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    一种采用磁控溅射制备柔性稀土氧化物薄膜的方法
    1.
    发明公开
    一种采用磁控溅射制备柔性稀土氧化物薄膜的方法 有权 转让

    公开(公告)号：CN105970171A

    公开(公告)日：2016-09-28

    申请号：CN201610400932.4

    申请日：2016-06-08

    申请人： 苏州佳一新新材料科技有限公司

    发明人： 宋立军 ,  陈轶

    IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/08

    CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/001 ,  C23C14/08

    摘要： 本发明公开了一种采用磁控溅射制备柔性稀土氧化物薄膜的方法，包括如下步骤：a：选用4N稀土金属靶材；b：采用液态PDMS前体作为衬底；c：抽真空,通入氩气,预溅射清洗靶材表面；d：升温加热台到沉积薄膜所需要的温度并保温；e：通入混合气体,施加溅射功率,控制气体流量,开始向衬底表面镀膜1小时；f：恒温3小时，待温度降至室温时即制得柔性薄膜。本发明解决了现有常规刚性衬底上无法制备可剥离功能薄膜的技术问题，改变了之前稀土金属氧化物薄膜只能沉积在刚性衬底的现状,而且稀土金属氧化物薄膜膜厚可精确控制。

    一种液态金属材料基因编辑方法
    2.
    发明公开
    一种液态金属材料基因编辑方法 有权

    公开(公告)号：CN105734518A

    公开(公告)日：2016-07-06

    申请号：CN201610143946.2

    申请日：2016-03-14

    申请人： 云南科威液态金属谷研发有限公司

    发明人： 王磊 ,  刘静

    IPC分类号： C23C14/48 ,  C23C14/16

    CPC分类号： C23C14/48 ,  C23C14/001 ,  C23C14/16

    摘要： 本发明公开了一种液态金属材料基因编辑方法，该方法包括如下步骤：将液态金属置于真空腔室中的样品台上，给真空腔室抽真空，加热液态金属使之融化；启动旋转混匀器，控制样品台旋转或摇摆，带动熔融的液态金属转动或流动；选取产生离子束所需金属或非金属，并将其放入离子注入系统中，启动离子注入系统，由离子注入系统产生金属或非金属离子束，并将其引入真空腔室，由离子束向液态金属表面上的目标区域注入离子。本发明拓展了液态金属的研究范畴，可以在原子层面上借助金属、非金属甚至是气体原子的掺入实现对液态金属电学、热学、流变、氧化等性能的调控，以及研究液态金属原子或原子团簇与外来原子的相互作用；有助于拓展液态金属的应用领域。

    一种液相基底沉积金属薄膜分离装置
    3.
    发明公开
    一种液相基底沉积金属薄膜分离装置 失效 转让

    公开(公告)号：CN105671510A

    公开(公告)日：2016-06-15

    申请号：CN201610217374.8

    申请日：2016-04-07

    申请人： 乔宪武

    发明人： 乔宪武

    IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/58

    CPC分类号： C23C14/0005 ,  C23C14/001 ,  C23C14/35

    摘要： 本发明属于磁控溅射技术，具体涉及一种液相基底沉积金属薄膜分离装置，其特征在于：顶盖方便打开和密封开口，底座密封圆桶底部，带孔隔板固定在圆桶中间位置，带孔隔板中间涂二甲基硅油薄层，金属薄膜沉积在涂二甲基硅油薄层上方。本发明有益效果：通过本装置，磁控溅射后形成的金属膜可以在真空环境下获得，不会氧化；恒温的环境减少硅油内应力对金属薄膜的作用，不会出现金属薄膜褶皱。