公开(公告)号：CN106804114B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201580034881.1

申请日：2015-06-25

申请人： 加坦公司

发明人： 亚历山大·约瑟夫·古本斯 ,  科林·特雷弗 ,  雷伊·达德利·特韦斯顿 ,  梅勒妮·巴费尔斯

IPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

摘要： 本发明公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪，其中，电隔离漂移管延伸穿过弯转磁铁，以及穿过将光谱聚焦且放大的后续光学器件。漂移管的前端、后端或前后两端设置有静电透镜或磁透镜，根据弯转磁铁漂移管的电压调节透镜，以保持恒定的净焦距，同时避免出现散焦。特定实施例中包含有能量选择狭缝，可彻底拦截分散在入射到检测器上的能量范围外的电子，从而消除向光谱散射回的多余电子造成的假象。

公开(公告)号：CN105874559B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201480071804.9

申请日：2014-11-14

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： M.J-J.维兰德 ,  W.H.乌尔巴努斯

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12

CPC分类号： G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

摘要： 本发明涉及一种准直器电极堆叠(70)，其包括：至少三个准直器电极(71‑80)，其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有电极孔的电极主体，电极孔用于允许带电粒子束通过，其中电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且其中电极孔沿着所述光轴同轴地对准；以及多个间隔结构(89)，其被设置在每一对相邻准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，多个间隔结构(89)用于沿着所述轴向方向以预定距离来定位准直器电极。准直器电极(71‑80)中的每一个电连接至单独的电压输出端(151‑160)。本发明还涉及一种操作带电粒子束产生器的方法。

公开(公告)号：CN108604562A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780009352.5

申请日：2017-02-01

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： A·D·布罗迪 ,  R·克尼彭迈耶 ,  C·西尔斯 ,  J·劳斯 ,  G·H·陈

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1207 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/2817

摘要： 揭示多光束电子束柱及使用此些多光束电子束柱的检验系统。根据本发明配置的多光束电子束柱可包含电子源及多透镜阵列，所述多透镜阵列经配置以利用由所述电子源提供的电子产生多个细光束。所述多透镜阵列可进一步经配置以移位所述多个细光束中的至少一个特定细光束的焦点，使得所述至少一个特定细光束的所述焦点与所述多个细光束中的至少一个其它细光束的焦点不同。

公开(公告)号：CN107785220A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201710599599.9

申请日：2017-07-21

申请人： FEI ,  公司

发明人： B.塞达 ,  L.图马 ,  P.赫拉文卡 ,  M.恩科斯基 ,  R.瓦斯纳 ,  J.特罗杰克 ,  M.马亚佐兹

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01J37/261 ,  G21K7/00 ,  H01J37/12 ,  H01J37/1413 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/1415 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2605 ,  H01J37/28

摘要： 一种具有真空室的带电粒子显微镜，所述真空室包括：- 样本保持器，用于保持样本；- 粒子光柱，用于产生带电粒子束并沿着轴引导带电粒子束以便照射样本，所述柱在面朝所述样本保持器的末端处具有终端极片；- 检测器，用于检测响应于由所述射束进行的照射而从该样本放射的辐射通量，其中，- 在所述极片与所述样本保持器之间的空间中以磁性方式将可交换柱延伸元件安装在所述极片上。

公开(公告)号：CN104835710B

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201510069271.7

申请日：2015-02-10

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 加藤浩二 ,  天野吉隆

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/12 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/16

摘要： 本发明提供高能量离子注入装置、射束平行化器及射束平行化方法，适于高能量离子注入装置。射束平行化器(300)具备多个透镜部(310、312)，沿着基准轨道排列，以在射束平行化器的出口生成相对于基准轨道被平行化的射束。多个透镜部分别构成为，形成弓形弯曲间隙，并且通过施加于弓形弯曲间隙的电场来改变射束行进方向相对于基准轨道所成的角度。空间部(322、324)设置于多个透镜部中的一个透镜部和与该透镜部相邻的透镜部之间。空间部朝向被平行化的射束的与基准轨道垂直的剖面的短边方向。包括基准轨道在内的内侧区域通过空间部与多个透镜部的外侧区域连接。

公开(公告)号：CN107039226A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201710020518.5

申请日：2017-01-12

申请人： 株式会社爱德万测试

发明人： 滨口新一 ,  田中仁 ,  得能敦 ,  小岛信一 ,  山田章夫

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  G03F7/20

CPC分类号： H01J37/3177 ,  H01J37/045 ,  H01J37/065 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/0835 ,  H01J2237/31754 ,  H01J37/226 ,  G03F7/70808 ,  H01J37/06 ,  H01J37/12 ,  H01J37/1478 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/12

