公开(公告)号：CN113272933B

公开(公告)日：2024-12-24

申请号：CN201980082404.0

申请日：2019-11-21

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： J·H·A·范德里杰特 ,  P·P·亨佩尼尤斯 ,  A·E·库伊克 ,  J·古森斯 ,  P·W·威利舒维斯

IPC: H01J37/20

Abstract: 公开了台架设备，包括：物体支撑件，被配置为支撑物体；定位装置，被配置为定位物体支撑件；第一连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第一连接布置包括至少一个阻尼连接件；以及第二连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第二连接布置包括至少一个基本刚性的连接件。

公开(公告)号：CN113272933A

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN201980082404.0

申请日：2019-11-21

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： J·H·A·范德里杰特 ,  P·P·亨佩尼尤斯 ,  A·E·库伊克 ,  J·古森斯 ,  P·W·威利舒维斯

IPC: H01J37/20

Abstract: 公开了台架设备，包括：物体支撑件，被配置为支撑物体；定位装置，被配置为定位物体支撑件；第一连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第一连接布置包括至少一个阻尼连接件；以及第二连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第二连接布置包括至少一个基本刚性的连接件。