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公开(公告)号：CN100505974C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN03164931.9
申请日：2003-09-30
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： G·G·祖卡维斯维里 , V·V·艾瓦诺夫 , K·N·科谢勒夫 , E·D·科罗布 , V·Y·班尼 , P·S·安特斯菲罗夫
IPC分类号： H05H1/24 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被配置和排列为在所述阳极和阴极之间的物质中产生放电形成等离子体从而产生电磁辐射。所述流体包括氙、铟、锂、锡或任何适合的材料。辐射源单元设置为具有低感应系数，并运行于等离子体最小的状态来提高转换效率。在辐射源体积和芯捻内设有流体循环系统，应用流体的气态和液态转换来提高热耗散。辐射源单元设置得产生最小量的污染物，并在不干扰出射辐射的情况下捕获污染物来防止污染物进入光刻投影装置。
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公开(公告)号：CN1498056A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03164931.9
申请日：2003-09-30
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： G·G·祖卡维斯维里 , V·V·艾瓦诺夫 , K·N·科谢勒夫 , E·D·科罗布 , V·Y·班尼 , P·S·安特斯菲罗夫
IPC分类号： H05H1/24 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被配置和排列为在所述阳极和阴极之间的物质中产生放电形成等离子体从而产生电磁辐射。所述流体包括氙、铟、锂、锡或任何适合的材料。辐射源单元设置为具有低感应系数，并运行于等离子体最小的状态来提高转换效率。在辐射源体积和芯捻内设有流体循环系统，应用流体的气态和液态转换来提高热耗散。辐射源单元设置得产生最小量的污染物，并在不干扰出射辐射的情况下捕获污染物来防止污染物进入光刻投影装置。
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公开(公告)号：CN1721999B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200510084819.1
申请日：2005-07-14
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种用于基于放电产生辐射源的装置，包括阴极和阳极。该阴极和阳极材料以流态提供。当装置在使用中时，材料形成等离子体箍缩。任选的是，可以使用喷嘴来提供该材料。阴极和/或阳极可形成平坦表面。可以延长材料的轨道。可以使用激光更容易地引起放电。可将激光引导到阳极或阴极或位于阳极和阴极之间的单独材料上。
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公开(公告)号：CN1721999A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200510084819.1
申请日：2005-07-14
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种用于基于放电产生辐射源的装置，包括阴极和阳极。该阴极和阳极材料以流态提供。当装置在使用中时，材料形成等离子体箍缩。任选的是，可以使用喷嘴来提供该材料。阴极和/或阳极可形成平坦表面。可以延长材料的轨道。可以使用激光更容易地引起放电。可将激光引导到阳极或阴极或位于阳极和阴极之间的单独材料上。
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