-
公开(公告)号：CN103748655A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201280018132.6
申请日：2012-03-26
申请人： 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32055 , C23C14/325 , H01J37/32064 , H05B7/148 , H05B7/20 , H05H2001/4682
摘要： 本发明涉及一种用于运行脉冲断续火花放电的方法。火花通过电容器来馈电。在脉冲之间有断开的时间间隔，在断开的时间间隔期间没有火花电流流动。在脉冲之内，即在接通的时间间隔期间在达到电流阈值时电荷输送被停止并且重新开动，使得在脉冲之内出现子脉冲。按照本发明，时间间隔和子脉冲被选择，使得在重新接通电容器时火花放电没有困难地重新点燃。
-
公开(公告)号：CN101682090A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880015778.2
申请日：2008-05-09
申请人： 许廷格电子有限公司
CPC分类号： H01J37/32064 , H01J37/32091 , H01J37/32174 , H01M10/42 , H01M10/425 , H01M10/4264 , H01M10/44 , H05H1/36 , Y02E60/12
摘要： 一种电路配置(9)，所述电路配置(9)用于减少在用来连接供电单元(5)与尤其为等离子体应用的负载(2)的一根或多根引线(3.1，3.2)中或所述负载中存储的电能，所述电路配置(9)包括至少一个与所述引线(3.1，3.2)中的至少一根可操作地连接的开关装置(SS)，所述开关装置(SS)用于使能/中断向所述负载(2)的供电(5)。所述电路配置(9)还包括第一电非线性器件，与所述第一电非线性器件串联设置的能量存储器件，以及与所述能量存储器件可操作地连接的预充电电路(7；7.1；7.1’)，其用于在使能向所述负载(2)供电的同时，在所述能量存储器件中存储能量到达预定的能量水平。
-
公开(公告)号：CN106255305A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610238168.5
申请日：2016-04-18
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： H05H1/24
CPC分类号： H01J37/32064 , A61L2/14 , C02F1/4608 , C02F2303/04 , H01J37/32036 , H01J37/32045 , H01J37/32816 , H01J37/32825 , H05H1/48 , H05H2001/4682 , H05H1/24
摘要： 本发明提供一种等离子体生成装置，能够通过降低升压变压器的升压比实现电源小型化、降低成本或者降低耗电。等离子体生成装置具备：电极对，通过在电极对之间施加电压，使大气压中产生等离子体；以及电源。所述电源包括升压变压器，该升压变压器具有0.9以上且0.9999以下的耦合系数，且生成向所述电极对之间施加的所述电压。
-
公开(公告)号：CN101702936B
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN200880019315.3
申请日：2008-06-05
申请人： 株式会社普来马特
IPC分类号： G01R31/12
CPC分类号： H05H1/26 , H01J37/32055 , H01J37/32064 , H05H2001/3494
摘要： 本发明提供一种电弧检测装置和使用该电弧检测装置的电弧监测方法。所述的电弧检测装置包括：连接至负载并传输电压或电流的电气信号的传输线；测量所述传输线的电流或电压的电气信号的检测器；以及对所述电气信号进行处理以便产生至少一个电弧检测信号的处理器。这里，所述电弧检测信号是对应于在所述负载中产生的电弧而产生的。
-
公开(公告)号：CN102216486B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200980145840.4
申请日：2009-10-27
申请人： 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/022 , C23C14/025 , H01J37/32055 , H01J37/32064
摘要： 本发明涉及一种用于在真空处理设备中对工件进行表面处理的方法，该真空处理设备具有构成为靶的第一电极，该第一电极是电弧蒸镀源的部件，其中在该第一电极上用火花电流运行火花，通过该火花电流从所述靶蒸镀材料，该材料至少部分及暂时地沉积在工件上，并且该真空处理设备具有构成为工件固定装置并且与工件一起形成偏置电极的第二电极，其中借助电压源来施加偏置电压到偏置电极上，其中使得偏置电压与火花电流相协调地被施加，使得在表面上基本上纯粹不发生材料合成。
-
