公开(公告)号：CN103415646A

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201280009871.9

申请日：2012-02-20

申请人： CTF太阳能有限公司

发明人： 迈克尔·哈里 ,  希尔马·里希特 ,  斯特芬·博瑟尔特 ,  拉尔夫·施托伊滕 ,  斯特芬·乔治 ,  塞巴斯蒂安·蒂特尔 ,  维尔纳·沙德

IPC分类号： C23C14/54 ,  C23C14/56

CPC分类号： H01L31/18 ,  C03C17/002 ,  C03C17/09 ,  C23C14/541 ,  C23C14/56 ,  C23C14/568 ,  C23C16/46 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02557 ,  H01L21/02562 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/1828 ,  H01L31/1876 ,  H01L31/1892 ,  Y02E10/543 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明介绍了一种方法和一种设备，用于涂覆板状基材，特别是涂覆用于制造太阳能电池的玻璃基材。该方法包括，在传输轴上运动穿过加热室和涂层室的基材在顶侧和底侧上不同强度地受到加热，从而可以提高涂层温度，而基材不会由于软化而不再可加工。描述了一种设备，其适用于实施该方法，并且加热室和涂层室具有独立的加热系统以及传输系统。

公开(公告)号：CN103415646B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201280009871.9

申请日：2012-02-20

申请人： CTF太阳能有限公司

发明人： 迈克尔·哈里 ,  希尔马·里希特 ,  斯特芬·博瑟尔特 ,  拉尔夫·施托伊滕 ,  斯特芬·乔治 ,  塞巴斯蒂安·蒂特尔 ,  维尔纳·沙德

IPC分类号： C23C14/54 ,  C23C14/56

CPC分类号： H01L31/18 ,  C03C17/002 ,  C03C17/09 ,  C23C14/541 ,  C23C14/56 ,  C23C14/568 ,  C23C16/46 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02557 ,  H01L21/02562 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/1828 ,  H01L31/1876 ,  H01L31/1892 ,  Y02E10/543 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明介绍了一种方法和一种设备，用于涂覆板状基材，特别是涂覆用于制造太阳能电池的玻璃基材。该方法包括，在传输轴上运动穿过加热室和涂层室的基材在顶侧和底侧上不同强度地受到加热，从而可以提高涂层温度，而基材不会由于软化而不再可加工。描述了一种设备，其适用于实施该方法，并且加热室和涂层室具有独立的加热系统以及传输系统。