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公开(公告)号:CN1175474C
公开(公告)日:2004-11-10
申请号:CN00811854.X
申请日:2000-08-14
申请人: LG电子株式会社
IPC分类号: H01L21/205 , H01L21/302 , C23C16/32
CPC分类号: B05D1/62 , B05D7/14 , B05D2252/02 , C23C16/503 , C23C16/545
摘要: 本发明涉及用直流电等离子聚合形成聚合物的设备,其特征在于,在基材上通电使其作为一个电极,在沉积室中的相反电极位于待沉积基材的两个表面上方。另外,通过将主体与通电的基材间绝缘,本发明能够获得在聚合期间的安全性。
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公开(公告)号:CN1411516A
公开(公告)日:2003-04-16
申请号:CN01806109.5
申请日:2001-03-02
申请人: LG电子株式会社
IPC分类号: C23C16/54
CPC分类号: C23C16/45502 , B05D1/62 , B05D3/0486 , B05D2252/02 , C23C16/4412 , C23C16/455 , C23C16/545
摘要: 本发明提供了一种等离子聚合装置,其包括至少一个室,在该室中要涂布的片可以连续移动;至少一个向该室供应反应性气体的气体入口;和至少一个将反应性气体排出该室的气体出口,其中气体入口和气体出口以这样的方式设置在室上,即反应性气体的流动方向基本上与板的移动方向平行。
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公开(公告)号:CN1370329A
公开(公告)日:2002-09-18
申请号:CN00811854.X
申请日:2000-08-14
申请人: LG电子株式会社
IPC分类号: H01L21/205 , H01L21/302 , C23C16/32
CPC分类号: B05D1/62 , B05D7/14 , B05D2252/02 , C23C16/503 , C23C16/545
摘要: 本发明涉及用直流电等离子聚合形成聚合物的设备,其特征在于,在基材上通电使其作为一个电极,在沉积室中的相反电极位于待沉积基材的两个表面上方。另外,通过将主体与通电的基材间绝缘,本发明能够获得在聚合期间的安全性。
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公开(公告)号:CN1321332A
公开(公告)日:2001-11-07
申请号:CN00801762.X
申请日:2000-08-14
申请人: LG电子株式会社
IPC分类号: H01L21/205 , H01L21/302 , C23C16/32
CPC分类号: B05D1/62 , H01J37/32009 , H01J37/32541 , H01J2237/3382
摘要: 本发明涉及等离子聚合设备,包括:聚合室,用于通过高压放电在衬底的表面进行聚合;放电电极,安装在聚合室的内部;相对电极,具有多个均匀边沿以便在电极的表面形成均匀的电场;高压加载单元,用于将高压施加到电极;气体提供单元,用于向聚合室内提供单体气体和非单体气体;和泵吸单元,用于保持聚合室内的真空。本发明可以保持电极的均匀性,因此通过保持电极每个部分上的电流密度和碳化程度可以制造出高质量的聚合膜。
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公开(公告)号:CN100549217C
公开(公告)日:2009-10-14
申请号:CN200480042694.X
申请日:2004-11-06
申请人: LG电子株式会社
IPC分类号: C23C14/14
CPC分类号: C23C16/30 , C23C16/4557 , C23C16/50 , C23C16/545 , F28F13/18 , F28F2245/02 , Y10T428/12667 , Y10T428/12736 , Y10T428/12986 , Y10T428/265 , Y10T428/31678
摘要: 本发明公开了生产涂覆超亲水性薄膜的金属产品的方法,以及涂覆超亲水性薄膜的金属产品。为了以工业生产规模容易地生产具有优异的亲水性和耐老化性的空调金属材料,在金属基片(8)的两个表面上选择性地形成防腐薄膜,在已形成或尚未形成防腐薄膜的两个表面上涂覆超亲水性T-O(C)-(H)基化合物薄膜,并将所述金属基片机械加工成目标形状。
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公开(公告)号:CN1965103B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN200480043241.9
申请日:2004-12-30
申请人: LG电子株式会社
