公开(公告)号：CN100573335C

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200610105861.1

申请日：2006-07-13

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： E·R·卢普斯特拉 ,  A·J·布利克 ,  H·M·穆尔德 ,  O·F·J·努尔德曼 ,  T·F·森格斯 ,  L·C·乔里特斯马 ,  M·特伦特尔曼 ,  G·斯特鲁特克

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/00

CPC分类号： G03B27/58 ,  G03F7/70425 ,  G03F7/70716

摘要： 为了提高光刻装置的生产率，描述了一种用于保持两个构图部件的工作台装置。这些构图部件设置为图案沿扫描方向的间距对应于图案沿扫描方向的长度。通过这样做，可以通过用第一图案将第一管芯曝光、越过邻近第一管芯的第二管芯，并利用第二图案将邻近第二管芯的第三管芯曝光来进行改进的曝光顺序。

公开(公告)号：CN1904740A

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN200610105861.1

申请日：2006-07-13

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： E·R·卢普斯特拉 ,  A·J·布利克 ,  H·M·穆尔德 ,  O·F·J·努尔德曼 ,  T·F·森格斯 ,  L·C·乔里特斯马 ,  M·特伦特尔曼 ,  G·斯特鲁特克

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/00

CPC分类号： G03B27/58 ,  G03F7/70425 ,  G03F7/70716

摘要： 为了提高光刻装置的生产率，描述了一种用于保持两个构图部件的工作台装置。这些构图部件设置为图案沿扫描方向的间距对应于图案沿扫描方向的长度。通过这样做，可以通过用第一图案将第一管芯曝光、越过邻近第一管芯的第二管芯，并利用第二图案将邻近第二管芯的第三管芯曝光来进行改进的曝光顺序。