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公开(公告)号：CN101562127B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200910132710.9
申请日：2009-04-14
申请人： THK株式会社 , THK英特克斯股份有限公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/301 , B28D5/00
摘要： 本发明提供一种能够使从划线工具赋予工件上的载荷稳定化的划线装置。本发明的划线装置具备：轴部件(1)，其具有磁铁(5)；电枢(2)，其具有围绕轴部件(1)的周围的多个线圈(8)；划线工具(4)，其设置于轴部件(1)的前端，用于在薄板状的工件(W)上刻上划线；移动机构(21)，其使划线工具(4)沿工件(W)的表面相对移动。在电枢(2)的线圈中流过电流，由此划线工具向工件(W)的表面进退。在划线工具与工件(W)的表面接触时，进一步在电枢(2)的线圈中流过电流，由此在按照工件(W)的表面内的划线工具(4)的行进方向使轴部件(1)绕其轴线旋转的状态下，从划线工具(4)向工件(W)赋予载荷。
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公开(公告)号：CN101663246A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200880010136.3
申请日：2008-02-29
申请人： THK株式会社 , THK英特克斯股份有限公司
CPC分类号： C03B33/033 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , C03B33/03 , C03B33/04
摘要： 本发明提供一种减少工件的表面损伤、且能够获得深穿透的划线装置以及方法。本发明的划线装置具有：工作台(1)，所述工作台(1)将工件(W)的夹着要刻划线(L)的预定的部分的一侧的至少一部分固定，且使工件(W)的另一侧处于浮在空中的悬臂状态；相对移动机构(3、6)，所述相对移动机构(3、6)将刀具(10)与处于浮在空中的状态下的要刻划线(L)的预定的部分抵接，沿着要刻划线的预定的部分使刀具(10)相对于工件(W)相对移动，从而在工件(W)上刻上划线(L)。抑制用于使垂直裂缝生长所需要的力的矢量(在工件(W)的表面内与划线正交的方向的力)的力通过解除工件(W)的另一侧的固定而不发挥作用。因此，垂直裂缝易于生长，且水平裂缝的生长也能够受到抑制。
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公开(公告)号：CN101522383B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN200780037170.5
申请日：2007-09-28
申请人： THK株式会社 , THK英特克斯股份有限公司
IPC分类号： B28D5/00 , B28D1/24 , C03B33/027
摘要： 本发明提供一种划线装置，其即使在划线装置上设有旋转机构(摇头机构)的情况下，也能够使振动器的振动不衰减地向刀具传递。划线装置具备使刀具(11)振动的划线头(12)、使划线头(12)沿工件着(17)的表面移动的移动机构(13)。划线头(12)具有能够抵接于工件(17)的表面的刀具(11)、使刀具(11)沿与工件(17)的表面交叉的方向振动的振动器(19)、与振动器(19)的振动方向(L)的端部紧贴且将振动器(19)的振动向刀具(11)传递的振动传递部(22)。振动器(19)、振动传递部(22)及刀具(11)能够以与振动器(19)的振动方向(L)平行的轴线为中心一起旋转。
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公开(公告)号：CN101663246B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200880010136.3
申请日：2008-02-29
申请人： THK株式会社 , THK英特克斯股份有限公司
CPC分类号： C03B33/033 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , C03B33/03 , C03B33/04
摘要： 本发明提供一种减少工件的表面损伤、且能够获得深穿透的划线装置以及方法。本发明的划线装置具有：工作台(1)，所述工作台(1)将工件(W)的夹着要刻划线(L)的预定的部分的一侧的至少一部分固定，且使工件(W)的另一侧处于浮在空中的悬臂状态；相对移动机构(3、6)，所述相对移动机构(3、6)将刀具(10)与处于浮在空中的状态下的要刻划线(L)的预定的部分抵接，沿着要刻划线的预定的部分使刀具(10)相对于工件(W)相对移动，从而在工件(W)上刻上划线(L)。抑制用于使垂直裂缝生长所需要的力的矢量(在工件(W)的表面内与划线正交的方向的力)的力通过解除工件(W)的另一侧的固定而不发挥作用。因此，垂直裂缝易于生长，且水平裂缝的生长也能够受到抑制。
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公开(公告)号：CN101146657B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200680009613.5
申请日：2006-03-20
申请人： THK英特克斯股份有限公司 , THK株式会社
IPC分类号： B28D5/00 , C03B33/027
CPC分类号： C03B33/027
摘要： 本发明提供一种划线装置，在工件上刻上划线的划线装置中，将粗动机构和微动机构巧妙地配合，从而能够在零点位置准确地停止刀具。本发明的划线装置具备：可平行于工件表面移动的基座(3)；相对于基座(3)上升下降的移动台(4)；在下端设置用于在工件上刻上划线的刀具(2)、且与移动台(4)一起上升下降的头部(6)；引导移动台(4)上升下降的第一直动导轨(8)、(9)；引导头部(6)上升下降的第二直动导轨(8)、(10)。而且，在移动台(4)及头部(6)的下降中，即使刀具(2)接触工件(1)而使头部(6)的下降停止，也能够容许移动台(4)稍微下降。
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公开(公告)号：CN101657388A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200880011733.8
申请日：2008-04-08
申请人： 三星钻石工业股份有限公司 , THK英特克斯股份有限公司
IPC分类号： C03B33/023 , B28D5/00
CPC分类号： C03B33/10 , B28D1/225 , C03B33/033 , C03B33/107
摘要： 本发明提供一种不会对硬质的玻璃基板等脆性材料基板(W)造成损伤，且能够形成深的垂直裂缝的新型划线装置及划线方法。本发明的划线装置具备：划线轮(34)，其中，共有旋转轴(60)的两个圆锥的底部相交而形成圆周棱线(62)，沿该圆周棱线(62)在圆周方向交替地形成多个切口(64)及突起(65)，突起(65)由切下圆周棱线(62)而剩余的在圆周方向上具有长度的圆周棱线(62)的部分构成，切口(64)的圆周方向的长度(a)比突起(65)的圆周方向的长度(b)短；划线头(24)，其具有使划线轮(34)在相对于所述脆性材料基板(W)的表面交叉的方向上振动的振动致动器(35)；移动机构(25)，其使划线头(24)沿脆性材料基板(W)的表面移动。
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公开(公告)号：CN101657388B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200880011733.8
申请日：2008-04-08
申请人： 三星钻石工业股份有限公司 , THK英特克斯股份有限公司
IPC分类号： C03B33/023 , B28D5/00
CPC分类号： C03B33/10 , B28D1/225 , C03B33/033 , C03B33/107
摘要： 本发明提供一种不会对硬质的玻璃基板等脆性材料基板(W)造成损伤，且能够形成深的垂直裂缝的新型划线装置及划线方法。本发明的划线装置具备：划线轮(34)，其中，共有旋转轴(60)的两个圆锥的底部相交而形成圆周棱线(62)，沿该圆周棱线(62)在圆周方向交替地形成多个切口(64)及突起(65)，突起(65)由切下圆周棱线(62)而剩余的在圆周方向上具有长度的圆周棱线(62)的部分构成，切口(64)的圆周方向的长度(a)比突起(65)的圆周方向的长度(b)短；划线头(24)，其具有使划线轮(34)在相对于所述脆性材料基板(W)的表面交叉的方向上振动的振动致动器(35)；移动机构(25)，其使划线头(24)沿脆性材料基板(W)的表面移动。
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