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公开(公告)号:CN103314134B
公开(公告)日:2015-07-15
申请号:CN201180065147.3
申请日:2011-03-15
申请人: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC分类号: C23C18/02 , B05B1/04 , C23C16/455
CPC分类号: H01L31/1876 , B05B1/04 , B05B7/0012 , B05B7/0416 , B05B7/0458 , C23C16/4486 , C23C16/45514 , C23C16/45595
摘要: 本发明的目的在于提供一种成膜装置,该成膜装置能够维持均匀薄雾向用于实施成膜的基板的喷出,且防止薄雾喷射用喷嘴周边的结构的庞大化。而且,本发明具备用于产生成为成膜原料的薄雾的薄雾产生器(2)、及将由薄雾产生器产生的薄雾向进行膜的成膜的基板进行喷射的薄雾喷射用喷嘴(1)。薄雾喷射用喷嘴具备:具有空心部(1H)的主体部(1A);供给薄雾的薄雾供给口(5a);将薄雾喷射到外部的喷射口(8);供给载气的载气供给口(6a);及形成有多个孔(7a)的淋浴板(7)。在此,通过淋浴板的配置,空心部被分割为与载气供给口连接的第一空间(1S)及与喷射口连接的第二空间(1T),薄雾供给口与第二空间连接。
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公开(公告)号:CN104689937A
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201510084835.4
申请日:2015-02-16
申请人: 聊城鲁西聚碳酸酯有限公司
IPC分类号: B05B7/04
CPC分类号: B05B7/0458
摘要: 本发明公开了一种用于聚碳酸酯溶液气液混合喷嘴,包括同轴线、内外嵌套的内件和外壳,所述外壳上开有相通的蒸汽进料口和沿所述外壳轴线方向的混合物出口,所述内件中间粗、两头细,所述内件中间粗的部分与所述的外壳间隙配合,所述内件沿所述内件的轴线方向开有液体通道,所述的内件与外法兰连接,所述外壳外部固定内法兰;本发明中内件与外壳之间的空间可调,可调整物料混合比例及混合区域的空间大小;液体通道两次缩径可确保溶液在混合前均匀受热,防止溶液提前凝结。
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公开(公告)号:CN103857964A
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN201280048026.2
申请日:2012-09-27
申请人: 大金工业株式会社
CPC分类号: F28C3/08 , B05B7/0458 , B05B7/0483 , B05B7/0491 , B05B12/12 , F24F1/42 , F24F5/0035 , F24F2013/225 , F25B2339/041
摘要: 室外机(11)的喷雾喷嘴(21)包括:使空气流动的空气引导部(30);让水流动并使流过空气引导部(30)的空气流入水中从而形成包含大量的气泡的水的水引导部(40);与水引导部(40)相比位于水的流动方向的下游侧,将在水引导部(40)形成的包含大量的气泡的水以雾状喷向外部的喷雾部(51)。
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公开(公告)号:CN103314134A
公开(公告)日:2013-09-18
申请号:CN201180065147.3
申请日:2011-03-15
申请人: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC分类号: C23C18/02 , B05B1/04 , C23C16/455
CPC分类号: H01L31/1876 , B05B1/04 , B05B7/0012 , B05B7/0416 , B05B7/0458 , C23C16/4486 , C23C16/45514 , C23C16/45595
摘要: 本发明的目的在于提供一种成膜装置,该成膜装置能够维持均匀薄雾向用于实施成膜的基板的喷出,且防止薄雾喷射用喷嘴周边的结构的庞大化。而且,本发明具备用于产生成为成膜原料的薄雾的薄雾产生器(2)、及将由薄雾产生器产生的薄雾向进行膜的成膜的基板进行喷射的薄雾喷射用喷嘴(1)。薄雾喷射用喷嘴具备:具有空心部(1H)的主体部(1A);供给薄雾的薄雾供给口(5a);将薄雾喷射到外部的喷射口(8);供给载气的载气供给口(6a);及形成有多个孔(7a)的淋浴板(7)。在此,通过淋浴板的配置,空心部被分割为与载气供给口连接的第一空间(1S)及与喷射口连接的第二空间(1T),薄雾供给口与第二空间连接。
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公开(公告)号:CN102705272A
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN201110255503.X
申请日:2011-08-31
申请人: 韩铁夫
发明人: 韩铁夫
IPC分类号: F04F5/00
CPC分类号: F04F5/463 , B05B1/3415 , B05B7/045 , B05B7/0458 , B05B7/0491 , F04F5/04 , F04F5/16
摘要: 本发明一种射流泵,涉及流体的混流元件。它的环形引射器同轴串连地设置在中央引射器的前端;环形引射器有环形喷嘴、环形混合室和环形混合管;该中央引射器有中央喷嘴、中心混合室和中心混合管;主流体入口侧向连通环形喷嘴,主流体入口直通中心管末端的中央喷嘴,次流体进口通入环形混合室侧壁。一部分主流体经环形喷嘴引射通入环形混合室的次流体进入环形混合管内混合并输出环形混合流;另一部分主流体经中央喷嘴向中心混合管出口喷射并引射进入中心混合室的环形混合流,共同进入中心混合管做二次混合输出,完成高压主流体抽吸低压次流体的混流输送。这两个引射器套置串联组成的射流泵,轴向尺寸短,抽射率和输出压较高。
