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公开(公告)号：CN101103515B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200680001971.1
申请日：2006-01-04
申请人： 波士顿大学托管委员会
发明人： P·莫汉蒂 , A·盖达茨海 , G·佐尔法格哈克哈尼 , R·I·巴德蔡
CPC分类号： B81B3/0018 , H03H9/2431 , H03H9/2447 , H03H9/485 , H03H9/505 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： 机械振荡器(20)具有尺寸在亚微米范围内的组件以便产生千兆赫兹范围内的共振模式振荡。主元件(21)与较小的、亚微米元件(22)相耦合以便产生大振幅千兆赫兹频率振荡，利用已经可用的技术来检测该振荡。机械结构可以根据包括梁和环的多种几何形状而形成，并且利用与静电、磁和热相关的力，以及给油器激励技术而激励。机械结构可以布置为阵列以用于诸如放大以及混频的应用，并且机械结构对于震动和辐射环境没有电的或者光的对等物那么灵敏。
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公开(公告)号：CN101253685A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200680031499.6
申请日：2006-05-19
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： H03H9/2405 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2431 , H03H9/462 , H03H9/505 , H03H2009/02354 , H03H2009/0244 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527
摘要： 以机械方式耦合的MEMS谐振器102a、b、c、d被安排成N×M阵列。每个谐振器都包括拉长梁段106a、b、c、d。每个拉长梁段都通过弯曲段108a、b、c、d在末端连接到另一个拉长梁段，从而形成一个几何形状(例如圆角正方形)。每个谐振器都通过谐振器耦合段104耦合到阵列的至少一个其它相邻谐振器，这个谐振器耦合段104可能布置在相邻谐振器的拉长梁段之间。这些谐振器按照组合的拉长(或呼吸)模式和弯折模式以相同的频率振荡。阵列的谐振器可以包括弯曲段中的波节点114(也就是在谐振器的振荡过程中，谐振器静止的部分)。这些波节点最好是锚定谐振器的位置。
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公开(公告)号：CN101861700B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200880116544.7
申请日：2008-11-12
申请人： NXP股份有限公司
发明人： 金·范乐 , 约瑟夫·T·M·范贝克
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/02244 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H9/505 , H03H2009/02496 , H03H2009/2442
摘要： 一种谐振器，包括谐振体(34)、位于谐振体的第一侧上的第一连接器(30)和位于谐振体的相反的第二侧上的第二连接器(32)，第一连接器(30)连接在谐振体和第一固定架之间，第二连接器(32)连接在谐振体和第二固定架之间。驱动装置，将谐振体(34)驱动至谐振模式，其中谐振体(34)沿侧向方向振荡，从而压缩第一和第二连接器之一，同时伸展第一和第二连接器中的另一个。
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公开(公告)号：CN101401303B
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN200780008457.5
申请日：2007-03-08
申请人： NXP股份有限公司
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02259 , H03H3/0076 , H03H9/2405 , H03H9/505 , H03H2009/02503
摘要： 本发明涉及具有至少一种谐振器模式形状的MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：具有表面(12)的衬底(2)和谐振器结构(1)，其中，谐振器结构(1)为衬底(2)的一部分，其特征在于谐振器结构(1)由第一闭合沟槽(3)和第二闭合沟槽(3)限定，第一沟槽(3)位于第二沟槽(3)内，以便在衬底(2)内形成管状结构(1)，并且仅沿与表面(12)平行的方向从衬底(2)释放谐振器结构(1)。本发明还涉及制造这种MEMS谐振器的方法。
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公开(公告)号：CN101103515A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200680001971.1
申请日：2006-01-04
申请人： 波士顿大学托管委员会
发明人： P·莫汉蒂 , A·盖达茨海 , G·佐尔法格哈克哈尼 , R·I·巴德蔡
CPC分类号： B81B3/0018 , H03H9/2431 , H03H9/2447 , H03H9/485 , H03H9/505 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： 机械振荡器(20)具有尺寸在亚微米范围内的组件以便产生千兆赫兹范围内的共振模式振荡。主元件(21)与较小的、亚微米元件(22)相耦合以便产生大振幅千兆赫兹频率振荡，利用已经可用的技术来检测该振荡。机械结构可以根据包括梁和环的多种几何形状而形成，并且利用与静电、磁和热相关的力，以及给油器激励技术而激励。机械结构可以布置为阵列以用于诸如放大以及混频的应用，并且机械结构对于震动和辐射环境没有电的或者光的对等物那么灵敏。
