-
公开(公告)号：CN114830435B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202080087778.4
申请日：2020-12-16
申请人： 通快许廷格两合公司
摘要： 本发明涉及一种高频率高电压电流导体设备(10)，其具有电导体(13、14)，所述高频率高电压电流导体设备设计为，以相对于气态环境(3)和/或接地体(11、12)的高频率高电压运行，其中，所述导体(13、14)在至少一个部位上接触导电的接触装置(15、16)，所述接触装置布置在电绝缘的支架(17、18)上，其中，在所述导电的接触装置(15、16)上布置有导电的场分布组件(19、20)，所述场分布组件与所述接触装置(15、16)导电地连接，并且尤其至少部分地布置在所述支架(17、18)的内部。
-
公开(公告)号：CN116848615A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202280014591.0
申请日：2022-02-10
申请人： 通快许廷格两合公司
发明人： F·迈尔 , T·施普伦格-洛伦茨
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明涉及一种用于为等离子体产生高频电功率信号的功率供给装置(1)，所述功率供给装置具有功率发生器(2)和与所述功率发生器(2)连接的阻抗匹配组件(6)，其中，所述功率供给装置(1)设立为用于，尤其是在所述阻抗匹配组件(6)的输入端(5)上或者在所述功率发生器(2)的输出端(3)上确定阻抗参量，在预给定的时间段中求取基于阻抗的质量特性数值(17)，并且输出所述基于阻抗的质量特性数值。
-
公开(公告)号：CN103765772A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280030006.2
申请日：2012-04-13
申请人： 通快许廷格两合公司
CPC分类号： H03H7/40 , H01J37/32183 , H05H2001/4682
摘要： 一种用于高频（HF）功率供给装置（10，30，50）与负载（14）进行阻抗匹配的方法，所述方法包括以下方法步骤：a.借助调制频率的调制信号（E）对高频功率信号进行频率调制；b.探测与由所述负载反射的功率有关的信号（B）；c.借助解调频率的解调信号解调探测到的信号（B）或由探测到的信号得到的信号（C，D）；d.由经解调的信号（F）产生阻抗匹配信号（G）。
-
公开(公告)号：CN116918252A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202280018122.6
申请日：2022-03-01
申请人： 通快许廷格两合公司
IPC分类号： H03H7/40
摘要： 本发明涉及一种用于借助阻抗匹配网络(2)的阻抗匹配的方法，该阻抗匹配网络具有用于连接HF功率发生器(5)的输入端(3)和用于连接到负载(6)的输出端(4)，该阻抗匹配网络至少具有第一和第二串联接通的匹配级(10，12)，所述匹配级分别具有可变电抗(XP，XS)，该方法具有以下步骤：a)测量输入阻抗(Zin)，b)由所测量的输入阻抗(Zin)和所述匹配级中的至少一个匹配级的至少一个当前状态值来求取中间阻抗(Zinter)，c)由该中间阻抗(Zinter)和该阻抗匹配网络(2)的模型来求取针对匹配级(10，12)的至少一个电抗(XP，XS)的改变期望值(dXP，dXS)，d)基于该改变期望值(dXP，dXS)来改变所述匹配级(10，12)中的至少一个匹配级的状态，e)重复所述步骤a)至d)。
-
公开(公告)号：CN103765772B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201280030006.2
申请日：2012-04-13
申请人： 通快许廷格两合公司
CPC分类号： H03H7/40 , H01J37/32183 , H05H2001/4682
摘要： 一种用于高频（HF）功率供给装置（10，30，50）与负载（14）进行阻抗匹配的方法，所述方法包括以下方法步骤：a.借助调制频率的调制信号（E）对高频功率信号进行频率调制；b.探测与由所述负载反射的功率有关的信号（B）；c.借助解调频率的解调信号解调探测到的信号（B）或由探测到的信号得到的信号（C，D）；d.由经解调的信号（F）产生阻抗匹配信号（G）。
-