公开(公告)号：CN101517682A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780034098.0
申请日：2007-09-13
申请人： 先进能源工业公司
发明人： J·潘克拉茨
IPC分类号： H01H9/50
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32064 , H01J37/32935 , H01J2237/0206 , H05H2001/4682
摘要： 本发明公开了一种用于管理传送到工艺处理腔室的电力的系统和方法。在一个实施例中，通过电缆将电力传送到所述工艺处理腔室，所述电缆存储能量并且包括第一导体和第二导体，第一导体具有相对于第二导体的第一电压极性。所述第一导体的电压极性相对于第二导体被反向，并且当第一电缆的极性被反向时，将电缆中所存储的能量的至少一部分提供到等离子体腔室。
-
公开(公告)号：CN104885349B
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201380068716.9
申请日：2013-11-01
申请人： 先进能源工业公司
CPC分类号： H01J37/32064 , H01J37/32027 , H01J37/32055 , H01J37/34 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/4682
摘要： 本公开描述了一种非耗能缓冲器电路，所述非耗能缓冲器电路被配置为在负载的阻抗快速地上升之后升高施加到所述负载的电压。电压升高从而能够在由所述负载的阻抗上升导致的到所述负载的电力递送的降低之后引起更加快速的电流斜坡变化。尤其地，缓冲器能够包括单向开关、电压倍增器、以及电流限制器的组合。在一些情况下，这些部件能够分别是二极管、电压两倍器、以及电感器。
-
公开(公告)号：CN104871285B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201380066339.5
申请日：2013-12-18
申请人： 通快许廷格两合公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32944 , H01J37/32064 , H01J37/3299
摘要： 一种用于在等离子体系统(1)的等离子体腔室(6)中的灭弧的灭弧方法，包括以下方法步骤：a.在等离子体操作期间产生功率，以便在所述等离子体腔室中生成等离子体和以便使用所生成的等离子体来进行等离子体处理过程，其中，数字‑模拟转换器(DAC)(41)生成要提供到放大器路径(31、32)并在那里放大的模拟信号；b.借助于电弧检测针对电弧的产生来监测等离子体系统；c.如果在步骤b中检测到电弧：通过电弧检测装置以使DAC的模拟输出信号被改变的方式来控制DAC。
-
公开(公告)号：CN104871285A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380066339.5
申请日：2013-12-18
申请人： 通快许廷格两合公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32944 , H01J37/32064 , H01J37/3299
摘要： 一种用于在等离子体系统(1)的等离子体腔室(6)中的灭弧的灭弧方法，包括以下方法步骤：a.在等离子体操作期间产生功率，以便在所述等离子体腔室中生成等离子体和以便使用所生成的等离子体来进行等离子体处理过程，其中，数字-模拟转换器(DAC)(41)生成要提供到放大器路径(31、32)并在那里放大的模拟信号；b.借助于电弧检测针对电弧的产生来监测等离子体系统；c.如果在步骤b中检测到电弧：通过电弧检测装置以使DAC的模拟输出信号被改变的方式来控制DAC。
-
公开(公告)号：CN102605330B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201210096960.3
申请日：2009-10-27
申请人： 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/022 , C23C14/025 , H01J37/32055 , H01J37/32064
摘要： 一种对用于PVD方法的衬底进行预处理的方法。本发明涉及一种用于在真空处理设备中对工件进行表面处理的方法，该真空处理设备具有构成为靶的第一电极，该第一电极是电弧蒸镀源的部件，其中借助该第一电极以火花电流运行火花，通过该火花从所述靶蒸镀材料，该材料至少部分及暂时地沉积在工件上，并且该真空处理设备具有构成为工件固定装置并且与工件一起形成偏置电极的第二电极，其中借助电压源来施加偏置电压到偏置电极上，其中使得偏置电压与火花电流相协调地被施加，使得在表面上基本上纯粹不发生材料合成。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
27 条记录 (耗时 0.011 秒)
