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公开(公告)号：CN104656369B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201410658927.4
申请日：2014-11-18
Applicant: HOYA株式会社 , 东京应化工业株式会社
IPC: G03F1/32
Abstract: 本发明提供光掩模和使用了该光掩模的基板的制造方法，该光掩模能够在抑制设备投资的增加和生产效率的降低的同时，利用照相平版印刷形成具有线宽2μm～10μm的精细部分的线图案。一种光掩模，其用于形成具有线宽2μm～10μm的精细部分的线图案和围绕该线图案的周边区域，其中，该光掩模具有遮光部、对应于上述线图案的半透光部、以及围绕上述遮光部和上述半透光部围绕并对应于上述周边区域的透光部，上述半透光部的宽度比上述线图案的上述精细部分的宽度宽。
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公开(公告)号：CN104656369A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410658927.4
申请日：2014-11-18
Applicant: HOYA株式会社 , 东京应化工业株式会社
IPC: G03F1/32
CPC classification number: G03F1/32
Abstract: 本发明提供光掩模和使用了该光掩模的基板的制造方法，该光掩模能够在抑制设备投资的增加和生产效率的降低的同时，利用照相平版印刷形成具有线宽2μm～10μm的精细部分的线图案。一种光掩模，其用于形成具有线宽2μm～10μm的精细部分的线图案和围绕该线图案的周边区域，其中，该光掩模具有遮光部、对应于上述线图案的半透光部、以及围绕上述遮光部和上述半透光部围绕并对应于上述周边区域的透光部，上述半透光部的宽度比上述线图案的上述精细部分的宽度宽。
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公开(公告)号：CN109001957B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201810528531.6
申请日：2018-05-29
Applicant: HOYA株式会社 , 东京应化工业株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F1/68 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供光掩模和显示装置的制造方法。通过接近曝光方式将光掩模的转印用图案转印到被转印体上的情况下，难以转印出忠实于光掩模的图案设计的高精细图案。本发明为在透明基板上具备用于在被转印体上形成黑色矩阵的转印用图案的接近曝光用的光掩模，转印用图案具备：第1狭缝图案，其是形成在第1图案形成区域的、实质上由透光部构成的狭缝图案，具有一定宽度W1的部分；第2狭缝图案，其是形成在除了交叉区域以外的第2图案形成区域的、实质上由半透光部构成的狭缝图案，具有比一定宽度W1小的一定宽度W2的部分；和辅助图案，其是未独立地进行解像的图案，对在被转印体上所形成的黑色矩阵像的形状进行修整。
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公开(公告)号：CN109001957A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810528531.6
申请日：2018-05-29
Applicant: HOYA株式会社 , 东京应化工业株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F1/68 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/00 , G03F1/68 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供光掩模和显示装置的制造方法。通过接近曝光方式将光掩模的转印用图案转印到被转印体上的情况下，难以转印出忠实于光掩模的图案设计的高精细图案。本发明为在透明基板上具备用于在被转印体上形成黑色矩阵的转印用图案的接近曝光用的光掩模，转印用图案具备：第1狭缝图案，其是形成在第1图案形成区域的、实质上由透光部构成的狭缝图案，具有一定宽度W1的部分；第2狭缝图案，其是形成在除了交叉区域以外的第2图案形成区域的、实质上由半透光部构成的狭缝图案，具有比一定宽度W1小的一定宽度W2的部分；和辅助图案，其是未独立地进行解像的图案，对在被转印体上所形成的黑色矩阵像的形状进行修整。
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公开(公告)号：CN1912742A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610109071.0
申请日：2006-07-26
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种着色剂分散液，含有着色剂和溶剂，其特征在于，所述溶剂，包括二亚烃基二醇单烃基醚。上述二亚烃基二醇单烃基醚优选为由以下通式(1)表示的溶剂R1－O－CnH2n－O－CnH2n－OH (1)(其中，R1表示碳原子数为1～8的直链、支链或环状的烷基、或芳基，n表示2～5的整数)。由此，可以提高着色剂的分散性和保存稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107643654A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201710451229.0
申请日：2017-06-15
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/038 , G03F7/004 , G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供以下内容：感光性树脂组合物，不易因后烘烤时的加热而过度流动，并且能够以期望的大小形成微细图案化的着色固化膜；使用该感光性树脂组合的固化膜的制造方法；固化膜，使该感光性树脂组合物固化而成；滤色片，具备该固化膜。在包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)颜料的感光性树脂组合物中，使用酚醛清漆树脂作为(A)碱可溶性树脂，并且使用在末端具有2个以上乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物作为(B)光聚合性化合物。
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公开(公告)号：CN1912742B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610109071.0
申请日：2006-07-26
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种着色剂分散液，含有着色剂和溶剂，其特征在于，所述溶剂，包括二亚烃基二醇单烃基醚。上述二亚烃基二醇单烃基醚优选为由以下通式(1)表示的溶剂：R1-O-CnH2n-O-CnH2n-OH (1)(其中，R1表示碳原子数为1～8的直链、支链或环状的烷基、或芳基，n表示2～5的整数)。由此，可以提高着色剂的分散性和保存稳定性。
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公开(公告)号：CN107643654B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201710451229.0
申请日：2017-06-15
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/038 , G03F7/004 , G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供以下内容：感光性树脂组合物，不易因后烘烤时的加热而过度流动，并且能够以期望的大小形成微细图案化的着色固化膜；使用该感光性树脂组合的固化膜的制造方法；固化膜，使该感光性树脂组合物固化而成；滤色片，具备该固化膜。在包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)颜料的感光性树脂组合物中，使用酚醛清漆树脂作为(A)碱可溶性树脂，并且使用在末端具有2个以上乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物作为(B)光聚合性化合物。
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公开(公告)号：CN108333868B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN201810040725.1
申请日：2018-01-16
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/027 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供以下内容：能够形成高阻抗且耐水性优良的黑色矩阵的灵敏度优良的感光性树脂组合物；使该树脂组合物固化而成的黑色矩阵；具备该黑色矩阵的显示装置；使用所述树脂组合物的黑色矩阵的制造方法。在包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)遮光材料和(E)环氧化合物的感光性树脂组合物中，使用在主链中包含芳香族环的树脂作为(A)碱可溶性树脂，并且使用具有包含芳香族基团的特定结构且平均分子量为800以上的环氧化合物作为(E)环氧化合物。
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公开(公告)号：CN107272335B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN201710220561.6
申请日：2017-04-06
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物。本发明的课题在于提供能够抑制具有Cardo结构的树脂的析出、并且能够形成平滑的固化膜的感光性树脂组合物；由该感光性树脂组合物的固化物形成的固化膜；和使用该感光性树脂组合物的固化膜的形成方法。本发明的解决手段为一种感光性树脂组合物，其包含(A)碱溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(S)溶剂，所述(A)碱溶性树脂含有具有Cardo结构的树脂，所述感光性树脂组合物中，作为(S)溶剂，大气压下的沸点低于180℃的(L)低沸点溶剂和大气压下的沸点为180℃以上且300℃以下的(H)高沸点溶剂以分别规定的量而使用，(H)高沸点溶剂中含有具有芳香族烃环和酯键的化合物。
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