公开(公告)号：CN102313819B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201110183221.3

申请日：2011-07-01

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： R.诺伊尔 ,  A.弗兰克 ,  A.布曼 ,  M.恩格泽

IPC分类号： G01P15/09 ,  G01L9/08

CPC分类号： G01L1/162 ,  G01L9/0022 ,  G01P15/09 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/0828

摘要： 本发明涉及一种用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置。该微机械的传感器装置包括基片、以活动的方式优选有弹性地布置在所述基片上的试验块、用于借助于压电效应将作用于所述试验块的力转换为优选电气的信号的转换装置、用于向所述试验块加载额外的力的力加载器件尤其电极、用于控制所述力加载器件的控制器件，其中所述控制器件如此控制所述力加载器件，从而暂时地尤其周期性地向所述试验块加载所述额外的力，并且本发明涉及一种相应的方法。

公开(公告)号：CN103477198B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201180066238.9

申请日：2011-11-28

申请人： 气体产品与化学公司

发明人： N·A·道尼 ,  M·贝伦斯

IPC分类号： G01L9/00

CPC分类号： G01L9/0022 ,  Y10T137/7761

摘要： 提供一种用于测量气体的压力的压力计。压力计包括可连接到气体源上且包括内部的壳体，在使用中，内部与所述气体连通。压力计进一步包括位于所述壳体内且包括压电振荡器的传感器组件，在使用中，压电振荡器定位成与所述气体接触，所述传感器组件布置成测量所述气体中的所述压电振荡器的振荡频率，并且配置成根据频率测量结果和气体的已知温度和已知分子量来确定气体的压力。通过提供这种组件，可提供耐过压且精确的压力计。这与传统压力计相反，传统压力计由于过压情形会永久地受损。

公开(公告)号：CN102589786A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210067050.2

申请日：2009-06-10

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 本山久雄

IPC分类号： G01L7/08 ,  G01L9/00 ,  G01L13/02

CPC分类号： G01L13/025 ,  G01L9/0022 ,  G01L19/0046

摘要： 本发明提供压力传感器用膜片和压力传感器，提供抑制了对熔接后的受压面造成的残留应力并改善了经年劣化的压力传感器用膜片和搭载了该膜片的压力传感器。压力传感器(10)用膜片(32)呈同心圆状一体地具有中央部(膜片主体)(40)和周缘部(凸缘)(44)，该中央部(40)的外表面受到外部压力而变形，内表面向外壳(12)内部的感压元件(38)传递力，该周缘部(44)在所述中央部(膜片主体)(40)的外侧，与形成在外壳(12)上的接头(22)的外周熔接，所述压力传感器(10)用膜片(32)封闭所述接头(22)，设置有在所述中央部(膜片主体)(40)和所述周缘部(凸缘)(44)之间形成阶梯的缓冲部(42)。

公开(公告)号：CN102374919A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110225645.1

申请日：2011-08-03

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 佐藤健太

IPC分类号： G01L9/08

CPC分类号： G01L13/023 ,  G01L9/0022 ,  G01L9/008 ,  G01L9/085 ,  G01L19/04

摘要： 一种压力传感器，其减少了随温度变化和压敏元件的年月变化而产生的压力测定值的误差。压力传感器(10)的特征在于，具有：受压单元(隔板(24))，其具有受力而位移的可挠部(中央区域(24a))和与可挠部的外周连接的边缘部(24c)；第1压敏元件(40)及第2压敏元件(42)，其具有压敏部和连接于压敏部两端的一对基部，且具有与对基部间进行连接的线平行的检测轴，检测轴的方向与可挠部的位移方向平行地配置，第1压敏元件(40)的一个基部(第1基部(40a))被固定在可挠部上，且另一个基部(第2基部(40b))被固定在支承于边缘部(24c)上的第1支承部件(44)上，第2压敏元件(42)的一个基部(第1基部(42a))被固定在边缘部(24c)上，且另一个基部(第2基部(42b))被固定在支承于可挠部上的第2支承部件(46)上。

公开(公告)号：CN101346616A

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200680048588.1

申请日：2006-11-24

申请人： 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司

发明人： 谢尔盖·洛帕京 ,  赫尔穆特·普法伊费尔

IPC分类号： G01L9/00

CPC分类号： G01N29/022 ,  G01L9/0016 ,  G01L9/0022 ,  G01N29/036 ,  G01N2291/02872

摘要： 用于确定和/或监控至少部分气态的介质(7)的至少一个测量变量的方法，利用至少一个机械可振荡单元(1)，其被激励执行机械振荡并且其机械振荡被接收和分析。本发明包括：保存至少一条特征曲线，其对于至少一种气体或混合气体至少描述机械可振荡单元(1)的机械振荡的至少一个特征变量与压力的依赖关系；至少确定机械可振荡单元(1)的机械振荡的特征变量；将确定的特征变量与保存的特征曲线比较；以及根据确定的特征变量与保存的特征曲线的比较，确定介质(7)的测量变量。进一步，本发明涉及一种用于确定和/或监控测量变量的装置。

