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公开(公告)号：CN105954829B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201610575965.2
申请日：2016-07-19
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
发明人： 吕耀安
IPC分类号： G02B6/00
摘要： 本发明公开了一种六边形通道的硅光导管，包括硅基衬底；所述硅基衬底之上外延有第一硅氧化物层；所述第一硅氧化物层之上生长有截面为正六边形的硅区域；所述硅区域的底边与第一硅氧化物层的表面相重合；以所述硅区域的正六边形的截面的呈水平方向的中轴线为界，在此中轴线与所述第一硅氧化物层之间、所述硅区域的外围包裹有第二硅氧化物层，在所述第二硅氧化物层之上、所述硅区域的外围包裹有第三硅氧化物层；所述硅区域的横截面的对角线的长度1μm～3μm。本发明中的光传导通道为正六边形，由基本的数学知识可知，相对于正四边形的光传导通道而言，本发明更接近理想的横截面为圆形的光传到通道，传导效果更理想。
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公开(公告)号：CN106206388B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201610576371.3
申请日：2016-07-20
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
发明人： 吕耀安
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , G01R1/04
摘要： 本发明公开了一种无爪芯片移动夹具，包括悬挂杆；所述悬挂杆的一端固定有相互紧靠的第一卡位块和第二卡位块；所述悬挂杆的中部固定有第三卡位块；所述悬挂杆的另一端固定有第四卡位块；还包括铲具；所述铲具通过连接件固定在所述悬挂杆之上、所述第一卡位块和所述第二卡位块之间；所述铲具的铲板为倾斜状；所述铲板的两侧设置有防掉落挡板；还包括拨片；所述拨片悬挂在所述悬挂杆之上、所述第三卡位块和所述第四卡位块之间；所述拨片由电机控制，可在所述第三卡位块和所述第四卡位块之间移动。本发明控制更加简单。且芯片在移动过程中可有效阻止芯片掉落，使得芯片移动更加安全。
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公开(公告)号：CN106449511A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610881145.6
申请日：2016-09-30
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
发明人： 吕耀安
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68735 , H01L21/6875
摘要： 本发明公开了一种带有多个卡位装置的晶圆夹持装置，包括主体板；所述主体板的边缘设置有多个等间距的凹槽；所述凹槽之内安装有倒置的凸字形固定块；所述凸字形固定块的凸出部分嵌入所述凹槽之中，其余部分卡在所述主体板的上表面；还包括水滴形的卡具；卡具的上部通过旋转轴安装在凸字形固定块的凸出部分；卡具内侧开有三角形的开口；主体板的上表面中间固定有移动臂。本发明中，晶圆边缘是卡在一个三角形的凹槽中，夹持过程中，夹具并不直接接触晶圆的上下表面，对晶圆的损伤较小。且由于晶圆卡在夹具的多个三角形凹槽中，即使夹持力度较小，也不会滑落，增加了夹持的安全度。
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公开(公告)号：CN106381478A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201610885351.4
申请日：2016-10-10
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
发明人： 吕耀安
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/455
摘要： 本发明涉及一种晶圆化学气相淀积反应装置的进气结构，包括腔体，腔体上设有进气端及出气端，所述腔体的内腔包括上部的反应腔及下部的增压腔，导气管设置于所述反应腔中，所述导气管的两端与所述增压腔连通，所述增压腔与腔体外的增压泵连接。本发明的结构简单，紧凑；采用增压方式，提高反应速度，即提高薄膜的成型速度。
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公开(公告)号：CN106371172A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201510119456.4
申请日：2015-07-24
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
IPC分类号： G02B6/124
摘要： 本发明公开了一种阵列波导光栅，包括依次连接的输入波导区、输入平板波导区、阵列波导区、输出平板波导区和输出波导区，所述阵列波导区中嵌入至少两种温度补偿介质以实现至少二阶温度补偿，并以阵列波导光栅的中心阵列波导为对称轴，调整输出罗兰圆的曲率半径，同时调整非中心阵列波导与中心阵列波导之间的夹角，以及非中心阵列波导在输出罗兰圆上的位置，该新型可以显著地改善常规阵列波导光栅的温度特性，实现阵列波导光栅的温度不敏感化，有效地减小了散射损耗，可以实现阵列波导光栅的边缘通道输出响应平坦化，而且可提高各通道间损耗均匀性。
