驻极体及其制造方法以及静电感应型转换元件

    公开(公告)号:CN103733285A

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201280036899.1

    申请日:2012-07-26

    IPC分类号: H01G7/02 B32B7/02 B32B27/30

    摘要: 本发明提供表现高电荷密度且高温高湿下的电荷密度的稳定性良好的驻极体以及具备该驻极体的静电感应型转换元件。该驻极体是向具有树脂层(A)和与树脂层(A)直接层叠的树脂层(B)的层叠体中注入有电荷的驻极体,其特征在于,树脂层(A)包含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物,树脂层(B)不含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物而包含含氟聚合物,树脂层(B)以与空气接触的方式配置于最外层,树脂层(B)的总厚度为所述树脂层(A)的总厚度的5~55%。此外,所述静电感应型转换元件具备该驻极体。

    电容式麦克风
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101048016A

    公开(公告)日:2007-10-03

    申请号:CN200710005408.8

    申请日:2007-02-08

    IPC分类号: H04R19/01 H04R19/04

    CPC分类号: H04R19/016 H01G7/021

    摘要: 本发明在于,提供一种制造率优良、小型高感度的驻极体电容式麦克风(驻极体电容式麦克风)。其构成为上部电极23和下部电极13在中空部16相向的空气隙电容构造,电极间形成有作为电荷保持材料的驻极体膜20。驻极体电容式麦克风10,和半导体衬底11一体形成,驻极体膜20,由全氟代非晶质氟素聚合体树脂构成。由这样的材料构成的驻极体膜20,由于能够在衬底11上通过旋转涂布法形成,因此容易薄膜化,而且,能够以在半导体制造工艺所使用的氟系气体容易地进行蚀刻法,因此,能够进行细微加工,缩小电容器面积。

    用于制造多层驻极体部件的方法

    公开(公告)号:CN106463262A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580024072.2

    申请日:2015-03-12

    IPC分类号: H01G7/02 H04R19/01

    摘要: 本发明涉及用于制造一种多层驻极体结构导电材料构成的电极(14)的载体(12);将第一驻极体层(16)施加到所述电极(14)上;将第二驻极体层(18)施加到所述第一驻极体层(16)上以构造所述多层驻极体结构(10);用载流子(22)给所述第二驻极体层(18)的表面(20)或表面附近的体积区域充电;使所述多层驻极体结构(10)经受处理,其中,使所述载流子(22)流动到所述第二驻极体层(18)的体积中并且保持在所述第一驻极体层(16)与所述第二驻极体层(18)之间的边界区域中。(10)的方法,包括以下的方法步骤:提供具有由