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公开(公告)号：CN108896513A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810472138.X
申请日：2018-05-17
申请人： 南京大学
CPC分类号： G01N21/47 , G01B11/16 , G01L9/0016 , G01N33/24 , G01N2021/4719
摘要： 本发明涉及一种用于分析地面沉降对管土相互作用影响的试验装置及方法，包括模型箱、土体、管道、地面沉降模拟装置及管土量测装置；地面沉降模拟装置包括水囊、水管、集线器、总水管、开关、调节阀、流量计、集水器和变形协调板；管土量测装置包括分布式传感光纤、OBR背光反射仪、薄膜压力传感器、数据采集仪、管道沉降标、激光位移计、土体沉降标、高像素数码相机和计算机。按沉降类型布置水囊阵列；在预设深度处固定管道；将各测量仪器与计算机相连，通过软件采集数据；将预先配好的土体填筑在模型箱内；水囊排水，直至管道和土体变形基本稳定时，停止采集，保存数据。
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公开(公告)号：CN102439405B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201080022073.0
申请日：2010-05-26
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： G01L1/10
CPC分类号： G01L9/0016 , G01L1/162
摘要： 本发明提供一种物理量传感器，具备梁状的振动体和支撑梁状的振动体的两端的固定部。另外，在梁状的振动体的中央部形成驱动元件，在两端部形成反馈元件。构成为使梁状的振动体进行固有振动，并通过检测振动体的固有振动频率来检测作用于梁状的振动体的物理量。由此，能够以稳定的状态检测作用于物体的应变和载荷等物理量。
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公开(公告)号：CN104034475B
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201410081215.0
申请日：2014-03-07
申请人： 森萨塔科技公司
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L1/146 , G01L1/2243 , G01L7/08 , G01L7/082 , G01L9/0016 , G01L9/0042 , G01L9/0044 , G01L9/0047 , G01L9/0054 , G01L9/0072 , G01L9/0073 , G01L9/0075
摘要： 本发明涉及一种具有自调节特征的压力变换器基体。根据本发明的设备在实施例中包括第一基体。第一基体可以具有用于容纳第一隔膜的第一侧面。第一基体还可以具有第二侧面。第二侧面可以包括多边形凹陷部，其尺寸设定为容纳与第二基体相关的第二隔膜。第一基体和第一隔膜被包含在第一组件中，而第二基体和第二隔膜被含包在第二组件中。第一组件和第二组件可以被包含在堆叠体中，其中第二隔膜的至少一部分设置成配合在该堆叠体中的多边形凹陷部内。
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公开(公告)号：CN102840871A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210212500.2
申请日：2012-06-21
申请人： 横河电机株式会社
CPC分类号： G01L13/025 , G01L9/0008 , G01L9/0016 , G01L9/0048 , G01L13/00 , G01L19/0627 , G01L19/0645 , G01L19/142 , G01L19/147 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014
摘要： 本发明提供一种传感器单元，其具有：陶瓷部件，该陶瓷部件具有第1面以及第2面，它们具有规定厚度而相对；传感器部，其安装在前述第1面侧；多个金属销，它们固定在前述第2面侧；多个内部配线，其贯穿前述陶瓷部件，将前述传感器部和前述金属销连接；以及金属部件，其形成在前述第2面侧的周端部，通过焊接与框体接合。
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公开(公告)号：CN101941669A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010225265.3
申请日：2010-07-07
申请人： 罗姆股份有限公司
发明人： 仲谷吾郎
CPC分类号： G01L9/0016 , G01L9/0022 , H04R19/005
摘要： 本发明提供一种MEMS传感器、硅麦克风以及压力传感器。MEMS传感器包括：贯通地形成开口的半导体基板；与上述开口对置设置，并在该对置方向上能振动的振动膜；以及形成在上述振动膜上的压电元件或应变片。
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公开(公告)号：CN103121657B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201210337866.2
申请日：2012-09-12
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
发明人： 阿尔方斯·德赫
CPC分类号： H04R7/125 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C1/00476 , B81C2201/0167 , G01L9/0016 , H04R1/005 , H04R7/14 , H04R7/24 , H04R19/005 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2440/05
摘要： 本发明提供了一种微机电系统及其制造方法。微机电系统包括膜结构和背板结构。背板结构包括背板材料以及机械地连接到背板材料的至少一个预张紧元件。所述至少一个预张紧元件在背板材料上形成机械张力以便使背板结构沿着远离膜结构的方向弯曲偏转。
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公开(公告)号：CN102840871B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201210212500.2
申请日：2012-06-21
申请人： 横河电机株式会社
CPC分类号： G01L13/025 , G01L9/0008 , G01L9/0016 , G01L9/0048 , G01L13/00 , G01L19/0627 , G01L19/0645 , G01L19/142 , G01L19/147 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014
摘要： 本发明提供一种传感器单元，其具有：陶瓷部件，该陶瓷部件具有第1面以及第2面，它们具有规定厚度而相对；传感器部，其安装在前述第1面侧；多个金属销，它们固定在前述第2面侧；多个内部配线，其贯穿前述陶瓷部件，将前述传感器部和前述金属销连接；以及金属部件，其形成在前述第2面侧的周端部，通过焊接与框体接合。
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公开(公告)号：CN103121657A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201210337866.2
申请日：2012-09-12
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
发明人： 阿尔方斯·德赫
CPC分类号： H04R7/125 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C1/00476 , B81C2201/0167 , G01L9/0016 , H04R1/005 , H04R7/14 , H04R7/24 , H04R19/005 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2440/05
摘要： 本发明提供了一种微机电系统及其制造方法。微机电系统包括膜结构和背板结构。背板结构包括背板材料以及机械地连接到背板材料的至少一个预张紧元件。所述至少一个预张紧元件在背板材料上形成机械张力以便使背板结构沿着远离膜结构的方向弯曲偏转。
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公开(公告)号：CN102243124A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110083271.4
申请日：2011-03-30
申请人： 罗斯蒙德公司
发明人： 安德鲁·J·克洛辛斯基 , 查尔斯·R·威勒克斯
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L9/0016 , G01L13/025 , G01L23/125
摘要： 本发明公开了一种用于感测过程流体的压力的压力传感器，所述压力传感器包括被暴露到过程流体的压力的传感器主体。传感器主体响应于所述压力变形。从传感器主体悬挂的膜片具有响应于传感器主体的变形而改变的张力。膜片的谐振频率被测量。测量的谐振频率指示过程流体的管路压力和隔离填充流体系统的完整性。除测量谐振频率之外，振动模式本身可以用作用于评定传感器健康状态的诊断工具。
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公开(公告)号：CN101346616A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200680048588.1
申请日：2006-11-24
申请人： 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
发明人： 谢尔盖·洛帕京 , 赫尔穆特·普法伊费尔
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01N29/022 , G01L9/0016 , G01L9/0022 , G01N29/036 , G01N2291/02872
摘要： 用于确定和/或监控至少部分气态的介质(7)的至少一个测量变量的方法，利用至少一个机械可振荡单元(1)，其被激励执行机械振荡并且其机械振荡被接收和分析。本发明包括：保存至少一条特征曲线，其对于至少一种气体或混合气体至少描述机械可振荡单元(1)的机械振荡的至少一个特征变量与压力的依赖关系；至少确定机械可振荡单元(1)的机械振荡的特征变量；将确定的特征变量与保存的特征曲线比较；以及根据确定的特征变量与保存的特征曲线的比较，确定介质(7)的测量变量。进一步，本发明涉及一种用于确定和/或监控测量变量的装置。
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