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公开(公告)号：CN103456588B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201310211268.5
申请日：2013-05-31
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/026 , H01J37/10 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/0492 , H01J2237/08 , H01J2237/18 , H01J2237/188 , H01J2237/31713 , H01J2237/31749
Abstract: 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以减少使这些离子与气体相互作用的机会。
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公开(公告)号：CN103456588A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310211268.5
申请日：2013-05-31
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/026 , H01J37/10 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/0492 , H01J2237/08 , H01J2237/18 , H01J2237/188 , H01J2237/31713 , H01J2237/31749
Abstract: 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以减少使这些离子与气体相互作用的机会。
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公开(公告)号：CN103489743A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201210242351.4
申请日：2012-07-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/12 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/04 , H01J37/12 , H01J37/21 , H01J2237/047 , H01J2237/04924 , H01J2237/12 , H01J2237/121 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及用于在靶处以不同束能量操作的聚焦带电粒子镜筒。一种在多个束能量具有改进性能的带电粒子镜筒。该镜筒运用四元件物镜以在高和低束能量两者实现改进的对靶的束聚焦性能而不同聚焦电压配置用于不同束能量。通过改变向物镜的四个电极施加的电压，可以迅速配置不同的聚焦条件从而实现在目标的优化成像与优化处理之间的迅速切换。
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公开(公告)号：CN104008943A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410066714.2
申请日：2014-02-26
Applicant: FEI公司
Inventor： M.马佐斯
IPC: H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/10
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/10 , H01J37/1477 , H01J37/21 , H01J37/248 , H01J37/3056 , H01J37/3178 , H01J2237/0473 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/1518 , H01J2237/1534 , H01J2237/28 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。
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