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公开(公告)号：CN109639255A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811592051.2
申请日：2018-12-25
申请人： 天津大学 , 诺思(天津)微系统有限责任公司
CPC分类号： H03H9/70 , H03H9/02236 , H03H9/02244 , H03H9/15 , H03H9/205 , H03H2009/02251 , H03H2009/155
摘要： 本发明提供一种双工器，包括：发射滤波器，所述发射滤波器连接在发射端与天线端之间并且包括以梯形形式连接的串联谐振器和并联谐振器；以及接收滤波器，所述接收滤波器连接在接收端与所述天线端之间并且包括以梯形形式连接的串联谐振器和并联谐振器，其中，LWR谐振器连接在TX或RX的串联支路上或LWR谐振器连接在TX或RX的并联支路上并与接地端连接；本申请在滤波器和双工器的结构设计中引入LWR谐振器应用于压电滤波器、双工器的结构中来改善压电滤波器、双工器的性能，通过利用LWR谐振频点的阻抗特性、灵活的频率以及压电耦合系数调节的特点，采用不同的频率和压电耦合系数的组合，在特定的频点实现需要的阻抗变换。
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公开(公告)号：CN104868869A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510085146.5
申请日：2015-02-16
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 吉泽隆彦
CPC分类号： H03H9/2457 , H03H2003/027 , H03H2009/02291 , H03H2009/02472 , H03H2009/02511 , H03H2009/155
摘要： 本发明涉及振子及其制造方法、以及电子装置。本发明所涉及电子装置的制造方法包括：基板；下部电极，其被形成在所述基板上，并形成有贯穿孔；上部电极，其以与所述下部电极隔开的方式被配置在所述下部电极的上方，并具有朝向所述贯穿孔突出的突起部；对置部，其被形成在所述基板上，并与所述突起部对置，所述对置部与所述突起部之间的距离小于所述下部电极与所述上部电极之间的距离。
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公开(公告)号：CN103930979A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201280055058.5
申请日：2012-10-03
申请人： 国际商业机器公司
IPC分类号： H01L21/469
CPC分类号： H03H9/02007 , G06F17/5072 , H01L21/84 , H01L27/1203 , H03H3/02 , H03H9/1007 , H03H9/173 , H03H2001/0064 , H03H2003/027 , H03H2009/155
摘要： 公开了采用CMOS工艺、制造方法和设计结构集成的体声波滤波器和/或体声波谐振器。所述方法包括形成至少一个包括非晶硅材料(29)的梁(44)并且在所述非晶硅梁上方并且与其相邻提供绝缘体材料(32)。该方法还包括形成穿过绝缘体材料的通孔(50)并且暴露非晶硅梁(44)下面的材料(25)。该方法还包括在通孔中和非晶硅梁上方提供牺牲材料(36)。该方法还包括在牺牲材料上和绝缘体材料上方提供盖子(38)。该方法还包括通过盖子(排放孔40)排放牺牲材料和下面材料，以分别在非晶硅梁之上形成上部空腔(42a)并且在非晶硅梁之下形成下部空腔(42b)。
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公开(公告)号：CN109642891A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201680088357.7
申请日：2016-10-26
申请人： QORVO美国公司
IPC分类号： G01N29/02 , G01N29/036
CPC分类号： H03H9/02015 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N33/536 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0426 , H03H3/02 , H03H9/131 , H03H9/175 , H03H2003/027 , H03H2009/155
摘要： 一种微机电系统(MEMS)谐振器装置，包括至少一种功能化材料，所述功能化材料布置在顶侧电极的至少中心部分上，但是少于整个顶侧电极。对于在中心点处表现出最大灵敏度并且沿其外围具有降低的灵敏度的有源区域，在谐振器有源区域的至少一个外围部分上省略功能化材料防止分析物在最低灵敏度的区域中结合。至少一种功能化材料的最大长度在有源区域长度的约20％至约95％的范围内延伸，并且最大宽度在有源区域宽度的约50％至100％的范围内延伸。还提供了用于制造MEMS谐振器装置的方法。
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公开(公告)号：CN105874709B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201580003676.9
申请日：2015-01-15
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/02244 , H03H3/0077 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H9/0504 , H03H9/17 , H03H9/171 , H03H2003/027 , H03H2003/0442 , H03H2009/02173 , H03H2009/155
摘要： 本发明提供压电振子以及压电振动装置。能够高效地进行压电振子中的共振频率的调整。压电振子具备：第一电极以及第二电极；压电膜，其形成于第一电极与第二电极之间，并且具有与第一电极对置的第一面；以及第一调整膜以及第二调整膜，它们经由第一电极与压电膜的第一面对置地形成，第一调整膜在第一面中的至少第一区域与压电膜重叠，第二调整膜在第一面中的至少与第一区域不同的第二区域与压电膜重叠，通过第一区域以及第二区域覆盖第一面的大致全域，第二区域是在该压电振子的振动时位移比第一区域大的区域，第二调整膜由蚀刻所导致的质量减少的速度比第一调整膜快的材料形成。
