公开(公告)号：CN109075004B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201780024598.X

申请日：2017-04-21

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·斯米茨 ,  J·J·科宁 ,  C·F·J·洛德韦克 ,  H·W·穆克 ,  L·阿塔尔德

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02

Abstract: 公开了一种带电粒子束系统，其包括：带电粒子束发生器，其用于产生带电粒子的射束；带电粒子光学列，其布置在真空腔中，带电粒子光学列被布置成将带电粒子的射束投射到目标上，带电粒子光学列包括影响带电粒子的射束的带电粒子光学元件；提供清洁剂的源；导管，其连接到源并且布置成将清洁剂朝向带电粒子光学元件引入；其中带电粒子光学元件包括：带电粒子传输孔，其用于传输和/或影响带电粒子的射束；以及至少一个通气孔，其在带电粒子光学元件的第一侧和第二侧之间提供流动路径；其中通气孔的横截面大于带电粒子传输孔的横截面。此外，公开了一种用于防止或移除带电粒子传输孔中污染的方法，其包括在射束发生器运行时引入清洁剂的步骤。

公开(公告)号：CN113871279A

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202111172533.4

申请日：2017-04-21

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·斯米茨 ,  J·J·科宁 ,  C·F·J·洛德韦克 ,  H·W·穆克 ,  L·阿塔尔德

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/26 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32

Abstract: 公开了一种带电粒子束系统，其包括：带电粒子束发生器，其用于产生带电粒子的射束；带电粒子光学列，其布置在真空腔中，带电粒子光学列被布置成将带电粒子的射束投射到目标上，带电粒子光学列包括影响带电粒子的射束的带电粒子光学元件；提供清洁剂的源；导管，其连接到源并且布置成将清洁剂朝向带电粒子光学元件引入；其中带电粒子光学元件包括：带电粒子传输孔，其用于传输和/或影响带电粒子的射束；以及至少一个通气孔，其在带电粒子光学元件的第一侧和第二侧之间提供流动路径；其中通气孔的横截面大于带电粒子传输孔的横截面。此外，公开了一种用于防止或移除带电粒子传输孔中污染的方法，其包括在射束发生器运行时引入清洁剂的步骤。

公开(公告)号：CN113871279B

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202111172533.4

申请日：2017-04-21

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·斯米茨 ,  J·J·科宁 ,  C·F·J·洛德韦克 ,  H·W·穆克 ,  L·阿塔尔德

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/26 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32

Abstract: 公开了一种带电粒子束系统，其包括：带电粒子束发生器，其用于产生带电粒子的射束；带电粒子光学列，其布置在真空腔中，带电粒子光学列被布置成将带电粒子的射束投射到目标上，带电粒子光学列包括影响带电粒子的射束的带电粒子光学元件；提供清洁剂的源；导管，其连接到源并且布置成将清洁剂朝向带电粒子光学元件引入；其中带电粒子光学元件包括：带电粒子传输孔，其用于传输和/或影响带电粒子的射束；以及至少一个通气孔，其在带电粒子光学元件的第一侧和第二侧之间提供流动路径；其中通气孔的横截面大于带电粒子传输孔的横截面。此外，公开了一种用于防止或移除带电粒子传输孔中污染的方法，其包括在射束发生器运行时引入清洁剂的步骤。