公开(公告)号：CN1061669A

公开(公告)日：1992-06-03

申请号：CN91109962.X

申请日：1991-10-22

申请人： 住友金属矿山株式会社 ,  拉科姆知识产权有限公司

发明人： 田村幸稔 ,  斯蒂芬·J·莱恩

IPC分类号： G08B13/20

CPC分类号： G08B13/1681 ,  G01L9/0022

摘要： 空气压力变化探测器，包括：一个具有穿孔(1a)或空腔(1a)的基板(1)；一个压电元件(2)，该固定在基板上放置在穿孔之上且形成窄条状形状，其宽度窄于穿孔或空腔的内部宽度；一个由场效型晶体管(9)和漏电阻器(10)组成的阻抗转换电路(8)；一个具有透气孔(5b)的电传导接纳容器(5)。压电元件的输出端(3)被连到场效型晶体管的栅极(9a)上，漏电阻器被连在栅极与压电元件的接地端之间。

公开(公告)号：CN102645301B

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201210135217.4

申请日：2009-07-22

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 渡边润 ,  藤崎昌伸 ,  本山久雄

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L19/02

CPC分类号： G01L9/0022 ,  G01L19/02

摘要： 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器具有：受压单元，其具有挠性部和所述挠性部外侧的周缘区域，所述挠性部的一个主面具有受压面；外壳，其开口部被作为所述一个主面的内侧的另一个主面封闭；以及双音叉型压电振子，其具有连接在所述另一个主面的中央区域的第1基部、第2基部、以及在所述第1基部和所述第2基部之间的振动臂，所述第1基部和所述第2基部的排列方向与所述受压单元的位移方向平行，该压力传感器的特征在于，所述第2基部被通过连接单元连接到所述另一个主面的所述周缘区域，所述连接单元具有隔着所述振动臂从所述第2基部向第1基部侧延伸的一对支承板。

公开(公告)号：CN102439409B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201080023154.2

申请日：2010-05-13

申请人： 通用电气基础设施传感公司

发明人： P·金内尔

IPC分类号： G01L9/00

CPC分类号： G01L9/0013 ,  G01L9/0022

摘要： 公开谐振传感器，其可设置成测量流体压力。该谐振传感器包括：可暴露于流体的膜片；在该膜片上提供的两个支架和具有至少两个梁的谐振器，其中每个梁悬置在这两个支架之间。每个梁的端在超过一个点处附连到对应的支架。通过在超过一个点处附连梁的每端到支架，该支架经受的力矩和反作用力可被平衡使得该支架和膜片由于谐振器梁的振动引起的扭曲减小。因此，该谐振传感器能够提高更精确的测量。

公开(公告)号：CN102016735B

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN200980114167.8

申请日：2009-04-21

申请人： 罗斯蒙特公司

发明人： 罗伯特·C·海德克

IPC分类号： G05B23/02

CPC分类号： G01L9/00 ,  G01H11/08 ,  G01L9/0008 ,  G01L9/0022 ,  G05B11/01

摘要： 一种用于接合至工业过程的过程装置(200)，用于监测或控制所述过程，包括构造为物理地接合至所述工业过程的装置壳体(202)。过程变量传感器(18)构造为测量过程变量，并且接合至该过程变量传感器(18)的测量电路提供与所感测的过程变量相关的输出。压电式换能器(68)提供与所述工业过程中的压力脉动相关的电输出(210)。所述壳体中的电子线路包括构造为接收来自压电传感器的电输出的输入装置。

公开(公告)号：CN102645301A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201210135217.4

申请日：2009-07-22

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 渡边润 ,  藤崎昌伸 ,  本山久雄

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L19/02

CPC分类号： G01L9/0022 ,  G01L19/02

摘要： 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器具有：受压单元，其具有挠性部和所述挠性部外侧的周缘区域，所述挠性部的一个主面具有受压面；外壳，其开口部被作为所述一个主面的内侧的另一个主面封闭；以及双音叉型压电振子，其具有连接在所述另一个主面的中央区域的第1基部、第2基部、以及在所述第1基部和所述第2基部之间的振动臂，所述第1基部和所述第2基部的排列方向与所述受压单元的位移方向平行，该压力传感器的特征在于，所述第2基部被通过连接单元连接到所述另一个主面的所述周缘区域，所述连接单元具有隔着所述振动臂从所述第2基部向第1基部侧延伸的一对支承板。