用于有机发光二极管器件的防水涂层

    公开(公告)号:CN104332564B

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201410513386.6

    申请日:2008-02-07

    IPC分类号: H01L51/52

    摘要: 本发明涉及用于有机发光二极管器件的防水涂层。特别地,本文描述了一种用于制造无定形类金刚石膜层的方法,所述无定形类金刚石膜层用于保护水分或氧气敏感的电子器件。所述方法包括从硅油中形成等离子体,从所述等离子体中沉积无定形类金刚石膜层,并且将所述无定形类金刚石膜层与水分或氧气敏感的电子器件结合以形成受保护的电子器件。本发明还公开了包括在有机电子器件上的无定形类金刚石膜层的制品。