公开(公告)号：CN103890927A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280046775.1

申请日：2012-09-27

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 穴田和辉 ,  石川佳津子 ,  吉井雄一 ,  米泽顺治

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/6875 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明公开了一种交流驱动静电吸盘，具备：电介体基板，具有形成于载置被吸附物侧的主面的突起部与形成于所述突起部周围的底面部；以及电极，设置在所述电介体基板；其中，所述电极包括多个相互分离配设的电极元件，所述多个电极元件能够分别被施加相位各不相同的交流电压，所述突起部根据所述多个电极元件的形状，按规定的间隔配置于所述主面上。本发明能够抑制对设置在载置面侧的突起部的一部分造成局部损伤。

公开(公告)号：CN103053018A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201180037611.8

申请日：2011-08-11

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 石川佳津子 ,  米澤顺治 ,  青岛利裕

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

CPC classification number: H02N13/00 ,  B23Q3/152 ,  H01L21/6833

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，是具备电介体基板的静电吸盘，该电介体基板具有：突起部，形成在载放被吸附物侧的主面上；及平面部，形成在所述突起部的周围，其特征在于，所述电介体基板由多晶陶瓷烧结体形成，用激光显微镜求出的所述主面中的干涉条纹占有面积率小于1%。可以提供一种静电吸盘及静电吸盘的制造方法，可抑制产生颗粒。

公开(公告)号：CN103038874A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201180037269.1

申请日：2011-08-11

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 石川佳津子 ,  米澤顺治 ,  青岛利裕 ,  林田义秀

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B23Q3/15 ,  B32B3/30 ,  B32B5/14 ,  B32B5/142 ,  B32B5/147 ,  H01L21/6875 ,  H02N13/00 ,  Y10T279/23 ,  Y10T428/24182 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/26

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，是具备电介体基板的静电吸盘，该电介体基板具有：突起部，形成在载放被吸附物侧的主面上；及平面部，形成在所述突起部的周围，其特征在于，所述电介体基板由多晶陶瓷烧结体形成，所述突起部的顶面为曲面，在所述顶面上形成有第1凹部，所述平面部具有平坦部，在所述平坦部上形成有第2凹部，所述第1凹部的深度尺寸比所述第2凹部的深度尺寸大。可抑制产生颗粒，同时容易使静电吸盘表面的清洁状态恢复。