成膜装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103314134B

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201180065147.3

    申请日:2011-03-15

    IPC分类号: C23C18/02 B05B1/04 C23C16/455

    摘要: 本发明的目的在于提供一种成膜装置,该成膜装置能够维持均匀薄雾向用于实施成膜的基板的喷出,且防止薄雾喷射用喷嘴周边的结构的庞大化。而且,本发明具备用于产生成为成膜原料的薄雾的薄雾产生器(2)、及将由薄雾产生器产生的薄雾向进行膜的成膜的基板进行喷射的薄雾喷射用喷嘴(1)。薄雾喷射用喷嘴具备:具有空心部(1H)的主体部(1A);供给薄雾的薄雾供给口(5a);将薄雾喷射到外部的喷射口(8);供给载气的载气供给口(6a);及形成有多个孔(7a)的淋浴板(7)。在此,通过淋浴板的配置,空心部被分割为与载气供给口连接的第一空间(1S)及与喷射口连接的第二空间(1T),薄雾供给口与第二空间连接。

    一种用于聚碳酸酯溶液气液混合喷嘴

    公开(公告)号:CN104689937A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201510084835.4

    申请日:2015-02-16

    IPC分类号: B05B7/04

    CPC分类号: B05B7/0458

    摘要: 本发明公开了一种用于聚碳酸酯溶液气液混合喷嘴,包括同轴线、内外嵌套的内件和外壳,所述外壳上开有相通的蒸汽进料口和沿所述外壳轴线方向的混合物出口,所述内件中间粗、两头细,所述内件中间粗的部分与所述的外壳间隙配合,所述内件沿所述内件的轴线方向开有液体通道,所述的内件与外法兰连接,所述外壳外部固定内法兰;本发明中内件与外壳之间的空间可调,可调整物料混合比例及混合区域的空间大小;液体通道两次缩径可确保溶液在混合前均匀受热,防止溶液提前凝结。

    成膜装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103314134A

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201180065147.3

    申请日:2011-03-15

    IPC分类号: C23C18/02 B05B1/04 C23C16/455

    摘要: 本发明的目的在于提供一种成膜装置,该成膜装置能够维持均匀薄雾向用于实施成膜的基板的喷出,且防止薄雾喷射用喷嘴周边的结构的庞大化。而且,本发明具备用于产生成为成膜原料的薄雾的薄雾产生器(2)、及将由薄雾产生器产生的薄雾向进行膜的成膜的基板进行喷射的薄雾喷射用喷嘴(1)。薄雾喷射用喷嘴具备:具有空心部(1H)的主体部(1A);供给薄雾的薄雾供给口(5a);将薄雾喷射到外部的喷射口(8);供给载气的载气供给口(6a);及形成有多个孔(7a)的淋浴板(7)。在此,通过淋浴板的配置,空心部被分割为与载气供给口连接的第一空间(1S)及与喷射口连接的第二空间(1T),薄雾供给口与第二空间连接。

    一种射流泵
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102705272A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201110255503.X

    申请日:2011-08-31

    申请人: 韩铁夫

    发明人: 韩铁夫

    IPC分类号: F04F5/00

    摘要: 本发明一种射流泵,涉及流体的混流元件。它的环形引射器同轴串连地设置在中央引射器的前端;环形引射器有环形喷嘴、环形混合室和环形混合管;该中央引射器有中央喷嘴、中心混合室和中心混合管;主流体入口侧向连通环形喷嘴,主流体入口直通中心管末端的中央喷嘴,次流体进口通入环形混合室侧壁。一部分主流体经环形喷嘴引射通入环形混合室的次流体进入环形混合管内混合并输出环形混合流;另一部分主流体经中央喷嘴向中心混合管出口喷射并引射进入中心混合室的环形混合流,共同进入中心混合管做二次混合输出,完成高压主流体抽吸低压次流体的混流输送。这两个引射器套置串联组成的射流泵,轴向尺寸短,抽射率和输出压较高。

    喷雾装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107199136A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201710040567.5

    申请日:2017-01-19

    IPC分类号: B05B7/04 B05B1/34

    摘要: 喷雾装置(10)自在内盖部(13)、整流板(30)以及圆环部(24)之间配置的气液混合部(15)的外周壁面附近的上游侧平坦面即内盖部(13)的内侧端面(13a)侧导入液体流,自其对置面导入气体流并使之碰撞,气液混合流体流在与气液混合部(15)的整流板(30)的气液混合部(15)面对的圆环部(24)的内表面转圈的同时向喷出部(16)行进,由此能够在气液混合部(15)内促进液体的微粒化。

    清洗基板方法、流体喷头及流体喷头装置

    公开(公告)号:CN104415930A

    公开(公告)日:2015-03-18

    申请号:CN201310394829.X

    申请日:2013-09-03

    发明人: 邓志明

    IPC分类号: B08B3/02 B05B7/04

    CPC分类号: B08B3/02 B05B1/14 B05B7/0458

    摘要: 一种清洗基板方法及应用该清洗基板方法的流体喷头及流体喷头装置,该清洗基板方法包含以下步骤:(A)使处理液溶解有二氧化碳,以形成二次处理液;(B)将气体与二次处理液通入一流体喷头,且气体挤压二次处理液向下流动;(C)二次处理液自该流体喷头喷出至一基板上;及(D)二氧化碳从二次处理液中释出,以增加处理液接触基板表面的冲击力。应用所述清洗基板方法的流体喷头包括一喷头本体,一容室,一进气管,一进液管,及多个喷射流道。应用所述清洗基板方法的流体喷头装置,包含二左右设置的流体喷头。借此,使得基板的清洁效率大幅提升,进而提升产品合格率,且制程上更为环保。