摘要： 本发明提供一种曝光装置。一种曝光装置(100)，其具有形成试样上的照射位置不同的多个带电粒子束的形成部(122)，形成部(122)具有：粒子源(20)，其从在长边方向和与该长边方向垂直的短边方向上具有不同宽度的放射区域(21)放射带电粒子束；孔径阵列元件(60)，其在长边方向和与该长边方向垂直的短边方向上具有不同宽度的被照明区域(61)上配置有多个开口(62)；照明透镜(30、50)，其设置于粒子源(20)与孔径阵列元件(60)之间；以及束截面变形元件(40)，其设置于粒子源(20)与孔径阵列元件(60)之间，通过磁场或电场的作用使带电粒子束的截面形状变形成各向异性的形状。

公开(公告)号：CN106165054A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580019322.3

申请日：2015-04-22

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 野间口恒典 ,  扬村寿英

IPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/12 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/065 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/14

摘要： 电子线装置中，难以受到外部干扰的影响且兼得高空间分辨率和高亮度。电子线装置中，例如在产生电子线的电子源(101)与使电子线聚集在试料(114)上的物镜之间，在电子源(101)侧配置高电压的射线管(110)，并在低物镜侧配置低电压的射线管(112)。由此，即使是具备能动地向试料泄漏磁场的类型的物镜的SEM，也能够维持空间分辨率同时实现高亮度化。

公开(公告)号：CN103257528B

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201310047452.0

申请日：2013-02-06

申请人： 纽富来科技股份有限公司

发明人： 东矢高尚 ,  中山贵仁

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00

CPC分类号： G21K5/08 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3174

摘要： 一种电子束描绘装置及电子束描绘方法，该电子束描绘装置（100）具有：XY载物台（105），载放试样（216）；以及电子镜筒（102），配置有出射电子束（200）的电子枪（201）和具备排列在电子束（200）的轴向上的电极的透镜（202、204、207、210）。在XY载物台（105）和电子镜筒（102）之间设置有屏蔽板（211），该屏蔽板（211）屏蔽电子束（200）向试样（216）照射而产生的反射电子或二次电子。在屏蔽板（211）的正上方配置有改变电子束（200）的焦点位置的静电透镜（210），始终从电压供给单元（135）对静电透镜（210）施加正电压。

公开(公告)号：CN101432841B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN200780015094.8

申请日：2007-04-13

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 彼得·克雷曼 ,  维特·班威尼斯特 ,  亚历山大·普瑞尔 ,  布莱恩·弗瑞尔 ,  麦可·葛瑞夫

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/12 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/049

摘要： 一种用于离子植入作业的聚焦粒子捕捉系统，此系统可在植入之前先从离子束移除不希望的粒子。入口电极包括进入孔，并被偏压至第一基底电压，其中入口电极包括平坦的第一表面和面向中央电极的凹入第二表面。中央电极位于该入口电极下游而距其有距离处，并且包括中央孔。该中央电极被偏压至小于该第一基底电压的负值。出口电极位于该中央电极下游而与其具有距离，并且包括出口孔。该出口电极被偏压至第二基底电压。产生从该入口电极朝向该中央电极第一静电场，和产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场，藉此捕捉在离子束内不想要的粒子。

公开(公告)号：CN101981650B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN200980110865.0

申请日：2009-03-23

申请人： 株式会社堀场制作所

发明人： 小野口彰 ,  大堀谦一 ,  松本浩一 ,  粟田正吾 ,  大桥聪史

IPC分类号： H01J37/12

CPC分类号： H01J37/12 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/28

摘要： 本发明提供一种透镜性能相对不逊色于磁场型透镜的带电粒子束用静电透镜。利用设置在带电粒子的入射侧的多个电极(V1、V4)形成有第一电场区域(AR1)和第二电场区域(AR2)，所述第一电场区域(AR1)使带电粒子的轨道半径缩小，以便不会在中途超出作为入射时轨道半径的初始轨道半径，所述第二电场区域(AR2)向通过了该第一电场区域(AR1)的带电粒子提供朝向与所述中心轴平行方向前进的力，并且利用设置在出射侧的多个电极(V2、V3)形成有第三电场区域(AR3)，该第三电场区域(AR3)使带电粒子的轨道半径不会在中途超出所述初始轨道半径，且使带电粒子的轨道弯曲，并以比所述带电粒子从所述第二电场区域(AR2)出射时的相对于中心轴(m)的轨道角度大的角度，使所述带电粒子的轨道与中心轴(m)相交。