公开(公告)号：CN104870986A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380068337.X

申请日：2013-12-26

申请人： FEI公司

发明人： M.D.史密斯 ,  M.库尔特

IPC分类号： G01N23/225 ,  G01N23/203

CPC分类号： G01N23/2252 ,  G01N23/203 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/072 ,  G01N2223/076 ,  G01N2223/079 ,  G01N2223/305 ,  G01N2223/32 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21

摘要： 一种用于使用电子显微镜确定样本的矿物含量的方法和系统。该方法包括将电子束导向样本的感兴趣区域，所述感兴趣区域包括矿物的未知构成。显微镜的后向散射电子检测器和样本的感兴趣区域之间的工作距离被确定。对于工作距离和预定工作距离之间的差作出补偿，其中预定工作距离是为所检测的后向散射电子提供期望灰度值的工作距离。补偿工作距离变化的一种方式是使用显微镜的自动对焦特征来调整工作距离。随后，来自样本的感兴趣区域的后向散射电子被检测。