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公开(公告)号：CN118347481A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410422066.3
申请日：2024-04-09
申请人： 重庆天箭惯性科技股份有限公司
IPC分类号： G01C19/5684 , G01C19/5677 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00
摘要： 本发明属于振动陀螺技术领域，具体涉及一种环形陀螺谐振子结构及其制造方法，包括基底、中心键合在基底上的环形谐振子、以及在环形谐振子内外环绕分布的固定电极组件，环形谐振子包括振动圆环，固定电极组件包括在振动圆环外环绕的外电极组，外电极组包括多个间隔设置的驱动电极和检测电极，驱动电极与振动圆环之间的间距大于检测电极与振动圆环之间的间距，本发明通过减小检测电容间距，可以提高陀螺灵敏度，本发明提出的不等电极间距驱动和检测的环形陀螺谐振子结构，可以在加宽驱动电极初始间距，提高驱动振幅的同时，减小检测电容间距，从两个方面同时提升了陀螺灵敏度，且保持了良好的线性度，同时避免了吸合效应导致的可靠性问题。
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公开(公告)号：CN107003129B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201580064373.8
申请日：2015-10-20
申请人： 索尼公司
IPC分类号： G01C19/5677 , B81B3/00 , H01L41/113
摘要： 【课题】提供一种能够高精度地检测多轴方向上的角速度的传感器装置、陀螺仪传感器和电子设备。【解决方案】根据本发明实施方式的传感器装置包括振动器单元、环形基部、多个连结部和布线层。所述布线层包括多个驱动布线和多个检测布线。多个驱动布线分别连接到第一驱动电极和第二驱动电极，并且彼此相邻并平行。多个检测布线分别连接到第一检测电极和第二检测电极，并且彼此相邻并平行。所述布线层分别设置在所述多个连结部中的每一个上，将所述多个端子部分别与所述多个压电驱动单元、第一压电检测单元和第二压电检测单元电连接。
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公开(公告)号：CN109556590A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811301113.X
申请日：2018-11-02
申请人： 湖南天羿领航科技有限公司
IPC分类号： G01C19/5677 , G01C19/5691
摘要： 本发明公开了一种谐振环/多谐振环六轴惯性传感器，谐振环六轴惯性传感器包括谐振环和贴近谐振环布置的电极单元，所述电极单元包括XY轴加速度测量单元、Z轴加速度测量单元、XY轴角速率测量单元、Z轴角速率测量单元，电极均与谐振环间隙布置，其中XY轴为谐振环所在平面，Z轴为谐振环的轴线所在平面。多谐振环六轴惯性传感器包括嵌套布置的两个以上的谐振环六轴惯性传感器。本发明能够实现利用单一谐振环来检测三轴角速率和三轴加速度，具有检测精度高、结构简单紧凑、体积小的优点。
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公开(公告)号：CN102906539B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201180025327.9
申请日：2011-05-19
申请人： 硅石传感系统有限公司
IPC分类号： G01C19/5677
CPC分类号： G01P3/44 , G01C19/567 , G01C19/5677
摘要： 描述了一种具有改良老化和磁滞性能的角速度传感器。该传感器可以是通过驱动电路驱动的环型电路，所述传感器还包括具有相应信号敏感元件的初级和次级部分。初级敏感元件信号的增益和所述传感器的所述初级部分的电容相对于所述次级敏感元件的增益和所述传感器的所述次级部分的电容而被控制。控制电子元件被提供以使来自各个通道的相关信号匹配。通过这种方式，克服了用于形成所述传感器的材料的温度磁滞和老化的影响。
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公开(公告)号：CN103620343B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280030119.2
申请日：2012-06-28
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： G01C19/5677 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC分类号： G01P9/04 , G01C19/5684
摘要： 实现一种振子及振动陀螺仪，该振子具有位置固定的节点，且不论厚度及宽度尺寸的调整如何，共振频率都低，该振动陀螺仪能够使用该振子而以高的灵敏度检测角速度。振动陀螺仪(11)的振子(1)具备圆形环状部(2)、矩形环状部(3)、连结部(4A～4D)。矩形环状部(3)配置在圆形环状部(2)的外侧。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与矩形环状部(3)之间连结。矩形环状部(3)由直线状的梁部(3A～3D)构成。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与梁部(3A～3D)的中心部连结。
