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公开(公告)号：CN101795527A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN201010003505.5
申请日：2003-09-17
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 本发明公开了一种辐射源、光刻装置和器件的制造方法。一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟、锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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公开(公告)号：CN101795527B
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201010003505.5
申请日：2003-09-17
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 本发明公开了一种辐射源、光刻装置和器件的制造方法。一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟、锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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公开(公告)号：CN1721999B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200510084819.1
申请日：2005-07-14
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种用于基于放电产生辐射源的装置，包括阴极和阳极。该阴极和阳极材料以流态提供。当装置在使用中时，材料形成等离子体箍缩。任选的是，可以使用喷嘴来提供该材料。阴极和/或阳极可形成平坦表面。可以延长材料的轨道。可以使用激光更容易地引起放电。可将激光引导到阳极或阴极或位于阳极和阴极之间的单独材料上。
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公开(公告)号：CN1721999A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200510084819.1
申请日：2005-07-14
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种用于基于放电产生辐射源的装置，包括阴极和阳极。该阴极和阳极材料以流态提供。当装置在使用中时，材料形成等离子体箍缩。任选的是，可以使用喷嘴来提供该材料。阴极和/或阳极可形成平坦表面。可以延长材料的轨道。可以使用激光更容易地引起放电。可将激光引导到阳极或阴极或位于阳极和阴极之间的单独材料上。
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公开(公告)号：CN100594428C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN03164836.3
申请日：2003-09-17
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
IPC分类号： G03F7/20 , H01J17/02 , H01L21/027
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟，锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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公开(公告)号：CN1497349A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03164836.3
申请日：2003-09-17
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
IPC分类号： G03F7/20 , H01J17/02 , H01L21/027
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟，锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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