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公开(公告)号：CN108474765A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680079594.7
申请日：2016-11-21
申请人： QORVO美国公司
IPC分类号： G01N29/02 , G01N29/036 , G01N29/32 , H03H9/17
CPC分类号： G01N33/5438 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N29/32 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0422 , G01N2291/0423 , H03H9/13 , H03H9/172 , H03H9/175 , H03H2009/155
摘要： 本公开提供一种具有对有效区的减小的机械夹紧以用于增强的剪切模式响应的声谐振器。更具体地，本公开提供一种固态装配型BAW谐振器器件，其具有被带有减小的压电材料厚度的无效区横向包围的压电材料的有效区，使得至少沿着有效区的边界的无效区的上部部分没有压电材料。谐振器器件提供沿着有效区的压电材料的相对横向边缘的不连续性以减小在剪切模式操作中的最大横向位移的方向上对有效区的机械夹紧。增加压电材料的有效区的机械隔离降低对有效区的横向振动的机械阻尼，这增强对于准剪切模式感测的剪切模式响应。
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公开(公告)号：CN103930979B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201280055058.5
申请日：2012-10-03
申请人： 国际商业机器公司
IPC分类号： H01L21/469
CPC分类号： H03H9/02007 , G06F17/5072 , H01L21/84 , H01L27/1203 , H03H3/02 , H03H9/1007 , H03H9/173 , H03H2001/0064 , H03H2003/027 , H03H2009/155
摘要： 公开了采用CMOS工艺、制造方法和设计结构集成的体声波滤波器和/或体声波谐振器。所述方法包括形成至少一个包括非晶硅材料(29)的梁(44)并且在所述非晶硅梁上方并且与其相邻提供绝缘体材料(32)。该方法还包括形成穿过绝缘体材料的通孔(50)并且暴露非晶硅梁(44)下面的材料(25)。该方法还包括在通孔中和非晶硅梁上方提供牺牲材料(36)。该方法还包括在牺牲材料上和绝缘体材料上方提供盖子(38)。该方法还包括通过盖子(排放孔40)排放牺牲材料和下面材料，以分别在非晶硅梁之上形成上部空腔(42a)并且在非晶硅梁之下形成下部空腔(42b)。
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公开(公告)号：CN105210294A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480026840.3
申请日：2014-05-01
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/083 , H03H9/02448 , H03H9/0595 , H03H9/2452 , H03H2009/155
摘要： 本发明提供可充分减小频率温度系数TCF的绝对值的振动装置。振动装置(1)是在俯视时，具有具备长边和短边的矩形板状的形状，并利用在上述短边方向伸缩振动模式的振动装置，包含由简并半导体构成的Si层(2)、氧化硅层(3)、压电体层(5)、以及对压电体层(5)施加电压的第一、第二电极(6、7)，在将Si层的厚度的总和设为T1、将氧化硅层(3)的厚度的总和设为T2、将未设置有氧化硅层(3)的情况下的振动装置的TCF设为x(ppm/K)时，T2/(T1+T2)处于(-0.0003x2-0.0256x+0.0008)±0.05的范围内。
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公开(公告)号：CN108964631A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201711444086.7
申请日：2017-12-27
申请人： 三星电机株式会社
IPC分类号： H03H9/15
CPC分类号： H03H3/0077 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H7/422 , H03H9/0095 , H03H9/0542 , H03H9/173 , H03H2003/0071 , H03H2003/021 , H03H9/15 , H03H2009/155
摘要： 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极、上电极连接构件和介电层，其中，所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。延伸部从所述下电极或所述上电极延伸以从所述谐振部向外突出。所述延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成电容器部，其中，所述上电极连接构件的所述部分设置在所述延伸部之上，所述介电层的所述部分设置在所述延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述延伸部之上的所述部分之间。
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公开(公告)号：CN107925398A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680050398.7
申请日：2016-07-07
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 广田和香奈
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/0595 , H03H9/10 , H03H9/1057 , H03H9/215 , H03H9/2489 , H03H2009/155
摘要： 本发明提供谐振子和谐振装置，在谐振子中，能够在维持振荡电路的振荡效率的状态下，实现谐振子的小型化。谐振子具备基部和具备多个振动臂的振动部，该多个振动臂具有一端和另一端，该一端与基部连接，多个振动臂具有压电薄膜和层叠于该压电薄膜的电极，随着从一端趋向另一端，多个振动臂的各自宽度变大，在多个振动臂，随着从该振动臂的一端趋向另一端，电极的宽度分别变大。
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