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公开(公告)号：CN103065917A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210399492.7
申请日：2012-10-19
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/22 , G01N23/20 , H01J37/153 , H01J37/20 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J2237/216 , H01J2237/221 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及用于调整配备有像差校正器的STEM的方法。本发明涉及一种用于使用晶体样品调整STEM中的Cs校正器的方法。该方法包括记录离焦系列，将所获得的图像转换到傅立叶空间，因此形成如同衍射图像的图像集合。通过随后确定傅立叶图像的对称，可以对校正器进行调谐以获得更好的对称，并且通过确定斑点距中心的最大距离，可以确定转移极限。通过重复地执行这些步骤，可以将校正器调谐到其最优性能。
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公开(公告)号：CN102737933A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210107945.4
申请日：2012-04-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/153 , H01J2237/1532
Abstract: 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置，该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在物镜与检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于物镜与检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
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公开(公告)号：CN103065917B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210399492.7
申请日：2012-10-19
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/22 , G01N23/20 , H01J37/153 , H01J37/20 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J2237/216 , H01J2237/221 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及用于调整配备有像差校正器的STEM的方法。本发明涉及一种用于使用晶体样品调整STEM中的Cs校正器的方法。该方法包括记录离焦系列，将所获得的图像转换到傅立叶空间，因此形成如同衍射图像的图像集合。通过随后确定傅立叶图像的对称，可以对校正器进行调谐以获得更好的对称，并且通过确定斑点距中心的最大距离，可以确定转移极限。通过重复地执行这些步骤，可以将校正器调谐到其最优性能。
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公开(公告)号：CN102737933B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210107945.4
申请日：2012-04-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/153 , H01J2237/1532
Abstract: 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置，该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在物镜与检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于物镜与检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
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