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公开(公告)号：CN113551812B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202110462429.2
申请日：2021-04-27
申请人： 陕西省计量科学研究院 , 西安交通大学
发明人： 王鸿雁 , 李学琛 , 关卫军 , 吴永顺 , 魏于昆 , 山涛 , 王爱华 , 付磊 , 赵立波 , 韩香广 , 皇咪咪 , 徐廷中 , 杨萍 , 王李 , 陈翠兰 , 罗国希 , 王永录 , 蒋庄德
摘要： 本发明公开了一种十字梁膜应力集中微压传感器芯片及其制备方法，感器芯片包括承压薄膜、硅基底、压敏电阻条、金属引线和防过载玻璃基底等。具体结构为在硅基底背面刻蚀形成承压薄膜以及半岛与岛屿结构，在硅基底正面刻蚀四块钻石形区域形成十字梁。芯片背腔相邻的岛屿与岛屿之间、岛屿与半岛之间的间隙所对应的芯片正面形成应力集中区域，四个压敏电阻条布置在该应力集中区域上，利用重掺杂欧姆接触区、金属引线以及金属焊盘将压敏电阻条连接形成惠斯通电桥，十字梁的存在可以进一步提高压敏电阻条处的应力集中效果。
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公开(公告)号：CN113551812A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110462429.2
申请日：2021-04-27
申请人： 陕西省计量科学研究院 , 西安交通大学
发明人： 王鸿雁 , 李学琛 , 关卫军 , 吴永顺 , 魏于昆 , 山涛 , 王爱华 , 付磊 , 赵立波 , 韩香广 , 皇咪咪 , 徐廷中 , 杨萍 , 王李 , 陈翠兰 , 罗国希 , 王永录 , 蒋庄德
摘要： 本发明公开了一种十字梁膜应力集中微压传感器芯片及其制备方法，感器芯片包括承压薄膜、硅基底、压敏电阻条、金属引线和防过载玻璃基底等。具体结构为在硅基底背面刻蚀形成承压薄膜以及半岛与岛屿结构，在硅基底正面刻蚀四块钻石形区域形成十字梁。芯片背腔相邻的岛屿与岛屿之间、岛屿与半岛之间的间隙所对应的芯片正面形成应力集中区域，四个压敏电阻条布置在该应力集中区域上，利用重掺杂欧姆接触区、金属引线以及金属焊盘将压敏电阻条连接形成惠斯通电桥，十字梁的存在可以进一步提高压敏电阻条处的应力集中效果。
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公开(公告)号：CN115638915A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211356138.6
申请日：2022-11-01
申请人： 陕西省计量科学研究院
摘要： 本发明公开了一种高精度微压测量装置，包括安装壳、活塞杆、托盘、活塞缸、压力补偿机构和加压机构；托盘固定在活塞杆的上端；活塞缸固定在安装壳顶部开设的安装口处，活塞缸内从上至下连通设有第一气室与第二气室，活塞杆的下端延伸至第二气室内，活塞杆上设有环形凸块，环形凸块位于第一气室内；压力补偿机构与第一气室的侧壁底部连接；加压机构与第二气室的底部连接。本发明还公开了一种高精度微压测量方法，不同于传统的微压测量设计方案，通过使用一个补偿压力平衡活塞杆与托盘质量，从而降低了活塞杆的起步压力，消除传统活塞式压力计微压测量起步压力过高的先天性缺陷，可以实现从0kPa起步微小压力的高精度测量。
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公开(公告)号：CN116337136A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310343080.X
申请日：2023-03-31
申请人： 陕西省计量科学研究院
摘要： 本发明的目的是提一种供解决目前温湿度表校准准确率低并且效率低的温湿度表校准方法及系统，将需要校准的待检温湿度表设置在挂架上，再通过图像采集装置对每一个待检温湿度表的示值区进行位置记录，关闭检测箱后按照设定的温湿度试验值对检测箱内的检测环境进行调节，在满足设定的温湿度试验值后，驱动图像采集装置按照记录的图像采集坐标移动至每一个待检温湿度表示值区的正前方对示值区的检测值进行图像采集，最后根据采集的示值图像直接读取待检温湿度表的示值，对多个温湿度表进行同时检测，连续实现对待检温湿度表在不同检测环境下的校准，提高了校准效率，满足实际使用需求。
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公开(公告)号：CN108375452A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201810214704.7
申请日：2018-03-15
申请人： 陕西省计量科学研究院
IPC分类号： G01L27/00
摘要： 本发明涉及一种基于图形化的活塞辅助检定系统，包括硬件系统及软件系统，所述硬件系统包括激光位移传感器、多通道数据采集卡及上位机，所述软件系统为计算机高级语言开发的上位机软件，包括串口通讯模块、数据处理模块、曲线图绘制模块、软件设置模块及下降速度检测模块；所述多通道数据采集卡包括微处理器及与之分别电连接的A/D转换电路、信号调理电路、电源电路和串口通信电路；所述多通道数据采集卡及上位机通过串口通讯；所述微处理器为数据采集卡的核心，其通过RS232串口通讯电路电连接上位机；本发明的优点是，具有图形化显示、精度高，复现性强，效率高，易操作，人性化等特点。
