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公开(公告)号：CN102047159B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN200980119556.X
申请日：2009-05-26
申请人： 日本电信电话株式会社 , NTT电子股份有限公司
CPC分类号： G02B6/12019 , G02B2006/12126 , G02B2006/12195
摘要： 恰当地阻断波导器件中的过剩光功率。根据本发明的一个实施例，波导器件具有填充了遮光材料的阻断结构，该阻断结构用于阻断来自波导端部的光。该阻断结构可以按照下述方式构成，即：通过去除覆层和芯在光波导上形成槽，在该槽中填充能使光的强度发生衰减的材料(遮光材料)。由此，可通过遮光材料使入射至阻断结构的光发生衰减，从而抑制因所述光成为串扰成分而对其他光器件造成影响。利用这种阻断结构，不仅可以抑制对集成在同一基板内的光器件的影响，还可以抑制对与该基板直接连接的其他光器件等的影响。
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公开(公告)号：CN102047159A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200980119556.X
申请日：2009-05-26
申请人： 日本电信电话株式会社 , NTT电子股份有限公司
CPC分类号： G02B6/12019 , G02B2006/12126 , G02B2006/12195
摘要： 恰当地阻断波导器件中的过剩光功率。根据本发明的一个实施例，波导器件具有填充了遮光材料的阻断结构，该阻断结构用于阻断来自波导端部的光。该阻断结构可以按照下述方式构成，即：通过去除覆层和芯在光波导上形成槽，在该槽中填充能使光的强度发生衰减的材料(遮光材料)。由此，可通过遮光材料使入射至阻断结构的光发生衰减，从而抑制因所述光成为串扰成分而对其他光器件造成影响。利用这种阻断结构，不仅可以抑制对集成在同一基板内的光器件的影响，还可以抑制对与该基板直接连接的其他光器件等的影响。
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公开(公告)号：CN111919168B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN201980022617.4
申请日：2019-03-26
申请人： NTT 电子股份有限公司
IPC分类号： G02F1/313
摘要： 提供一种小型的MCS，该MCS的引出线数与以往的构成相比减半。本发明构成为在基板上形成有：M个输入端口、N个输出端口、M×N个光开关单元(光SU)、在M个输入端口、M×N个光SU以及N个输出端口之间进行光连接的光波导、分别连接于M×N个光SU的引出线。本发明构成一种通过使一个光SU成为接通状态而输入至与接通状态的光SU建立了关联的输入端口的光信号从与接通状态的光SU建立了关联的输出端口输出的多播开关。M×N个光SU至少包括门开关和主开关，连接到各个光SU中的门开关和主开关的所述引出线是共同的。
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公开(公告)号：CN104345392B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201410697531.0
申请日：2010-11-26
申请人： NTT电子股份有限公司 , 日本电信电话株式会社
CPC分类号： G02B6/243 , G02B6/12 , G02B6/12016 , G02B6/12019 , G02B6/1228 , G02B6/124 , G02B6/2552 , G02B6/30 , G02B6/305 , G02B2006/12126 , G02B2006/12142 , G02B2006/12145 , G02B2006/1215 , G02B2006/12195
摘要： 本发明提供一种光波导器件以及模块，在波导型器件中适当地终止剩余光功率。根据本发明的一个实施例，波导型器件具备为了终止来自波导端部的光而填充有遮光材料的终端构造。通过去除包层和芯部来在光波导上形成槽，在该槽内填满使光强度衰减的材料(遮光材料)，由此能够形成该终端构造。由此，入射到终端构造的光通过遮光材料而衰减，能够抑制成为串扰成分而影响其它光学器件。通过这样的终端构造，不仅能够抑制在同一基板内集成的光学器件彼此的影响，还能够抑制对于与该基板直接连接的其它光学器件等的影响。
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公开(公告)号：CN102667556A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080053387.7
