公开(公告)号：CN107709229B

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201680037046.8

申请日：2016-04-21

申请人： 中央硝子株式会社

发明人： 长友真圣 ,  池田晋也 ,  柴山茂朗

IPC分类号： C01B7/24

摘要： 本发明公开的是一种五氟化碘的制造方法，其包括如下工序：向具有包含碘的液相的五氟化碘的反应槽供给七氟化碘气体，并使碘与七氟化碘反应来制造五氟化碘。在该方法中，能够安全且稳定地实现五氟化碘的高速生成。

公开(公告)号：CN110799666A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201880041939.9

申请日：2018-05-31

申请人： 中央硝子株式会社

发明人： 长友真圣 ,  八尾章史

IPC分类号： C23C16/44 ,  C01G39/04 ,  C01G41/04 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

摘要： 本发明的金属氟氧化物的处理方法的特征在于使通式MO(6-x)/2Fx(0＜x＜6、M＝W或Mo)所示的金属氟氧化物于0℃以上且不足400℃的温度下与含氟气体接触，通过化学反应转换为通式MF6(M＝W或Mo)所示的六氟化金属。于本处理方法中，能够不使用等离子体产生装置而将金属氟氧化物转换为高蒸气压的物质，能够用于氟化金属制造装置的清洁或成膜装置的清洁。

公开(公告)号：CN109502617A

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201811056906.X

申请日：2018-09-11

申请人： 中央硝子株式会社

发明人： 大森启之 ,  古谷俊太 ,  长友真圣 ,  八尾章史 ,  高木敦 ,  塚本将功

IPC分类号： C01F7/56

摘要： 本发明涉及碱性氯化铝溶液和其制造方法。本发明的目的在于，提供：能以低成本生产具有高的絮凝性能和高的保存稳定性的碱性氯化铝溶液的制造方法。本发明的解决手段为使用碱性氯化铝溶液的制造方法，该制造方法包括：对于包含由[Al2(OH)nCl(6-n)]m(0

公开(公告)号：CN110799666B

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN201880041939.9

申请日：2018-05-31

申请人： 中央硝子株式会社

发明人： 长友真圣 ,  八尾章史

IPC分类号： C23C16/44 ,  C01G39/04 ,  C01G41/04 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

摘要： 本发明的金属氟氧化物的处理方法的特征在于使通式MO(6‑x)/2Fx(0＜x＜6、M＝W或Mo)所示的金属氟氧化物于0℃以上且不足400℃的温度下与含氟气体接触，通过化学反应转换为通式MF6(M＝W或Mo)所示的六氟化金属。于本处理方法中，能够不使用等离子体产生装置而将金属氟氧化物转换为高蒸气压的物质，能够用于氟化金属制造装置的清洁或成膜装置的清洁。

公开(公告)号：CN110832106B

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN201880044231.9

申请日：2018-07-24

申请人： 中央硝子株式会社

发明人： 八尾章史 ,  长友真圣 ,  池田晋也

IPC分类号： C23C8/08 ,  F16J12/00 ,  F17C1/10 ,  F17C13/00

摘要： 本发明的已完成填充的容器的制造方法的特征在于，包括如下工序：准备金属制的保存容器的工序，所述金属制的保存容器至少内表面由锰钢构成、且该内表面的表面粗糙度Rmax为10μm以下；氟化工序，在50℃以下，使上述保存容器的内表面与包含选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第1含氟气体的气体接触；置换工序，对上述保存容器的内部用非活性气体进行置换；和，填充工序，在上述保存容器的内部填充选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第2含氟气体。

公开(公告)号：CN112533873A

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN201980052339.7

申请日：2019-07-12

申请人： 中央硝子株式会社

发明人： 菊池亚纪应 ,  武田雄太 ,  长友真圣 ,  八尾章史

IPC分类号： C01G41/00 ,  C01G41/04

摘要： 本发明的一实施方式的六氟化钨的制造方法包括如下工序：第1工序，使具有氧化覆膜的钨、与氟气或非活性气体在反应器内接触，得到去除了氧化覆膜的钨，所述氟气或非活性气体包含50体积ppm以上且50体积％以下的氟化氢；及第2工序，使第1工序中去除了氧化覆膜的钨、与含氟气体接触而得到六氟化钨。

公开(公告)号：CN111491893A

公开(公告)日：2020-08-04

申请号：CN201880081620.9

申请日：2018-10-04

申请人： 中央硝子株式会社

发明人： 长友真圣 ,  八尾章史 ,  上岛修平 ,  菊池亚纪应

IPC分类号： C01G41/04

摘要： 本发明提供一种使钨与含氟气体在800℃以上进行反应而制造六氟化钨的方法。本发明的方法中，与边将反应温度控制为400℃以下边由含氟气体与金属钨得到六氟化钨的现有技术相比，能够增加单位反应容器中的制造量。反应容器中，优选装备有用于将反应容器的内壁面温度保持为400℃以下的制冷剂夹套。

公开(公告)号：CN110832106A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201880044231.9

申请日：2018-07-24

申请人： 中央硝子株式会社

发明人： 八尾章史 ,  长友真圣 ,  池田晋也

IPC分类号： C23C8/08 ,  F16J12/00 ,  F17C1/10 ,  F17C13/00

摘要： 本发明的已完成填充的容器的制造方法的特征在于，包括如下工序：准备金属制的保存容器的工序，所述金属制的保存容器至少内表面由锰钢构成、且该内表面的表面粗糙度Rmax为10μm以下；氟化工序，在50℃以下，使上述保存容器的内表面与包含选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第1含氟气体的气体接触；置换工序，对上述保存容器的内部用非活性气体进行置换；和，填充工序，在上述保存容器的内部填充选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第2含氟气体。

公开(公告)号：CN107709229A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680037046.8

申请日：2016-04-21

申请人： 中央硝子株式会社

发明人： 长友真圣 ,  池田晋也 ,  柴山茂朗

IPC分类号： C01B7/24

摘要： 本发明公开的是一种五氟化碘的制造方法，其包括如下工序：向具有包含碘的液相的五氟化碘的反应槽供给七氟化碘气体，并使碘与七氟化碘反应来制造五氟化碘。在该方法中，能够安全且稳定地实现五氟化碘的高速生成。