN1555666A

公开(公告)日：2004-12-15

申请号：CN02818039.9

申请日：2002-09-04

Applicant: 西门子公司

Inventor： H·德施托伊尔 ,  O·梅尔滕 ,  M·维纳 ,  E·罗兰茨 ,  潘伟 ,  C·奥弗曼 ,  H·J·迈尔

IPC: H05K3/00 ,  B23K26/38

CPC classification number: H05K3/0032 ,  B23K26/389 ,  H05K2203/0554

Abstract: 按照本发明的方法，借助于一个孔板(8)在一个电路基片(6)进行激光钻孔，将激光束(2)在孔板(10)范围在一个环行轨道上移动，环行轨道中心与孔板(8)中当时孔的给定位置同心，其直径(2XR1)小于孔的直径(DM)。此时，要将激光束光斑的直径(DS)选择的，使它在圆周运动时永远覆盖着孔板(8)的中心。这样，在孔板(8)范围使激光源的能量分布达到尽可能的均匀。