公开(公告)号：CN105388173A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510644709.X

申请日：2015-08-25

申请人： FEI公司

发明人： M·恩科斯基 ,  P·斯特斯卡 ,  T·维斯塔维

IPC分类号： G01N23/203

CPC分类号： G01N23/203 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2555 ,  H01J2237/31745

摘要： 本发明涉及获取EBSP图样的方法。本发明涉及一种获取带电粒子设备中的样品(126)的能量背散射图样(EBSP)图像的方法，所述样品显示出一个平坦表面，所述带电粒子设备被装配有用于产生精细聚焦的电子束的电子镜筒(110)、用于检测EBSP图样的位敏检测器(128)以及用于保持并定位所述样品的样品支架(124)，所述方法包括步骤：相对于所述电子束定位所述样品，将所述电子束引导至所述样品上的撞击点，从而导致背散射电子辐照所述检测器，并且当所述电子束保持静止时从所述检测器获取信号，其特征在于：所述检测器被装配成选择性地检测具有高于预定阈值的能量的电子，并且具有高于所述阈值的能量的电子的信号被用于形成EBSP图像。