公开(公告)号：CN109642891A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201680088357.7

申请日：2016-10-26

申请人： QORVO美国公司

发明人： 马修·赖德 ,  里约·里瓦斯 ,  塞恩·爱德华兹

IPC分类号： G01N29/02 ,  G01N29/036

CPC分类号： H03H9/02015 ,  G01N29/022 ,  G01N29/036 ,  G01N33/536 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0426 ,  H03H3/02 ,  H03H9/131 ,  H03H9/175 ,  H03H2003/027 ,  H03H2009/155

摘要： 一种微机电系统(MEMS)谐振器装置，包括至少一种功能化材料，所述功能化材料布置在顶侧电极的至少中心部分上，但是少于整个顶侧电极。对于在中心点处表现出最大灵敏度并且沿其外围具有降低的灵敏度的有源区域，在谐振器有源区域的至少一个外围部分上省略功能化材料防止分析物在最低灵敏度的区域中结合。至少一种功能化材料的最大长度在有源区域长度的约20％至约95％的范围内延伸，并且最大宽度在有源区域宽度的约50％至100％的范围内延伸。还提供了用于制造MEMS谐振器装置的方法。

公开(公告)号：CN114787626A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202080078039.9

申请日：2020-06-29

申请人： QORVO美国公司

发明人： 布曲克·迪普 ,  约翰·贝尔希克 ,  马修·瓦西里克 ,  里约·里瓦斯 ,  阮鹏 ,  德雅·德尼兹

IPC分类号： G01N33/536 ,  H01L21/56 ,  H01L41/04 ,  H03B5/32 ,  H03H9/02 ,  H39H9/17

摘要： 本文中描述了一种流体装置和一种防止隔离材料在所述流体装置中渗出的方法。所述流体装置包括体声波谐振器结构，所述体声波谐振器结构限定上面设置有功能化材料的至少一个表面积区域并且所述谐振器结构包括排斥区。所述流体装置还包括隔离材料，所述隔离材料设置在所述谐振器结构上并且设置为远离所述至少一个表面积区域。所述排斥区被配置为防止所述隔离材料延伸到所述至少一个表面积区域中。另外，电子板可能够操作地附接到所述谐振器结构并且所述隔离材料可设置在所述电子板与所述谐振器结构之间的间隙中以使电接触件电隔离并形成流体通道。