公开(公告)号：CN118888505A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411388809.6

申请日：2024-10-08

申请人： 迈为技术(珠海)有限公司

发明人： 何江玲 ,  黄嘉 ,  盛存国 ,  樊乘煜 ,  陈文涛 ,  陈万群 ,  王正根

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L33/48

摘要： 本发明公开了一种调平压合设备校准方法、装置、调平压合设备及存储介质，本发明通过在上玻璃基板的上表面四周均匀间隔开地设置有四个电机，在进入调平流程后则禁用其中一个电机，并根据上玻璃基板的中心点与尚未禁用的三个电机之间的距离，以及上玻璃基板所吸附的第一晶圆的下表面与下玻璃基板所吸附的第二晶圆的上表面之间的夹角，确定出尚未禁用的电机需要驱动上玻璃基板移动的目标距离，并根据目标距离控制电机驱动上玻璃基板移动，以完成上玻璃基板和下玻璃基板的调平。本发明可以自适应进行上玻璃基板和下玻璃基板的调平，且通过四点调平机构在提高了调平精度的同时，也提高调平过程中的稳定性以及适应性。

公开(公告)号：CN117389200A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202311676959.2

申请日：2023-12-08

申请人： 迈为技术(珠海)有限公司

发明人： 何江玲 ,  樊乘煜 ,  梁志敏 ,  黄嘉

IPC分类号： G05B19/042 ,  H01S5/00

摘要： 本申请涉及一种基于声光偏转器的激光控制系统、方法、计算机设备和存储介质。所述系统包括：上位工控机用于生成激光控制数据集；获取激光控制数据集并将激光控制数据集传输至数据处理模块；激光设备用于出射激光脉冲，并基于门控信号输出同步信号；数据处理模块用于对激光控制数据集进行进制转换，将进制转换后的激光控制数据集传输至声光偏转器；输出门控信号接收的同步信号并匹配已传输的进制转换后的激光控制数据集；声光偏转器用于基于进制转换后的激光控制数据集调节频率、幅值和啁啾，控制激光脉冲；接口电路模块与上位工控机、激光设备、数据处理模块、声光偏转器连接。采用本系统能够高精度、高响应的激光控制。