公开(公告)号：CN115039004A

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202180012229.5

申请日：2021-02-02

申请人： NTT 电子股份有限公司

发明人： 日比野善典 ,  黑泽干宽 ,  小熊学 ,  柳泽雅弘 ,  山田智之

IPC分类号： G02B6/136 ,  H01L21/3065

摘要： 基于局部刻蚀的光器件制造方法和光器件制造装置，其特征在于，在制造由传输光的芯和包层构成的波导型光器件的晶圆工艺中，使用局部地进行刻蚀加工的喷嘴并使其移动，在该晶圆的任意位置形成任意角度的斜端面、曲面形状的端面、膜厚发生变化的芯。使用局部刻蚀在光波导端部形成斜端面实现例如45度的反射镜或者具有聚光性的非平面反射镜、膜厚控制芯，来实现高效的光连接。

公开(公告)号：CN101341430A

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200680047956.0

申请日：2006-12-21

申请人： 日本电信电话株式会社 ,  NTT电子股份有限公司

发明人： 山田智之 ,  永野充 ,  井藤干隆 ,  渡边俊夫 ,  水野隆之 ,  乡隆司 ,  金子明正

IPC分类号： G02B6/12

CPC分类号： G02B6/12016 ,  G02B6/12014

摘要： 本发明涉及一种阵列波导栅极电路，其在防止合分波功能的品质恶化的同时，还集成了两个AWG电路。其备有：与第一输入波导(51a)和多个第二输出波导(55b)相连接的第一板条形波导(52)；与多个第一输出波导(55a)和第二输入波导(51b)相连接的第二板条形波导(54)；和连接于第一板条形波导(52)与第二板条形波导(54)之间的阵列波导(53)。输入波导(51a、51b)与一组多个第二输出波导(55a、55b)之中最外侧的第二输出波导空出1.5x的间隔，来与板条形波导(52、54)相连接，该一组多个第二输出波导是以对应波长的间隔x来连接的。

公开(公告)号：CN101341430B

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN200680047956.0

申请日：2006-12-21

申请人： 日本电信电话株式会社 ,  NTT电子股份有限公司

发明人： 山田智之 ,  永野充 ,  井藤干隆 ,  渡边俊夫 ,  水野隆之 ,  乡隆司 ,  金子明正

IPC分类号： G02B6/12

CPC分类号： G02B6/12016 ,  G02B6/12014

摘要： 本发明涉及一种阵列波导栅极电路，其在防止合分波功能的品质恶化的同时，还集成了两个AWG电路。其备有：与第一输入波导(51a)和多个第二输出波导(55b)相连接的第一板条形波导(52)；与多个第一输出波导(55a)和第二输入波导(51b)相连接的第二板条形波导(54)；和连接于第一板条形波导(52)与第二板条形波导(54)之间的阵列波导(53)。输入波导(51a、51b)与一组多个第二输出波导(55a、55b)之中最外侧的第二输出波导空出1.5x的间隔，来与板条形波导(52、54)相连接，该一组多个第二输出波导是以对应波长的间隔x来连接的。