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公开(公告)号：CN113767446A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202080027751.6
申请日：2020-03-26
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： H·W·H·赛维特 , J-G·C·范德托恩 , R·范德威尔克 , A·E·库伊克
IPC: H01J37/20
Abstract: 粒子束装置包括导电物体(402)和载物台(404)，载物台被配置为支撑物体(414)。载物台包括台体和导电涂层(420)，导电涂层被提供在台体的表面的至少一部分上。导电物体被设置为与导电涂层邻近并且台体被提供有与导电涂层的边缘部分邻近的特征(502)。该特征被布置为使得当电压被施加到导电物体和导电涂层两者时，降低导电涂层的边缘部分的附近区域的电场强度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113272933B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN201980082404.0
申请日：2019-11-21
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： J·H·A·范德里杰特 , P·P·亨佩尼尤斯 , A·E·库伊克 , J·古森斯 , P·W·威利舒维斯
IPC: H01J37/20
Abstract: 公开了台架设备，包括：物体支撑件，被配置为支撑物体；定位装置，被配置为定位物体支撑件；第一连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第一连接布置包括至少一个阻尼连接件；以及第二连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第二连接布置包括至少一个基本刚性的连接件。
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公开(公告)号：CN113711126A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN201980092597.8
申请日：2019-12-16
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： J-G·C·范德托恩 , J·G·A·胡尹克 , H·W·H·赛维特 , A·E·库伊克 , M·J·C·龙德 , A·M·韦林克 , 刘士兵 , 罗映 , 王義向 , 陈嘉尧 , 朱博航 , J·范索伊斯特
Abstract: 公开了一种用于保持物体的载物台，该载物台包括：被布置为将物体夹持在载物台上的静电夹具；被布置为中和静电夹具的残余电荷的中和器；被布置为控制中和器的控制单元，其中残余电荷是在没有电压被施加到静电夹具时存在于静电夹具上的静电荷。
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公开(公告)号：CN113272933A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN201980082404.0
申请日：2019-11-21
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： J·H·A·范德里杰特 , P·P·亨佩尼尤斯 , A·E·库伊克 , J·古森斯 , P·W·威利舒维斯
IPC: H01J37/20
Abstract: 公开了台架设备，包括：物体支撑件，被配置为支撑物体；定位装置，被配置为定位物体支撑件；第一连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第一连接布置包括至少一个阻尼连接件；以及第二连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第二连接布置包括至少一个基本刚性的连接件。
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公开(公告)号：CN113767446B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202080027751.6
申请日：2020-03-26
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： H·W·H·赛维特 , J-G·C·范德托恩 , R·范德威尔克 , A·E·库伊克
IPC: H01J37/20
Abstract: 粒子束装置包括导电物体(402)和载物台(404)，载物台被配置为支撑物体(414)。载物台包括台体和导电涂层(420)，导电涂层被提供在台体的表面的至少一部分上。导电物体被设置为与导电涂层邻近并且台体被提供有与导电涂层的边缘部分邻近的特征(502)。该特征被布置为使得当电压被施加到导电物体和导电涂层两者时，降低导电涂层的边缘部分的附近区域的电场强度。
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公开(公告)号：CN113711126B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN201980092597.8
申请日：2019-12-16
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： J-G·C·范德托恩 , J·G·A·胡尹克 , H·W·H·赛维特 , A·E·库伊克 , M·J·C·龙德 , A·M·韦林克 , 刘士兵 , 罗映 , 王義向 , 陈嘉尧 , 朱博航 , J·范索伊斯特
Abstract: 公开了一种用于保持物体的载物台，该载物台包括：被布置为将物体夹持在载物台上的静电夹具；被布置为中和静电夹具的残余电荷的中和器；被布置为控制中和器的控制单元，其中残余电荷是在没有电压被施加到静电夹具时存在于静电夹具上的静电荷。
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