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公开(公告)号：CN106024569B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201610428220.3
申请日：2013-10-09
申请人： 诺发系统公司
发明人： 乔治·托马斯 , 班亚·翁森纳库姆 , 弗朗西斯科·J·华雷斯
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/321 , H01J37/32174 , H01J37/32183 , H03H7/40 , H05H2001/4607 , H05H2001/4645 , H05H2001/4682
摘要： 本发明涉及用于电感耦合等离子体系统的混合阻抗匹配。在一方面，一种系统包括被配置为产生并调谐供给信号的频率的发生器。该系统还包括自动匹配网络，该自动匹配网络被配置成接收该供给信号并产生用于给等离子体系统提供功率的阻抗匹配信号。在一些实施方式中，在阻抗匹配操作的第一阶段的过程中，该发生器被配置为调谐该供给信号的频率，直到该发生器确认使该发生器的电抗和该发生器上的负载的电抗最佳匹配的频率。在一些实施方式中，在该阻抗匹配操作的第二阶段的过程中，该自动匹配网络被配置为调谐该自动匹配网络内的调谐元件直到该自动匹配网络确认该调谐元件的使该发生器的电阻和该发生器上的负载的电阻最佳匹配的调谐。
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公开(公告)号：CN103715052B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310467492.0
申请日：2013-10-09
申请人： 诺发系统公司
发明人： 乔治·托马斯 , 班亚·翁森纳库姆 , 弗朗西斯科·J·华雷斯
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/321 , H01J37/32174 , H01J37/32183 , H03H7/40 , H05H2001/4607 , H05H2001/4645 , H05H2001/4682
摘要： 本发明涉及用于电感耦合等离子体系统的混合阻抗匹配。在一方面，一种系统包括被配置为产生并调谐供给信号的频率的发生器。该系统还包括自动匹配网络，该自动匹配网络被配置成接收该供给信号并产生用于给等离子体系统提供功率的阻抗匹配信号。在一些实施方式中，在阻抗匹配操作的第一阶段的过程中，该发生器被配置为调谐该供给信号的频率，直到该发生器确认使该发生器的电抗和该发生器上的负载的电抗最佳匹配的频率。在一些实施方式中，在该阻抗匹配操作的第二阶段的过程中，该自动匹配网络被配置为调谐该自动匹配网络内的调谐元件直到该自动匹配网络确认该调谐元件的使该发生器的电阻和该发生器上的负载的电阻最佳匹配的调谐。
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公开(公告)号：CN106024569A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610428220.3
申请日：2013-10-09
申请人： 诺发系统公司
发明人： 乔治·托马斯 , 班亚·翁森纳库姆 , 弗朗西斯科·J·华雷斯
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/321 , H01J37/32174 , H01J37/32183 , H03H7/40 , H05H2001/4607 , H05H2001/4645 , H05H2001/4682
摘要： 本发明涉及用于电感耦合等离子体系统的混合阻抗匹配。在一方面，一种系统包括被配置为产生并调谐供给信号的频率的发生器。该系统还包括自动匹配网络，该自动匹配网络被配置成接收该供给信号并产生用于给等离子体系统提供功率的阻抗匹配信号。在一些实施方式中，在阻抗匹配操作的第一阶段的过程中，该发生器被配置为调谐该供给信号的频率，直到该发生器确认使该发生器的电抗和该发生器上的负载的电抗最佳匹配的频率。在一些实施方式中，在该阻抗匹配操作的第二阶段的过程中，该自动匹配网络被配置为调谐该自动匹配网络内的调谐元件直到该自动匹配网络确认该调谐元件的使该发生器的电阻和该发生器上的负载的电阻最佳匹配的调谐。
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公开(公告)号：CN103715052A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310467492.0
申请日：2013-10-09
申请人： 诺发系统公司
发明人： 乔治·托马斯 , 班亚·翁森纳库姆 , 弗朗西斯科·J·华雷斯
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/321 , H01J37/32174 , H01J37/32183 , H03H7/40 , H05H2001/4607 , H05H2001/4645 , H05H2001/4682
摘要： 本发明涉及用于电感耦合等离子体系统的混合阻抗匹配。在一方面，一种系统包括被配置为产生并调谐供给信号的频率的发生器。该系统还包括自动匹配网络，该自动匹配网络被配置成接收该供给信号并产生用于给等离子体系统提供功率的阻抗匹配信号。在一些实施方式中，在阻抗匹配操作的第一阶段的过程中，该发生器被配置为调谐该供给信号的频率，直到该发生器确认使该发生器的电抗和该发生器上的负载的电抗最佳匹配的频率。在一些实施方式中，在该阻抗匹配操作的第二阶段的过程中，该自动匹配网络被配置为调谐该自动匹配网络内的调谐元件直到该自动匹配网络确认该调谐元件的使该发生器的电阻和该发生器上的负载的电阻最佳匹配的调谐。
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