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公开(公告)号：CN219319691U
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202321414857.9
申请日：2023-06-06
申请人： 陕西省计量科学研究院
摘要： 本实用新型公开了一种真空氦漏孔配气装置，包括氦气供气组件、第一减压器和第二减压器，第一减压器用于将氦气供气组件输入的气压调节为第一气压值，第一减压器的输入端与氦气供气组件的输出端连通，第一减压器的输出端与第一输出阀的输入端连通；第二减压器用于将氦气供气组件输入的气压调节为第二气压值，第二减压器的输入端与氦气供气组件的输出端连通，第二减压器的输出端与第二输出阀的输入端连通，第二输出阀的输出端与第一输出阀的输出端连通；第二输出阀的输出端用于和漏孔连通。本实用新型通过设置的双配气支路，能够根据需求来提高配气压力输出范围，从而提高配气效率，具有使用方便，输出气压精度高等优点。
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公开(公告)号：CN218411080U
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202222094379.X
申请日：2022-08-10
申请人： 陕西省计量科学研究院
IPC分类号： G01B11/30
摘要： 本实用新型公开的属于平面平晶自动检测装置技术领域，具体为基于机器视觉的平面平晶自动检测装置，包括平面等厚干涉仪、工业相机和数据处理终端，所述平面等厚干涉仪中部设置有安装架，所述安装架上设置有安装环，所述安装环上设置有工业相机，所述工业相机底部设置有连接杆，所述连接管工业相机外壁上连接有信号传输模块，所述信号传输模块电性输入连接数据处理终端，通过保留平面等厚干涉仪的原有光路系统确保其输出准确的干涉条纹，仅对读数部分进行硬件改造。采用工业相机代替读数显微镜进行图像识别采集，提高检测精度和效率。
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公开(公告)号：CN207923361U
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201820372996.2
申请日：2018-03-19
申请人： 陕西省计量科学研究院
摘要： 本实用新型公开了一种基于图形化活塞辅助检定装置，包括标准激光位移传感器、被检激光位移传感器、数据采集卡、上位机，所述数据采集卡前侧设置有所述标准激光位移传感器和所述被检激光位移传感器，所述数据采集卡后侧设置有所述上位机，所述数据采集卡包括壳体，所述壳体内侧设置有连接器，所述连接器后侧设置有数字模拟转换器，所述数字模拟转换器后侧设置有信号调理电路，所述信号调理电路下侧设置有微处理器。本实用新型的有益效果在于：通过激光位移传感器来检测活塞的位移量，精度更高，通过数据采集卡和上位机的数据处理能力，能够自动通过图形化实时监测活塞式压力计的运动状态和运动轨迹，同时具有传感器校准的功能。
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公开(公告)号：CN219434133U
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202320639916.6
申请日：2023-03-28
申请人： 陕西省计量科学研究院
IPC分类号： G01D21/02 , G01D11/30 , H04N23/695 , F16M11/42 , F16M11/08
摘要： 本实用新型涉及温湿度检测技术领域，具体为一种环境试验箱温湿度采集系统，包括温湿度表、温湿度表固定单元和图像采集单元，温湿度表固定单元设置在的环境试验箱内部，温湿度表设置在温湿度表固定单元上，图像采集单元读取温湿度表的读数。本实用新型采用机器视觉的方式，将温湿度表数据以图片的形式传输给外部显示装置，避免了需要打开环境试验箱才能进行温湿度表数据的读取，避免了操作人员肉眼读取数据再录入可能出现的误差，简化了操作人员的工作程序和工作量。
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公开(公告)号：CN215178358U
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202122776515.9
申请日：2021-11-15
申请人： 陕西省计量科学研究院
摘要： 本实用新型公开了一种数字式氧气吸入器检定装置，壳体内设有控制电磁阀组，包括进气电磁阀、第一放气电磁阀和第二放气电磁阀；三个限流阀，分别与进气电磁阀、第一放气电磁阀、第二放气电磁阀通过气管连接；缓冲器，与三个限流阀通过气管连接，缓冲器还通过气管与被检氧气吸入器的高压进气接口连接；第一压力传感器，与缓冲器连接；第二压力传感器，与被检氧气吸入器的低压输出端通过气管连接；电磁阀，连接在被检氧气吸入器与质量流量计的连接气管中段；质量流量计，与电磁阀连接；采集控制电路，与上述元件分别连接。总之，本实用新型具有结构新颖、使用方便、检定误差小等优点。
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