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公开(公告)号：CN109384258B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201811542186.8
申请日：2018-12-17
申请人： 辽宁师范大学
IPC分类号： C01G15/00
摘要： 本发明公开一种无需催化剂、操作简单、重复性好、可降低制作成本且减少污染的采用化学气相沉积法生长β‑Ga2O3微米线的方法，按如下步骤进行：将纯度大于99%的氧化镓粉末和碳粉按质量比1：1.5混合后作为反应的源材料，将源材料放入石英舟内铺平，在石英舟上放置有位于源材料正上方且长度大于源材料铺平长度1~2cm的盖片，然后再将石英舟推入化学气相沉积设备石英管内的高温加热区，所述盖片材质为蓝宝石或石英；向石英管中通入氩气作为载气，氩气流量为100ml/min；当加热温度达到1100～1200℃时通入氧气，氧气流量为100ml/min，生长时间为30分钟；d.关闭氧气，保持氩气流量，降温后取出石英舟，获得产品。
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公开(公告)号：CN112850780B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202110021088.5
申请日：2021-01-08
申请人： 辽宁师范大学
IPC分类号： C01G15/00
摘要： 本发明公开一种磷掺杂β‑Ga2O3微米线的制备方法，将纯度大于99.9%的氧化镓粉末、碳粉和P2O5粉末按质量比6:9:1~2配比混合制成反应源材料，将反应源材料放入刚玉舟内，再将刚玉舟放入化学气相沉积系统石英管的中心处，衬底位于反应源材料上方1~2cm处；通入氩气，氩气流量控制在300ml/min；当加热温度达到1100℃时通入氧气，氧气流量控制在300ml/min，生长时间为20～40分钟；关闭氧气，保持氩气流量，降温至室温，取出样品。从微米线样品底部剥离出单根的微米线，在其两端滴定银胶电极，即可制备单根磷掺杂β‑Ga2O3微米线紫外探测器，比未掺杂β‑Ga2O3微米线探测器具有更好的紫外探测性能。
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公开(公告)号：CN112850780A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110021088.5
申请日：2021-01-08
申请人： 辽宁师范大学
IPC分类号： C01G15/00
摘要： 本发明公开一种磷掺杂β‑Ga2O3微米线的制备方法，将纯度大于99.9%的氧化镓粉末、碳粉和P2O5粉末按质量比6:9:1~2配比混合制成反应源材料，将反应源材料放入刚玉舟内，再将刚玉舟放入化学气相沉积系统石英管的中心处，衬底位于反应源材料上方1~2cm处；通入氩气，氩气流量控制在300ml/min；当加热温度达到1100℃时通入氧气，氧气流量控制在300ml/min，生长时间为20～40分钟；关闭氧气，保持氩气流量，降温至室温，取出样品。从微米线样品底部剥离出单根的微米线，在其两端滴定银胶电极，即可制备单根磷掺杂β‑Ga2O3微米线紫外探测器，比未掺杂β‑Ga2O3微米线探测器具有更好的紫外探测性能。
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公开(公告)号：CN109384258A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201811542186.8
申请日：2018-12-17
申请人： 辽宁师范大学
IPC分类号： C01G15/00
CPC分类号： C01G15/00 , C01P2004/03 , C01P2004/10
摘要： 本发明公开一种无需催化剂、操作简单、重复性好、可降低制作成本且减少污染的采用化学气相沉积法生长β-Ga2O3微米线的方法，按如下步骤进行：将纯度大于99%的氧化镓粉末和碳粉按质量比1：1.5混合后作为反应的源材料，将源材料放入石英舟内铺平，在石英舟上放置有位于源材料正上方且长度大于源材料铺平长度1~2cm的盖片，然后再将石英舟推入化学气相沉积设备石英管内的高温加热区，所述盖片材质为蓝宝石或石英；向石英管中通入氩气作为载气，氩气流量为100ml/min；当加热温度达到1100～1200℃时通入氧气，氧气流量为100ml/min，生长时间为30分钟；d.关闭氧气，保持氩气流量，降温后取出石英舟，获得产品。
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