申请日：2010-11-26
申请人： NTT电子股份有限公司 , 日本电信电话株式会社
CPC分类号： G02B6/243 , G02B6/12 , G02B6/12016 , G02B6/12019 , G02B6/1228 , G02B6/124 , G02B6/2552 , G02B6/30 , G02B6/305 , G02B2006/12126 , G02B2006/12142 , G02B2006/12145 , G02B2006/1215 , G02B2006/12195
摘要： 本发明提供一种光波导器件以及模块，在波导型器件中适当地终止剩余光功率。根据本发明的一个实施例，波导型器件具备为了终止来自波导端部的光而填充有遮光材料的终端构造。通过去除包层和芯部来在光波导上形成槽，在该槽内填满使光强度衰减的材料（遮光材料），由此能够形成该终端构造。由此，入射到终端构造的光通过遮光材料而衰减，能够抑制成为串扰成分而影响其它光学器件。通过这样的终端构造，不仅能够抑制在同一基板内集成的光学器件彼此的影响，还能够抑制对于与该基板直接连接的其它光学器件等的影响。
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公开(公告)号：CN115039004A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202180012229.5
申请日：2021-02-02
申请人： NTT 电子股份有限公司
IPC分类号： G02B6/136 , H01L21/3065
摘要： 基于局部刻蚀的光器件制造方法和光器件制造装置，其特征在于，在制造由传输光的芯和包层构成的波导型光器件的晶圆工艺中，使用局部地进行刻蚀加工的喷嘴并使其移动，在该晶圆的任意位置形成任意角度的斜端面、曲面形状的端面、膜厚发生变化的芯。使用局部刻蚀在光波导端部形成斜端面实现例如45度的反射镜或者具有聚光性的非平面反射镜、膜厚控制芯，来实现高效的光连接。
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公开(公告)号：CN104345392A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410697531.0
申请日：2010-11-26
申请人： NTT电子股份有限公司 , 日本电信电话株式会社
CPC分类号： G02B6/243 , G02B6/12 , G02B6/12016 , G02B6/12019 , G02B6/1228 , G02B6/124 , G02B6/2552 , G02B6/30 , G02B6/305 , G02B2006/12126 , G02B2006/12142 , G02B2006/12145 , G02B2006/1215 , G02B2006/12195
摘要： 本发明提供一种光波导器件以及模块，在波导型器件中适当地终止剩余光功率。根据本发明的一个实施例，波导型器件具备为了终止来自波导端部的光而填充有遮光材料的终端构造。通过去除包层和芯部来在光波导上形成槽，在该槽内填满使光强度衰减的材料(遮光材料)，由此能够形成该终端构造。由此，入射到终端构造的光通过遮光材料而衰减，能够抑制成为串扰成分而影响其它光学器件。通过这样的终端构造，不仅能够抑制在同一基板内集成的光学器件彼此的影响，还能够抑制对于与该基板直接连接的其它光学器件等的影响。
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公开(公告)号：CN102667556B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201080053387.7
申请日：2010-11-26
申请人： NTT电子股份有限公司 , 日本电信电话株式会社
CPC分类号： G02B6/243 , G02B6/12 , G02B6/12016 , G02B6/12019 , G02B6/1228 , G02B6/124 , G02B6/2552 , G02B6/30 , G02B6/305 , G02B2006/12126 , G02B2006/12142 , G02B2006/12145 , G02B2006/1215 , G02B2006/12195
摘要： 本发明提供一种光波导器件以及模块，在波导型器件中适当地终止剩余光功率。根据本发明的一个实施例，波导型器件具备为了终止来自波导端部的光而填充有遮光材料的终端构造。通过去除包层和芯部来在光波导上形成槽，在该槽内填满使光强度衰减的材料（遮光材料），由此能够形成该终端构造。由此，入射到终端构造的光通过遮光材料而衰减，能够抑制成为串扰成分而影响其它光学器件。通过这样的终端构造，不仅能够抑制在同一基板内集成的光学器件彼此的影响，还能够抑制对于与该基板直接连接的其它光学器件等的影响。
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