CPC分类号: C23C16/30 , Y10T428/12493 , Y10T428/12736 , Y10T428/24942 , Y10T428/24975
摘要: 本发明涉及超亲水性Ti-O-C基纳米膜,其具有改进的沉积厚度以及出色的沉积均匀性,其通过在均一比例下混合Ti前体和低沸点的高挥发性液体而制成。催化剂加速Ti前体的汽化并使所述Ti前体易于被注入到反应室中,因此改进了等离子体聚合效率。
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公开(公告)号:CN1938446A
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:CN200480042701.6
申请日:2004-11-06
申请人: LG电子株式会社
IPC分类号: C23C14/14
CPC分类号: C23C16/30 , C23C16/4557 , C23C16/50 , C23C16/545 , F28F13/18 , F28F2245/02 , Y10T428/12667 , Y10T428/12736 , Y10T428/12986 , Y10T428/265 , Y10T428/31678
摘要: 本发明公开了生产涂覆超亲水性薄膜的金属产品的方法,以及涂覆超亲水性薄膜的金属产品。为了以工业生产规模容易地生产具有优异的亲水性、耐老化性和耐腐蚀性的空调金属材料,在金属基片(8)的两个表面上选择性地形成HMDSO防腐薄薄膜,以及在防腐性薄膜上涂覆超亲水性Ti-O-C基化合物薄膜。将所述金属基片机械加工成目标形状。
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公开(公告)号:CN1223613C
公开(公告)日:2005-10-19
申请号:CN01813566.8
申请日:2001-05-30
申请人: LG电子株式会社
CPC分类号: B05D1/62 , B05D2252/02 , B29C59/14 , H01J37/3277 , H01J2237/3382
摘要: 具有多个室的等离子体聚合连续处理设备,对移动进入室的物质表面通过等离子体聚合进行表面处理,包括至少一个直立室,其中物质垂直移动,及其中包括至少一个电极。由于直立室可由单独或多个室形成,或可与卧式室一起形成,因此可以建造各种类型的等离子体聚合处理系统。另外,根据表面处理的目的,多个室可用于各种功能和应用例如聚合室、后处理室及预处理室。
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公开(公告)号:CN1938444B
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200480042693.5
申请日:2004-11-06
申请人: LG电子株式会社
IPC分类号: C23C14/14
CPC分类号: C23C16/30 , C23C16/4557 , C23C16/50 , C23C16/545 , F28F13/18 , F28F2245/02 , Y10T428/12667 , Y10T428/12736 , Y10T428/12986 , Y10T428/265 , Y10T428/31678
摘要: 本发明公开了涂覆超亲水性和抗菌性薄膜的金属产品及其生产方法。为了以工业生产规模容易地生产具有优异的亲水性、耐老化性、耐腐蚀性和抗菌性的空调金属材料而无需特定的预处理或后处理,在金属基片(8)的两个表面上选择性地形成防腐性薄膜,在已形成或尚未形成防腐性薄膜的金属基片(8)的两个表面上涂覆超亲水性和抗菌性Ti-(Ag、Cu和/或Co)-O-C基化合物薄膜,将涂覆所述薄膜的金属基片机械加工成目标形状。
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公开(公告)号:CN1938445A
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:CN200480042694.X
申请日:2004-11-06
申请人: LG电子株式会社
IPC分类号: C23C14/14
CPC分类号: C23C16/30 , C23C16/4557 , C23C16/50 , C23C16/545 , F28F13/18 , F28F2245/02 , Y10T428/12667 , Y10T428/12736 , Y10T428/12986 , Y10T428/265 , Y10T428/31678
摘要: 本发明公开了生产涂覆超亲水性薄膜的金属产品的方法,以及涂覆超亲水性薄膜的金属产品。为了以工业生产规模容易地生产具有优异的亲水性和耐老化性的空调金属材料,在金属基片(8)的两个表面上选择性地形成防腐薄膜,在已形成或尚未形成防腐薄膜的两个表面上涂覆超亲水性T-O(C)-(H)基化合物薄膜,并将所述金属基片机械加工成目标形状。
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