公开(公告)号：CN109384258B

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN201811542186.8

申请日：2018-12-17

申请人： 辽宁师范大学

发明人： 冯秋菊 ,  石博 ,  李昀铮 ,  王德煜 ,  高冲 ,  李梦轲

IPC分类号： C01G15/00

摘要： 本发明公开一种无需催化剂、操作简单、重复性好、可降低制作成本且减少污染的采用化学气相沉积法生长β‑Ga2O3微米线的方法，按如下步骤进行：将纯度大于99%的氧化镓粉末和碳粉按质量比1：1.5混合后作为反应的源材料，将源材料放入石英舟内铺平，在石英舟上放置有位于源材料正上方且长度大于源材料铺平长度1~2cm的盖片，然后再将石英舟推入化学气相沉积设备石英管内的高温加热区，所述盖片材质为蓝宝石或石英；向石英管中通入氩气作为载气，氩气流量为100ml/min；当加热温度达到1100～1200℃时通入氧气，氧气流量为100ml/min，生长时间为30分钟；d.关闭氧气，保持氩气流量，降温后取出石英舟，获得产品。

公开(公告)号：CN109384258A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201811542186.8

申请日：2018-12-17

申请人： 辽宁师范大学

发明人： 冯秋菊 ,  石博 ,  李昀铮 ,  王德煜 ,  高冲 ,  李梦轲

IPC分类号： C01G15/00

CPC分类号： C01G15/00 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/10

摘要： 本发明公开一种无需催化剂、操作简单、重复性好、可降低制作成本且减少污染的采用化学气相沉积法生长β-Ga2O3微米线的方法，按如下步骤进行：将纯度大于99%的氧化镓粉末和碳粉按质量比1：1.5混合后作为反应的源材料，将源材料放入石英舟内铺平，在石英舟上放置有位于源材料正上方且长度大于源材料铺平长度1~2cm的盖片，然后再将石英舟推入化学气相沉积设备石英管内的高温加热区，所述盖片材质为蓝宝石或石英；向石英管中通入氩气作为载气，氩气流量为100ml/min；当加热温度达到1100～1200℃时通入氧气，氧气流量为100ml/min，生长时间为30分钟；d.关闭氧气，保持氩气流量，降温后取出石英舟，获得产品。