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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107003129A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580064373.8
申请日：2015-10-20
Applicant: 索尼公司
IPC: G01C19/5677 , B81B3/00 , H01L41/113
CPC classification number: G01C19/5656 , G01C19/5677 , G01P15/18 , H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/1132
Abstract: 【课题】提供一种能够高精度地检测多轴方向上的角速度的传感器装置、陀螺仪传感器和电子设备。【解决方案】根据本发明实施方式的传感器装置包括振动器单元、环形基部、多个连结部和布线层。所述布线层包括多个驱动布线和多个检测布线。多个驱动布线分别连接到第一驱动电极和第二驱动电极，并且彼此相邻并平行。多个检测布线分别连接到第一检测电极和第二检测电极，并且彼此相邻并平行。所述布线层分别设置在所述多个连结部中的每一个上，将所述多个端子部分别与所述多个压电驱动单元、第一压电检测单元和第二压电检测单元电连接。
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公开(公告)号：CN104236534A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410247140.9
申请日：2014-06-05
Applicant: 索尼公司
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: H03H9/21 , G01C19/5607 , H03H9/02259 , H03H9/2484 , H03H9/2489
Abstract: 本公开涉及一种压电装置及电子设备，其中，压电装置包括振子、压电驱动单元、以及第一压电检测器。振子包括第一表面、沿第一轴方向形成的第一凹槽、以及平行于第一凹槽形成的第二凹槽。压电驱动单元包括被设置在第一凹槽中并在正交于第一轴方向以及平行于第一表面的第二轴方向中彼此相对的第一电极对，以及被设置在第一电极对之间并且能够使得振子振动的第一压电体。第一压电检测器包括被设置在第二凹槽中并在第二轴方向彼此相对的第二电极对，以及被设置在第二电极对之间并且能够检测振子的振动的第二压电体。
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公开(公告)号：CN107003129B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201580064373.8
申请日：2015-10-20
Applicant: 索尼公司
IPC: G01C19/5677 , B81B3/00 , H01L41/113
Abstract: 【课题】提供一种能够高精度地检测多轴方向上的角速度的传感器装置、陀螺仪传感器和电子设备。【解决方案】根据本发明实施方式的传感器装置包括振动器单元、环形基部、多个连结部和布线层。所述布线层包括多个驱动布线和多个检测布线。多个驱动布线分别连接到第一驱动电极和第二驱动电极，并且彼此相邻并平行。多个检测布线分别连接到第一检测电极和第二检测电极，并且彼此相邻并平行。所述布线层分别设置在所述多个连结部中的每一个上，将所述多个端子部分别与所述多个压电驱动单元、第一压电检测单元和第二压电检测单元电连接。
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公开(公告)号：CN104236534B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201410247140.9
申请日：2014-06-05
Applicant: 索尼公司
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: H03H9/21 , G01C19/5607 , H03H9/02259 , H03H9/2484 , H03H9/2489
Abstract: 本公开涉及一种压电装置及电子设备，其中，压电装置包括振子、压电驱动单元、以及第一压电检测器。振子包括第一表面、沿第一轴方向形成的第一凹槽、以及平行于第一凹槽形成的第二凹槽。压电驱动单元包括被设置在第一凹槽中并在正交于第一轴方向以及平行于第一表面的第二轴方向中彼此相对的第一电极对，以及被设置在第一电极对之间并且能够使得振子振动的第一压电体。第一压电检测器包括被设置在第二凹槽中并在第二轴方向彼此相对的第二电极对，以及被设置在第二电极对之间并且能够检测振子的振动的第二压电体。
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公开(公告)号：CN105247331A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201480023472.7
申请日：2014-03-20
Applicant: 索尼公司
IPC: G01L9/00 , G01C19/5769 , G01C19/5783 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/1132 , B81B7/008 , B81B2201/02 , B81B2201/0207 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/0264 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , B81C1/00238 , B81C2203/0792 , G01C19/5769 , G01C19/5783 , G01L9/0073 , H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L25/162 , H01L41/0474 , H01L41/0533 , H01L41/113 , H01L41/1138 , H01L2224/16225
Abstract: 本发明的目的是：提供能够实现更小尺寸和更低成本的传感器装置和电子设备。本发明的技术方案是：根据本发明实施例的传感器装置设置有传感器元件和半导体元件。所述半导体元件包括第一表面、第二表面和通路孔。所述第一表面是非能动性表面且包括第一端子，所述传感器元件被安装在所述第一端子上。所述第二表面是能动性表面且包括第二端子，所述第二端子用于外部连接。所述通路孔将所述第一表面和所述第二表面相互电连接。
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