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公开(公告)号:CN109104860B
公开(公告)日:2021-04-13
申请号:CN201880001220.2
申请日:2018-01-12
Applicant: JX金属株式会社
IPC: B22F10/28 , B22F1/00 , B22F1/02 , B22F3/16 , B22F9/08 , B22F9/10 , B33Y10/00 , B33Y70/00 , C22C9/00
Abstract: 提供一种铜粉末及其制造方法,该铜粉末由于照射激光时的吸收率高,可有效率地进行热输入,故而可通过低能量的激光熔融结合,并且处理的便利性亦高。一种铜粉末,对于波长λ=1060nm的光的吸收率为18.9%~65.0%,对于波长λ=1060nm的光的吸收率/氧浓度所表示的指数为3.0以上。
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公开(公告)号:CN111364011A
公开(公告)日:2020-07-03
申请号:CN201910746078.0
申请日:2019-08-13
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 提供一种溅射靶部件,其适于得到具有高功函数以及波长633nm下的折射率1.9~2.1等特性的溅射膜。所述溅射靶部件,由Ga、In、O以及不可避免的杂质形成,Ga/In的原子比为0.90以上且为1.11以下,在EPMA的面分析中,与全部晶相相比(Ga,In)2O3相的面积比率为90%以上。
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公开(公告)号:CN111364011B
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN201910746078.0
申请日:2019-08-13
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 提供一种溅射靶部件,其适于得到具有高功函数以及波长633nm下的折射率1.9~2.1等特性的溅射膜。所述溅射靶部件,由Ga、In、O以及不可避免的杂质形成,Ga/In的原子比为0.90以上且为1.11以下,在EPMA的面分析中,与全部晶相相比(Ga,In)2O3相的面积比率为90%以上。
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公开(公告)号:CN110295349A
公开(公告)日:2019-10-01
申请号:CN201910112452.1
申请日:2019-02-13
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 本公开提供一种Ag分布均匀性高的AgIn溅射靶材及其制造方法。一种溅射靶材,含有Ag,剩余部分由In以及不可避免的杂质构成,在所述溅射靶材中,Ag的厚度方向的均匀性由以下算式表示:|B-C|/A×100≤30(%),在此,A:溅射靶材整体中的Ag的含量(原子%);B:将溅射靶材在厚度方向二等分时的一方的Ag的含量(原子%);C:将溅射靶材在厚度方向二等分时的另一方的Ag的含量(原子%)。
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公开(公告)号:CN109837512A
公开(公告)日:2019-06-04
申请号:CN201811055653.4
申请日:2018-09-11
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种溅射膜的膜电阻不易受到溅射时的氧浓度影响的IZO靶材。一种IZO靶材,具有如下的整体组成:含有In、Sn和Zn,以原子比计满足Zn/(In+Sn+Zn)=0.030~0.250、Sn/(In+Sn+Zn)=0.002~0.080,余量由O和不可避免的杂质构成,该IZO靶材具有靶材组织,所述靶材组织中分散有通过FE-EPMA特定的、含有In、Sn和O的粒径为200nm以上的Sn偏析粒。
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公开(公告)号:CN109837512B
公开(公告)日:2021-02-12
申请号:CN201811055653.4
申请日:2018-09-11
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种溅射膜的膜电阻不易受到溅射时的氧浓度影响的IZO靶材。一种IZO靶材,具有如下的整体组成:含有In、Sn和Zn,以原子比计满足Zn/(In+Sn+Zn)=0.030~0.250、Sn/(In+Sn+Zn)=0.002~0.080,余量由O和不可避免的杂质构成,该IZO靶材具有靶材组织,所述靶材组织中分散有通过FE-EPMA特定的、含有In、Sn和O的粒径为200nm以上的Sn偏析粒。
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公开(公告)号:CN109104860A
公开(公告)日:2018-12-28
申请号:CN201880001220.2
申请日:2018-01-12
Applicant: JX金属株式会社
IPC: B22F1/00 , B22F1/02 , B22F3/105 , B22F3/16 , B22F9/08 , B22F9/10 , B33Y10/00 , B33Y40/00 , B33Y70/00 , C22C9/00
Abstract: 提供一种铜粉末及其制造方法,该铜粉末由于照射激光时的吸收率高,可有效率地进行热输入,故而可通过低能量的激光熔融结合,并且处理的便利性亦高。一种铜粉末,对于波长λ=1060nm的光的吸收率为18.9%~65.0%,对于波长λ=1060nm的光的吸收率/氧浓度所表示的指数为3.0以上。
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