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公开(公告)号：CN106298601A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610878078.2
申请日：2016-10-08
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
发明人： 吕耀安
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/6732
摘要： 本发明涉及一种晶圆储存筒，包括内筒及外圈，所述内筒的中心具有套孔，内筒的周面间隔设有多个安放槽，所述外圈上设有与所述安放槽对应的卡槽，所述安放槽的径向长度大于所述外圈的径向长度，所述晶圆放置于所述安放槽与卡槽之间。本发明中，晶圆围绕放置在储存筒上，结构紧凑，占用空间小，仓储成本低。
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公开(公告)号：CN106269585A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610555745.3
申请日：2016-07-14
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
发明人： 吕耀安
IPC分类号： B07C5/36
CPC分类号： B07C5/362 , B07C2501/0063
摘要： 本发明公开了一种通过摄像头挑选不合格晶粒的仪器，包括主工作台和副工作台；主工作台可沿横向轨道左右移动；副工作台下方固定有纵向轨道；纵向轨道可沿所述主工作台上的轨道凹槽前后移动；所述主工作台上设置有晶圆固定槽；还包括纵向支架；所述纵向支架上固定有垂直于所述纵向支架的横向支架；所述横向支架安装有可上下移动的抓手部件；所述抓手部件的正下方设置有一摄像头；所述抓手部件的下方侧壁上固定有抓手。本发明公开了一种挑选不合格晶粒的仪器，可通过摄像头，对晶圆上的每一个晶粒进行拍摄，当捕捉到有墨点的晶粒之后，就控制抓手部件，将不合格晶粒挑选出来。本发明原理简单，挑选精确度高，可增加挑选速度，增加晶粒良率。
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公开(公告)号：CN106252270A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610574015.8
申请日：2016-07-20
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
发明人： 吕耀安
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68735 , H01L21/68785
摘要： 本发明公开了一种可自动拾取芯片的夹具，包括悬挂杆；所述悬挂杆的两端固定有第一定位块和第二定位块；还包括铲具；所述铲具固定在所述悬挂杆之上；所述铲具还包括倾斜状的铲板；所述铲板的两侧分别设置有一个防掉落挡板；所述防掉落挡板的外侧设置有滑动轨道；还包括滑动挡板；所述滑动挡板为凹字形框体，滑动挡板相对的两边末端都置有滑动块；两个滑动块分别嵌置于两个滑动轨道之中，并且可以在所述滑动轨道中滑动；本发明可通过滑动挡板将芯片放置于铲板之上，且可以有效放置芯片在移动时从铲板之上掉落。本发明控制过程简单，只需控制滑动挡板即可，所以也容易制造和维修。
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公开(公告)号：CN106079909A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610529867.5
申请日：2016-07-06
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
发明人： 吕耀安
IPC分类号： B41J3/00
CPC分类号： B41J3/00
摘要： 本发明公开了一种可同时标记多根光纤的光纤内线缆打标机，包括光纤信号发出端和光纤信号接收端；所述光纤信号接收端包括多个线缆固定位，每个线缆固定位对应一个信号接收灯；光纤的一端为束好状态，连接与光纤信号发出端，另一端为分散状态，内部的每根线缆固定于线缆固定位，且与信号接收灯连接；还包括位于光纤信号发出端和光纤信号接收端之间的打标装置；所述打标装置包括可控制其上下移动的臂杆；打标装置还包括排列为一排的形状为倒置U形的压纸装置，每个压纸装置的侧段设置有标签纸输送装置。本发明可自动同时对光纤中的多根线缆进行信号测试，并根据需要，自动对需要标记的某些线缆贴上标记纸，有利于加快测试速度，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN106011961A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610481937.4
申请日：2016-06-28
申请人： 无锡宏纳科技有限公司
发明人： 吕耀安
摘要： 本发明公开了一种提高铜间隙填充能力的电镀方法，包括：步骤1、制造种子层；步骤2、在电镀腔内充满硫酸铜溶液；将硅片固定于阴极，将铜块固定于阳极；步骤3、在阴极和阳极之间加一震荡电场；所述震荡电场为多个循环的方波周期，每个方波周期T依次被分为第一时段t1、第二时段t2和第三时段t3；在第一时段t1，方波的频率为f1；在第二时段t2，方波的频率为f2；在第三时段t3，方波的频率为f3，则满足：f1：f2：f3＝5：20：4。本发明震荡电场，使得镀铜的过程为，先沉积，再轻微刻蚀，最后再沉积，并反复这一过程的方法。这样增加了轻微的刻蚀过程，可以调整沉积过程中的不均匀部分，使之重新沉积，最后达到均匀沉积的目的。
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