公开(公告)号：CN117501403A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202280042869.5
申请日：2022-06-03
申请人： 通快许廷格两合公司
发明人： F·迈尔
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明涉及一种用于求取并且提供描述等离子体工艺的数据流的信号处理系统，所述信号处理系统具有：a)检测装置(10)，所述检测装置设立为用于检测在预给定的时间区间(n＝T1…T8)中重复的信号变化过程(100，101)，所述信号变化过程根据等离子体工艺状态改变，b)求取装置(12，14)，所述求取装置设立为用于基于在各一个时间区间中检测到的至少两个信号变化过程(100，101)产生所述数据流，其中，所述数据流具有用于所述等离子体工艺的连续求取出的稳定性特征数值。也公开一种用于产生用于等离子体的脉冲式电高频功率信号的功率供给装置(1)，所述功率供给装置具有功率发生器(2)、阻抗匹配组件(6)并且具有这样的信号处理系统，所述阻抗匹配组件与所述功率发生器连接，并且公开一种用于等离子体工艺的工艺调节组件，所述工艺调节组件设立为用于使用来自这样的信号处理系统的稳定性特征数值。
-
公开(公告)号：CN108292581A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680062761.7
申请日：2016-10-25
申请人： 通快许廷格两合公司
摘要： 一种用于使负载(28)的阻抗与功率发生器(40)的输出端阻抗匹配的方法，所述方法包括以下方法步骤：a.借助功率发生器(40)生成功率；b.通过具有能够通过调整元件(12，14，16)改变的至少一个电抗(18，20，22)的阻抗匹配装置(10)向负载(28)供给所述功率，其中，所述阻抗匹配装置(10)将在所述负载(18)的输入端上的负载阻抗(27)转变为在所述阻抗匹配装置(10)的输入端上的经转换的负载阻抗(29)；c.检测或者确定在所述负载(28)上反射的功率或者至少一个与之有关系的参量；d.根据所述反射功率或者所述至少一个与之有关系的参量检查：是否存在不匹配；e.根据至少一个预给定的标准确定在复数的负载平面中、尤其在Smith图(60)中的轨迹曲线(50)；f.如此控制所述至少一个调整元件(12，14，16)，使得经转换的负载阻抗遵循所述轨迹曲线(50)。
-
公开(公告)号：CN114830435A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202080087778.4
申请日：2020-12-16
申请人： 通快许廷格两合公司
摘要： 本发明涉及一种高频率高电压电流导体设备(10)，其具有电导体(13、14)，所述高频率高电压电流导体设备设计为，以相对于气态环境(3)和/或接地体(11、12)的高频率高电压运行，其中，所述导体(13、14)在至少一个部位上接触导电的接触装置(15、16)，所述接触装置布置在电绝缘的支架(17、18)上，其中，在所述导电的接触装置(15、16)上布置有导电的场分布组件(19、20)，所述场分布组件与所述接触装置(15、16)导电地连接，并且尤其至少部分地布置在所述支架(17、18)的内部。
-
公开(公告)号：CN108292581B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201680062761.7
申请日：2016-10-25
申请人： 通快许廷格两合公司
摘要： 一种用于使负载(28)的阻抗与功率发生器(40)的输出端阻抗匹配的方法，所述方法包括以下方法步骤：a.借助功率发生器(40)生成功率；b.通过具有能够通过调整元件(12，14，16)改变的至少一个电抗(18，20，22)的阻抗匹配装置(10)向负载(28)供给所述功率，其中，所述阻抗匹配装置(10)将在所述负载(18)的输入端上的负载阻抗(27)转变为在所述阻抗匹配装置(10)的输入端上的经转换的负载阻抗(29)；c.检测或者确定在所述负载(28)上反射的功率或者至少一个与之有关系的参量；d.根据所述反射功率或者所述至少一个与之有关系的参量检查：是否存在不匹配；e.根据至少一个预给定的标准确定在复数的负载平面中、尤其在Smith图(60)中的轨迹曲线(50)；f.如此控制所述至少一个调整元件(12，14，16)，使得经转换的负载阻抗遵循所述轨迹曲线(50)。
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
9 条记录 (耗时 0.024 秒)