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公开(公告)号：CN101223692B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200680026296.8
申请日：2006-09-19
申请人： 松下电器产业株式会社
发明人： 桥村昭范
CPC分类号： H03H9/505 , H03H9/02244 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： 本发明公开了一种微型化且高度集成的共振器和滤波器。在共振器中，每个共振器、支持部和连结部的一部分相互共用。这种相互构造根据需要而选择性改变，且本发明提供了一种可以由同一滤波器器件选择多个频率的结构。通过组合具有不同尺寸和形状的振动器、支持部和连结部来提供这种可以选择多个频率的滤波器器件。
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公开(公告)号：CN101946410A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200880126943.1
申请日：2008-11-26
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H03H9/46
CPC分类号： H03B5/30 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H9/505 , H03H2009/0233 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02503
摘要： 布置成N×M MEMS阵列结构的谐振器包括由弯曲/圆角部分连接的基本平直延伸的梁部分，并经由耦合部分机械耦合到阵列的至少一个相邻谐振器，每个细长梁部分经由弯曲/圆角部分在远端连接到另一细长梁部分，形成几何形状，耦合部分设置于相邻谐振器的细长梁部分之间。在被诱发时，谐振器在组合的伸长/呼吸和弯曲模式下以基本相同的频率振动，(即，梁部分表现出像伸长/呼吸那样和像弯曲那样的运动)。一个或多个阵列结构的谐振器可以在结构的弯曲部分的一个或多个区域中包括一个或多个节点(即，基本静止和/或几乎不运动)，这些是将谐振器/阵列锚定到基底的适当和/或优选位置。
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公开(公告)号：CN101401303A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200780008457.5
申请日：2007-03-08
申请人： NXP股份有限公司
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02259 , H03H3/0076 , H03H9/2405 , H03H9/505 , H03H2009/02503
摘要： 本发明涉及具有至少一种谐振器模式形状的MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：具有表面(12)的衬底(2)和谐振器结构(1)，其中，谐振器结构(1)为衬底(2)的一部分，其特征在于谐振器结构(1)由第一闭合沟槽(3)和第二闭合沟槽(3)限定，第一沟槽(3)位于第二沟槽(3)内，以便在衬底(2)内形成管状结构(1)，并且仅沿与表面(12)平行的方向从衬底(2)释放谐振器结构(1)。本发明还涉及制造这种MEMS谐振器的方法。
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公开(公告)号：CN101223692A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200680026296.8
申请日：2006-09-19
申请人： 松下电器产业株式会社
发明人： 桥村昭范
CPC分类号： H03H9/505 , H03H9/02244 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： 本发明公开了一种微型化且高度集成的共振器和滤波器。在共振器中，每个共振器、支持部和连结部的一部分相互共用。这种相互构造根据需要而选择性改变，且本发明提供了一种可以由同一滤波器器件选择多个频率的结构。通过组合具有不同尺寸和形状的振动器、支持部和连结部来提供这种可以选择多个频率的滤波器器件。
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公开(公告)号：CN101946410B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN200880126943.1
申请日：2008-11-26
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H03H9/46
CPC分类号： H03B5/30 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H9/505 , H03H2009/0233 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02503
摘要： 布置成N×M MEMS阵列结构的谐振器包括由弯曲/圆角部分连接的基本平直延伸的梁部分，并经由耦合部分机械耦合到阵列的至少一个相邻谐振器，每个细长梁部分经由弯曲/圆角部分在远端连接到另一细长梁部分，形成几何形状，耦合部分设置于相邻谐振器的细长梁部分之间。在被诱发时，谐振器在组合的伸长/呼吸和弯曲模式下以基本相同的频率振动，(即，梁部分表现出像伸长/呼吸那样和像弯曲那样的运动)。一个或多个阵列结构的谐振器可以在结构的弯曲部分的一个或多个区域中包括一个或多个节点(即，基本静止和/或几乎不运动)，这些是将谐振器/阵列锚定到基底的适当和/或优选位置。
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