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公开(公告)号：CN104303033B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380014817.8
申请日：2013-02-07
申请人： MKS仪器公司
发明人： G·A·布鲁克尔
IPC分类号： G01L21/32
摘要： 一种电离计，在控制由操作在高压下的溅射得到沉积的位置而测量压力，所述电离计包括至少一个发射电子的电子源，和限定电离体积的阳极。电离计还包括用于收集在电离体积中由电子与气体分子和原子之间的碰撞所形成的离子的收集器电极，以提供气体压力输出。电子源可以被定位在电离体积的端部处，使得电子源到溅射离开收集器电极和包层表面的原子束的暴露最小化。可替换地，电离计可以包括电离体积的外部的第一遮挡件，所述第一遮挡件被定位在电子源和收集器电极之间，并且可选地，处于包层和电子源之间的第二遮挡件，使得溅射离开包层的原子受到抑制不在电子源上沉积。
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公开(公告)号：CN101726390A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910206302.3
申请日：2009-10-13
申请人： ITT制造企业公司
摘要： 本发明涉及用于电离真空计的分子屏。本发明公开了一种用于测量真空中气体密度的系统，其包括量计、用于容纳量计的壳体以及紧固到壳体外表面上的磁体。磁体是柔性磁条，且布置在壳体的外表面周围。量计包括沿着壳体的管段纵向延伸的栅极绝缘体杆，磁体紧固到邻近栅极绝缘体杆的壳体的外表面上并沿栅极绝缘体杆的横向定向。磁体是柔性磁条，且夹具将磁体紧固到壳体的外表面上。
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公开(公告)号：CN105489465A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610022654.3
申请日：2016-01-14
申请人： 成都国光电气股份有限公司
发明人： 陈旗
摘要： 本发明公开了一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件；所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室；所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室；采用所述真空规管其测量范围可以达到105Pa-10-7Pa,拓展了冷阴极电离规管的测量上限。
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公开(公告)号：CN101006339B
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200480043755.4
申请日：2004-08-06
申请人： 华瑞科学仪器(上海)有限公司
摘要： 本发明提供了一种一体化的光离子化传感器(10)，它不仅包括离子化室(36)、紫外线灯(32)、驱动电极(40，42)、离子检测器(48)，还包括灯驱动电路(44)、偏置电路(54)等通用电路。本发明的光离子化传感器包括一支撑件(230)，将外壳内的空间分割成两个部分。前述检测元件位于一个部分内，而通用电路被集成在电路板(95)上，位于另一部分内。本发明对电路板所处的空间灌封闭粘结剂，使其避免与外界接触。本发明为传感器外壳的顶盖设计了单个大圆孔、栅状和网状通气窗口，使得传感器既适用于气泵抽运模式，又适用于气体扩散模式。同时，特殊的通气窗口允许在不拆卸传感器的情况下，无需使用气泵，便能清除UV灯(32)的光学窗口(34)上的污染。本发明还在电路板上集成了光敏传感器(20)，以便在不拆卸传感器的情况下了解UV灯(32)的工作情况。
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公开(公告)号：CN107958830A
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201711263033.5
申请日：2017-12-04
申请人： 成都国光电气股份有限公司
IPC分类号： H01J41/02
CPC分类号： H01J41/02
摘要： 本发明公开了一种八脚复合真空规管，包括八脚陶瓷片、电极支持杆组件、管基引脚组件、低真空测量规管和灯丝，八脚陶瓷片一侧安装有电极支持杆组件，八脚陶瓷片另一侧安装有管基引脚组件，两个收集极与管基第一脚、管基第七脚对应连接，两个加速极与管基第二脚、管基第八脚对应连接，两个灯丝支持杆与管基第四脚、管基第五脚对应连接，两个低真空测量规管支持杆与管基第三脚、管基第六脚对应连接，管基第一脚与管基第七脚连接，管基第二脚与管基第八脚电连接，八脚陶瓷片上设有管芯，管芯上连接有灯丝，两个加速极之间的连线与两个收集极之间的连线相互垂直呈十字状。本发明具有高、低真空测试范围，具有性能稳定、测试精度高、反映时间快等优点。
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公开(公告)号：CN107731651A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710898068.X
申请日：2017-09-28
申请人： 中国航发动力股份有限公司
摘要： 本发明属于真空度测量系统的保护装置，具体是一种用于延长电离规管使用寿命的保护装置，包括弯折管，弯折管包括至少两个依次连接的连接管，相邻连接管之间的连接部设有金属滤网，处于弯折管一端的连接管的自由端与设备真空度检测端口连接，且该连接管与设备真空度检测端口之间设有金属滤网；处于弯折管另一端的连接管的自由端与真空电离规管连接端口连接，且该连接管与真空电离规管连接端口之间设有金属滤网，通过该装置能够阻止导电离子被吸入电离规管，能够延长电离规管的使用寿命。
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公开(公告)号：CN101990630B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200980112555.2
申请日：2009-02-19
申请人： 布鲁克机械公司
发明人： 葛拉多·A··布鲁克尔
摘要： 一种用以测量压力和减少溅射产量的电离计包括产生电子的至少一个电子源。所述电离计还包括收集由所述电子与气体分子之间的碰撞所形成的离子的集极电极。所述电离计还包括阳极。相对于集极电极的偏置电压的阳极偏置电压经配置以在预定压力下切换以使溅射碰撞的产量减小。
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公开(公告)号：CN101563601B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200680055975.8
申请日：2006-10-08
申请人： 华瑞科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： G01N27/66
摘要： 一种用于检测气体浓度的光离子化传感器及其检测方法。所述检测器包含第一偏置电极和第一测量电极。第一偏置电极与第一偏置电路相连，用于吸收具有一种电荷符号的粒子，第一测量电极与第一测量电路相连，用于吸收具有相反电荷符号的粒子。紫外线灯内惰性气体的成份、光学窗口的材料以及第一测量电极和第一偏置电极中低电位电极的材料被选择成，使得由紫外线灯产生并透过光学窗口的紫外光在射入到低电位电极的表面时产生光电效应，并且驱动电极对紫外线灯施加足够大的高压交流信号，以便从低电位电极的表面溢出的电子数量足以与堆积在低电位电极附近三维空间内的正离子复合，消除因正离子堆积而引起的浓度测量饱和现象。
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公开(公告)号：CN104303033A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201380014817.8
申请日：2013-02-07
申请人： MKS仪器公司
发明人： G·A·布鲁克尔
IPC分类号： G01L21/32
摘要： 一种电离计，在控制由操作在高压下的溅射得到沉积的位置而测量压力，所述电离计包括至少一个发射电子的电子源，和限定电离体积的阳极。电离计还包括用于收集在电离体积中由电子与气体分子和原子之间的碰撞所形成的离子的收集器电极，以提供气体压力输出。电子源可以被定位在电离体积的端部处，使得电子源到溅射离开收集器电极和包层表面的原子束的暴露最小化。可替换地，电离计可以包括电离体积的外部的第一遮挡件，所述第一遮挡件被定位在电子源和收集器电极之间，并且可选地，处于包层和电子源之间的第二遮挡件，使得溅射离开包层的原子受到抑制不在电子源上沉积。
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公开(公告)号：CN101627302B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200880006881.0
申请日：2008-04-02
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G01N27/62
CPC分类号： H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
摘要： 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP1及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP2，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP1；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。
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