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公开(公告)号：CN102980564A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210547003.8
申请日：2012-12-17
IPC分类号： G01C19/5677
摘要： 本发明公开了一种钟形振子式角速率陀螺谐振子振型测量装置，包括环形电极单元、信号变换单元和信息处理单元。钟形振子振动时，由环形电极单元敏感钟形振子周向各对应节点振幅所对应的电容变化。信号变换单元对电容变化信号转换成相应的振幅电压信号输出到信息处理单元，经过信息处理单元对各振幅的融合处理，绘制出钟形振子的振型。本发明的系统结构简单、性能优良、精度高，特别是引入了环形电极单元，在不接触钟形振子的同时，有效地得到钟形振子本身的振型参数。
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公开(公告)号：CN107782299B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN201610744480.1
申请日：2016-08-27
申请人： 深迪半导体(绍兴)有限公司
IPC分类号： G01C19/5677
摘要： 本发明公开了一种两轴MEMS陀螺仪，包括对称设置于锚点左右两侧且位于X轴方向上的一组X轴质量块，以及对称设置于所述锚点上下两侧且位于Y轴方向上的一组Y轴质量块；所述X轴质量块、所述Y轴质量块以及所述锚点之间通过若干根弹簧梁相连。上述两轴MEMS陀螺仪，利用一套驱动部件便能够实现对于X轴和Y轴的角速度检测，从而节省了陀螺仪的内部空间，降低了成本。
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公开(公告)号：CN114964194A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202110959346.4
申请日：2021-08-20
申请人： 株式会社东芝
IPC分类号： G01C19/5677
摘要： 提供能提高精度的传感器以及电子装置。根据实施方式，传感器包括：传感器部，其包括第1传感器元件和第2传感器元件；和电路部。第1传感器元件包括第1支承部、支承于第1支承部并能够进行振动的第1可动部、第1电极以及第2电极。第1电极能够输出与第1可动部的振动相应的第1信号。从第1支承部朝向第1电极的方向沿着第1方向。第2电极能够输出与第1可动部的振动相应的第2信号。从第1支承部朝向第2电极的方向沿着与第1方向交叉的第2方向。第2传感器元件包括第2支承部、支承于第2支承部并能够进行振动的第2可动部、第3电极以及第4电极。
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公开(公告)号：CN109900262B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201910276698.2
申请日：2019-04-08
申请人： 瑞声科技(新加坡)有限公司
IPC分类号： G01C19/5677 , G01C19/5684
摘要： 本发明提供了一种陀螺仪，包括环状支撑板和振动件，振动件包括环状部和多个沿环状部周向间隔环绕设置的弹性连接部，每个弹性连接部都包括间隔设于环状部外周的弧形杆体、连接于弧形杆体与环状部外周壁之间的第一杆体和从弧形杆体延伸固定于环状支撑板上的第二杆体，各弧形杆体沿一个与环状部同圆心的圆周间隔分布。本发明提供的陀螺仪，振动件架设于环状支撑板上，当受到外界的作用力使得振动件发生转动时，电流发生变化，检测到角速度；设置多个弹性连接部既保持了转动的弹性又可以抑制不必要的振动；且弹性连接部设置有与环状部同圆心的弧形杆体，使得整个振动件结构无锐角，在保持弹性且抗非必要的振动性能的同时，更容易制造。
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公开(公告)号：CN111998841A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010923397.7
申请日：2020-09-04
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01C19/5677
摘要： 本发明属于半球谐振陀螺仪领域；具体涉及一种半球谐振子芯轴振动检测电路及装置；所述振动检测电路包括在半球谐振子芯轴的周围设置有多对叉指电极，每对叉指电极与半球谐振子芯轴局部构成一个检测电容；每个所述检测电容均连接有一个电压检测电路；所述电压检测电路包括运算放大器和一个运放电容，所述运放电容的两端分别连接到所述运算放大器的反相端和输出端上；所述检测电容的其中一个叉指电极施加恒定电压，另一个叉指电极与运算放大器的反相端连接，所述运算放大器的同相端接地；所述运算放大器的输出端输出运放输出电压，通过该电压是否变换来判断芯轴是否发生振动；本发明结构简单，能够无接触的检测到芯轴的振动情况。
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