微电机系统多层压电致动器的制备方法

    公开(公告)号:CN111081865A

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201911320268.2

    申请日:2019-12-19

    摘要: 本发明公开了一种微电机系统多层压电致动器的制备方法,属于压电陶瓷的制备方法。其制备步骤是:将原料粉体Pb3O4、ZrO2、TiO2、Sb2O3、Nb2O5、NiO、Bi2O3、MgO、Li2CO3混合后再与无水乙醇混合、球磨4h后烘干、过筛,得生瓷粉;瓷粉烧结2h,冷却、过筛,得瓷粉;瓷粉与无水乙醇混合、球磨4h,烘干、过筛;瓷粉与丁酮溶液混合、球磨12h后再与粘接剂、增塑剂混合、继续球磨12h,得浆料;按8-15㎜/s的速度流延成膜片;在膜片表面印刷内电极浆料而形成内电极;将膜片裁切成压电陶瓷生片,叠摞压制成型,得多层压电陶瓷生坯;然后排胶烧结,得多层压电陶瓷;在多层压电陶瓷的两端面印刷外电极浆料,烘干;对多层压电陶瓷进行极化处理。

    压电陶瓷雾化片制备方法

    公开(公告)号:CN109503176A

    公开(公告)日:2019-03-22

    申请号:CN201811538515.1

    申请日:2018-12-17

    IPC分类号: C04B35/622 C04B35/626

    摘要: 本发明公开了一种压电陶瓷雾化片制备方法,属于压电陶瓷的制作方法。其方法是包括造粒、坯体成型、烧结,具体方法是:将陶瓷粉料与聚乙烯醇按100:0.03-0.06的重量比混合,投入混合机中搅拌均匀;转入造粒机进行造粒、过筛,控制造粒机压力为0.5-1T/cm2、出料速度为2-2.5Kg/min;粒料送入烘箱干燥,然后压制成密度为5.2-5.45g/cm3圆片状坯体;将所述坯体烧结成陶瓷片。采用本发明方法制备的压电陶瓷雾化片与采用喷雾造粒方法制备的压电陶瓷雾化片品质相当,但本发明方法的生产效率是喷雾造粒方法的2倍以上,能耗仅为喷雾造粒方法的1/3左右。

    微电机系统多层压电致动器的制备方法

    公开(公告)号:CN111081865B

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN201911320268.2

    申请日:2019-12-19

    摘要: 本发明公开了一种微电机系统多层压电致动器的制备方法,属于压电陶瓷的制备方法。其制备步骤是:将原料粉体Pb3O4、ZrO2、TiO2、Sb2O3、Nb2O5、NiO、Bi2O3、MgO、Li2CO3混合后再与无水乙醇混合、球磨4h后烘干、过筛,得生瓷粉;瓷粉烧结2h,冷却、过筛,得瓷粉;瓷粉与无水乙醇混合、球磨4h,烘干、过筛;瓷粉与丁酮溶液混合、球磨12h后再与粘接剂、增塑剂混合、继续球磨12h,得浆料;按8‑15㎜/s的速度流延成膜片;在膜片表面印刷内电极浆料而形成内电极;将膜片裁切成压电陶瓷生片,叠摞压制成型,得多层压电陶瓷生坯;然后排胶烧结,得多层压电陶瓷;在多层压电陶瓷的两端面印刷外电极浆料,烘干;对多层压电陶瓷进行极化处理。

    一种耐电压压电陶瓷材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN109400152A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201811169343.5

    申请日:2018-10-08

    IPC分类号: C04B35/493 C04B35/622

    摘要: 本发明公开了一种耐电压压电陶瓷材料,所述压电陶瓷材料由Pb3O4、ZrO2、TiO2、ZnO、Nb2O5、Ni2O3、Sb2O3、SrCO3和耐压剂制成,组分式为:0.75Pb(Zr,Ti)O3-0.05Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-0.15Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-0.05Pb(Sb1/3Nb2/3)O3+xwt%SrCO3+ywt%耐压剂,还公开了其制备方法。本申请方法能获得较高的介电以及压电性能:d33≥650pC/N,ε33T/ε0≥5000,Kp≥0.75,在1KHz~4KHz频率下进行测试,电压能够达到140V以上。工艺简单,成本低,耐电压性能优异,应用广泛。