专利检索 ap:("FEI 公司") AND inv:"J·斯特雷切克" 第 1 页

1.

发明公开
用于制备楔形薄片的方法和系统审中-公开

公开(公告)号：CN117054462A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202310539330.7

申请日：2023-05-12

申请人： FEI 公司

发明人： J·斯塔雷克 , T·翁德利奇卡 , L·许布纳 , J·斯特雷切克

IPC分类号： G01N23/2202

摘要： 本发明题为“用于制备楔形薄片的方法和系统”。楔形薄片可通过从样品的至少一侧铣削多个样品切片来制备。基于在移除一个或多个样品切片之后获得的SEM图像来监测铣削。可响应于沿经铣削样品的高度的第一结构与第二结构之间所估计的距离不大于阈值距离而终止铣削。