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公开(公告)号:CN1503700A
公开(公告)日:2004-06-09
申请号:CN02808018.1
申请日:2002-04-12
申请人: 乌里阿·卡萨勒有限公司
发明人: G·贝代蒂
CPC分类号: B01J8/245 , B01J2/16 , B01J8/1827 , B01J19/26 , B01J2219/00164 , B05B7/0458 , B05B7/0475 , B05B7/10
摘要: 用于流化床成粒机中颗粒生长液体物质的分布器设备的喷嘴,特征在于:它包括输送管(2),所述输送管(2)在一端含有至少一个用于选择颗粒的生长液体物质流(F)的入口孔,和在另一端含有用于这样物质的供应孔(5),从供应孔(5)以预定的间隔关系和与输送管(2)内部液体连通的方式外部结合到输送管(2)的气体流分布器(6),和结合到入口孔(3)和分布器(6)以在输送管(2)内部获得气体流在生长液体物质中乳化的乳化机构(8)。
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公开(公告)号:CN1092546C
公开(公告)日:2002-10-16
申请号:CN97196140.9
申请日:1997-07-08
申请人: 康宁股份有限公司
IPC分类号: B05B7/08
CPC分类号: F23D11/38 , B05B1/02 , B05B1/08 , B05B7/00 , B05B7/0433 , B05B7/0458 , B05B7/0884 , B05B15/40 , B05B17/0692 , C03B19/1423 , C03B2207/02 , C03B2207/06 , C03B2207/08 , C03B2207/34 , F23D11/107 , F23D11/108 , F23D2900/14482
摘要: 雾化装置(40,60,70,80,94)可通过雷利分裂机理形成液滴。各实施例包括一个或多个下述特征。诸液体喷口(48)形成一些可形成液滴的液体射流。各气体喷口(46)可提供能防止液滴凝聚的气体合流。各液体喷口(48)具有非圆形的横截面形状,以促进雷利分裂。还可设置流体振荡器(101)以促进雷利分裂。供送网络(58,50,52,60,54,56)可分别将气体和液体分别供送到气体喷口和液体喷口(46,48)。
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公开(公告)号:CN107199136A
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201710040567.5
申请日:2017-01-19
申请人: 松下知识产权经营株式会社
CPC分类号: B05B7/0483 , B05B7/0441 , B05B7/0458 , B05B1/34
摘要: 喷雾装置(10)自在内盖部(13)、整流板(30)以及圆环部(24)之间配置的气液混合部(15)的外周壁面附近的上游侧平坦面即内盖部(13)的内侧端面(13a)侧导入液体流,自其对置面导入气体流并使之碰撞,气液混合流体流在与气液混合部(15)的整流板(30)的气液混合部(15)面对的圆环部(24)的内表面转圈的同时向喷出部(16)行进,由此能够在气液混合部(15)内促进液体的微粒化。
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公开(公告)号:CN104941825A
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201510147930.4
申请日:2015-03-31
申请人: TOTO株式会社
CPC分类号: B05B7/0416 , B01F3/04007 , B05B1/1654 , B05B1/1672 , B05B7/0425 , B05B7/0433 , B05B7/0458 , E03C1/0405 , E03C1/084 , E03C1/102
摘要: 本发明提供一种吐水装置,其可切换淋浴吐水与整流吐水,在任意吐水状态下都能够吐出气泡混入水,在淋浴吐水及整流吐水的任意吐水状态下气泡混入量高且淋浴吐水的流速高。具体而言,在吐水装置所具有的淋浴流路(24)上形成有导向壁(24c),其仅使从流入口(11)流入的水流的一部分成为流向外侧的导向水流(Wb)。
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公开(公告)号:CN104415930A
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201310394829.X
申请日:2013-09-03
申请人: 亿力鑫系统科技股份有限公司
发明人: 邓志明
CPC分类号: B08B3/02 , B05B1/14 , B05B7/0458
摘要: 一种清洗基板方法及应用该清洗基板方法的流体喷头及流体喷头装置,该清洗基板方法包含以下步骤:(A)使处理液溶解有二氧化碳,以形成二次处理液;(B)将气体与二次处理液通入一流体喷头,且气体挤压二次处理液向下流动;(C)二次处理液自该流体喷头喷出至一基板上;及(D)二氧化碳从二次处理液中释出,以增加处理液接触基板表面的冲击力。应用所述清洗基板方法的流体喷头包括一喷头本体,一容室,一进气管,一进液管,及多个喷射流道。应用所述清洗基板方法的流体喷头装置,包含二左右设置的流体喷头。借此,使得基板的清洁效率大幅提升,进而提升产品合格率,且制程上更为环保。
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