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公开(公告)号：CN104321701A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380025372.3
申请日：2013-03-20
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: G03F7/20 , H01J37/32 , H01J37/317 , H01L21/67
CPC classification number: H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , F15D1/025 , G03F7/70925 , G21K2201/06 , H01J9/38 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J37/32862 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/327 , Y10T137/2082 , Y10T137/87571
Abstract: 本发明涉及用于运输自由基的装置。该装置包括等离子体发生器和导向体。等离子体发生器包括其中可以形成等离子体的室(2)。该室具有用于接收输入气体的进口(5)，和用于排除在室中产生的等离子体和自由基中的至少一者的一个或多个出口(6)。该导向体是中空的，且布置成朝向要除去的污染沉积物所在的区域或空间引导在等离子体中形成的自由基。该室进口连接到压力装置(40)，该压力装置用于向室中提供脉动的压力，以便在导向体中产生流。
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公开(公告)号：CN106933063B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201710159862.2
申请日：2013-03-20
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: G03F7/20 , H01J37/317 , H01J37/32 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 一种电子射束光刻系统，包括：子束发生器，用于生成多个电子子束；子束操纵器，其包括孔径阵列，用于操纵所述多个电子子束；对准框架，其被布置成支撑所述子束操纵器；被布置成支撑所述对准框架的框架；用于产生等离子体的等离子体发生器，其中所述等离子体发生器包括其中可以形成等离子体的室，其中所述系统被设置成朝向所述孔径阵列引导在所述等离子体中形成的自由基，并且其中所述等离子体发生器的室被集成到所述对准框架中。
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公开(公告)号：CN106933063A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710159862.2
申请日：2013-03-20
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: G03F7/20 , H01J37/317 , H01J37/32 , B82Y10/00 , B82Y40/00
CPC classification number: H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , F15D1/025 , G03F7/70925 , G21K2201/06 , H01J9/38 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J37/32862 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/327 , Y10T137/2082 , Y10T137/87571
Abstract: 一种电子射束光刻系统，包括：子束发生器，用于生成多个电子子束；子束操纵器，其包括孔径阵列，用于操纵所述多个电子子束；对准框架，其被布置成支撑所述子束操纵器；被布置成支撑所述对准框架的框架；用于产生等离子体的等离子体发生器，其中所述等离子体发生器包括其中可以形成等离子体的室，其中所述系统被设置成朝向所述孔径阵列引导在所述等离子体中形成的自由基，并且其中所述等离子体发生器的室被集成到所述对准框架中。
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公开(公告)号：CN104321701B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201380025372.3
申请日：2013-03-20
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: G03F7/20 , H01J37/32 , H01J37/317 , H01L21/67
CPC classification number: H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , F15D1/025 , G03F7/70925 , G21K2201/06 , H01J9/38 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J37/32862 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/327 , Y10T137/2082 , Y10T137/87571
Abstract: 本发明涉及用于运输自由基的装置。该装置包括等离子体发生器和导向体。等离子体发生器包括其中可以形成等离子体的室(2)。该室具有用于接收输入气体的进口(5)，和用于排除在室中产生的等离子体和自由基中的至少一者的一个或多个出口(6)。该导向体是中空的，且布置成朝向要除去的污染沉积物所在的区域或空间引导在等离子体中形成的自由基。该室进口连接到压力装置(40)，该压力装置用于向室中提供脉动的压力，以便在导向体中产生流。
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