-
公开(公告)号:CN118362590A
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202410083585.1
申请日:2024-01-19
申请人: FEI 公司
IPC分类号: G01N23/20008 , G01N23/20025 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/2202 , G01N23/2204 , G01N23/2251
摘要: 用于高ROI的倒置薄片的支撑结构。用于感兴趣区域的TEM的具有薄区域的薄片包括限定腰部区域的相反定位的S形切割面。在一些示例中,该腰部具有小于25nm的厚度并且限定适于TEM的高度在400nm与800nm之间的双锥形区域。该薄片的在顶表面处的一部分可以包括用于支撑该薄片的金属涂层或其他涂层。