公开(公告)号：CN103003754B

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201180035218.5

申请日：2011-07-12

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： M·范德斯卡 ,  A·邓鲍夫 ,  A·富克斯 ,  M·库干斯 ,  K·巴哈特塔卡里雅 ,  M·库比斯 ,  S·摩根

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： A01H1/06 ,  A01G22/00 ,  C12N15/8201 ,  G03B27/52 ,  G03B27/53 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70633

摘要： 一种确定重叠误差的方法。测量具有过程引起的不对称性的重叠目标。构造目标的模型。例如通过移动结构中的一个修改模型以补偿不对称性。使用修改的模型计算由不对称性引起的重叠误差。通过从测量的重叠误差中减去由不对称性引起的重叠误差确定产品目标中的重叠误差。在一个示例中，通过改变不对称性p(n′)、p(n″)来修改模型，对多种散射仪测量选配方案重复计算由不对称性引起的重叠误差，确定产品目标中的重叠误差的步骤使用计算的由不对称性引起的重叠误差以选择用于测量产品目标的优化的散射仪测量选配方案。

公开(公告)号：CN103003754A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201180035218.5

申请日：2011-07-12

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： M·范德斯卡 ,  A·邓鲍夫 ,  A·富克斯 ,  M·库干斯 ,  K·巴哈特塔卡里雅 ,  M·库比斯 ,  S·摩根

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： A01H1/06 ,  A01G22/00 ,  C12N15/8201 ,  G03B27/52 ,  G03B27/53 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70633

摘要： 一种确定重叠误差的方法。测量具有过程引起的不对称性的重叠目标。构造目标的模型。例如通过移动结构中的一个修改模型以补偿不对称性。使用修改的模型计算由不对称性引起的重叠误差。通过从测量的重叠误差中减去由不对称性引起的重叠误差确定产品目标中的重叠误差。在一个示例中，通过改变不对称性p(n′)、p(n″)来修改模型，对多种散射仪测量选配方案重复计算由不对称性引起的重叠误差，确定产品目标中的重叠误差的步骤使用计算的由不对称性引起的重叠误差以选择用于测量产品目标的优化的散射仪测量选配方案。