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公开(公告)号：CN116878726A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310561674.8
申请日：2023-05-18
申请人： 成都睿宝电子科技有限公司
摘要： 本发明涉及真空测量变送器技术领域，公开了一种电容薄膜电阻复合式变送器，包括：外壳，所述外壳的一端设有开口，所述开口处可拆卸连接有封闭板；测量组件，包括与所述封闭板固定连接的测量筒，所述测量筒靠近所述封闭板的一侧固定连接有两端均为开口设置的连接筒，所述连接筒贯穿所述封闭板延伸至所述外壳的外侧；所述测量筒的内部设置有电阻测量腔、电容薄膜测量腔和连接腔，所述电阻测量腔和电容薄膜测量腔分别通过所述连接腔与位于所述测量筒内部的第一测量腔连通。本发明可以使得一种变送器可以通用于低真空环境和中真空环境。
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公开(公告)号：CN115979505A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211441892.X
申请日：2022-11-17
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本申请公开一种集成纳米森林的皮拉尼传感器及其制备方法，涉及传感器。集成纳米森林的皮拉尼传感器，其特征在于，包括：皮拉尼传感单元和纳米森林结构；其中，所述纳米森林结构设置在所述皮拉尼传感单元上方或所述皮拉尼传感单元内；所述纳米森林结构用于增加气体分子与所述皮拉尼传感单元的有效接触面积，纳米森林结构具有较大的孔隙率，可以增大气体分子的平均自由程，实现更多的气体热传导，在气压较小时，仍能通过气体热传导反应气压的大小，扩展了真空度检测的下限，随着气体热传导占比的增加，也提高了器件真空检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN111219598A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010014534.5
申请日：2020-01-07
申请人： 浙江大学 , 中车长江车辆有限公司
摘要： 本发明公开了一种真空绝热储罐真空度检测方法，包括检测绝热材料外表面的温度；根据绝热材料外表面温度与真空夹层内真空度之间的关系，得待检测真空绝热储罐的真空夹层内真空度数值；或者根据绝热材料外表面温度与真空夹层内真空度之间的关系，确定温度阈值，并将得到的温度与温度阈值进行比较，输出结果。本发明还公开了一种真空绝热储罐真空度检测装置。本发明采用以绝热储罐内多层绝热材料外壁面温度来间接表征绝热储罐内真空度的方法，能够方便准确的检测绝热储罐内的真空度。该方法操作简单，无需使用昂贵的真空规，避免了安装真空规导致的额外漏热，同时可实现远程监测。
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公开(公告)号：CN102478444A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201010564053.8
申请日：2010-11-26
申请人： 益科博能源科技(上海)有限公司
IPC分类号： G01L21/10
摘要： 本发明提供一种真空管路真空度检测方法，包括以下步骤：将温度传感器固定设置于所述真空管路上；所述温度传感器检测所述真空管路管壁的温度参数；所述温度传感器将所述温度参数传递给数据处理中心；所述数据处理中心根据温度参数判断真空管路的真空度是否合格，若是，则不处理；若否，则启动抽真空装置，对所述真空管路进行抽真空。本发明真空管路真空度检测方法所需的步骤和装置简单，适合对真空度检测精度要求不太高的情况下使用，节约了成本。
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公开(公告)号：CN111219598B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202010014534.5
申请日：2020-01-07
申请人： 浙江大学 , 中车长江车辆有限公司
摘要： 本发明公开了一种真空绝热储罐真空度检测方法，包括检测绝热材料外表面的温度；根据绝热材料外表面温度与真空夹层内真空度之间的关系，得待检测真空绝热储罐的真空夹层内真空度数值；或者根据绝热材料外表面温度与真空夹层内真空度之间的关系，确定温度阈值，并将得到的温度与温度阈值进行比较，输出结果。本发明还公开了一种真空绝热储罐真空度检测装置。本发明采用以绝热储罐内多层绝热材料外壁面温度来间接表征绝热储罐内真空度的方法，能够方便准确的检测绝热储罐内的真空度。该方法操作简单，无需使用昂贵的真空规，避免了安装真空规导致的额外漏热，同时可实现远程监测。
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公开(公告)号：CN101084422A
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：CN200580042652.0
申请日：2005-11-29
申请人： 布鲁克机械公司
摘要： 一种用以借由组合离子化真空计与至少一其它的真空感测器来测量气体压力的方法及装置。耦接于真空计的非依电性记忆体含有依据工厂校准而定的各个个别感测器唯一的校准参数。该非依电性记忆体可含有用于一热敏真空感测器的校准参数，以补偿由该离子化真空计所产生的温度梯度。该等校准参数是当离子化真空计开启及关闭时所判断的校准数据的函数。该非依电性记忆体可储存该真空计的一视窗的测试数据，该非依电性记忆体更新于预定的时间间隔及回应于一诸如错误事件的事件，以协助调查真空计故障或失效的原因。
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公开(公告)号：CN1329720C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN03807821.X
申请日：2003-03-11
申请人： 瓦克技术股份公司
发明人： 罗兰德·卡普斯
摘要： 本发明涉及一种装置和一种方法，用于确定带有由薄膜(2)包封绝热芯(1)的抽真空绝热板内(9)的气体压力，依据本发明的装置包括装入绝热芯和包封膜之间的设置，带有起到散热片(3)(AL，Co，Fe，陶瓷)作用的物体，其热导率和与体积相关的热容量大于绝热芯的相关值，还带有设置在绝热芯和包封膜之间的测试层(4)(0.3mm的塑料，玻璃纤维无纺布)，该测试层(4)具有确定的热导率，该热导率作为抽真空绝热板(9)内气体压力的函数变化，通过设置在抽真空绝热板内由包封膜覆盖的测试装置从外部置放或者压制一传感装置，该装置具有与测试装置(散热片)温差明显的物体(5)(镀铜钢，78℃热电偶)，从而引起受测试层在取决于绝热板内部气体压力情况下热导率变化影响的热流，从测量技术上掌握其数值。散热片(3)可以作为吸气材料用容器的底部件构成。
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公开(公告)号：CN114577392A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210214855.9
申请日：2019-02-25
申请人： 万机仪器公司
摘要： 本发明涉及热传导测量仪和测量气压的方法。热传导测量仪对腔室内的气压进行测量。传感器线和电阻器形成联接在功率输入端与地之间的电路，其中，传感器线延伸进入腔室中并且经由端子连接至电阻器。控制器根据端子处的电压和功率输入端处的电压来调节功率输入，以使传感器线达到目标温度。基于调节后的功率输入，控制器可以确定腔室内的气压的度量值。
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公开(公告)号：CN102607765B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201210079066.5
申请日：2012-03-23
申请人： 北京信息科技大学
发明人： 刘泉
IPC分类号： G01L21/10
摘要： 本发明公开了一种真空玻璃检测系统，包括多层玻璃检测台、玻璃传输装置、玻璃托提机构与自动检控装置。本发明中采用多层玻璃检测台，可多层同时对真空玻璃进行检测，从而大大缩小真空玻璃检测系统的长度，节约场地面积和成本，符合真空玻璃生产节奏，提高真空玻璃生产效率，本发明通过玻璃托提机构方便地向多层玻璃检测台取送真空玻璃，结构简单、使用可靠，制作成本低廉，易于推广，有很强的市场价值。
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公开(公告)号：CN102928153A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210473448.6
申请日：2012-11-20
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明提供一种三维真空传感器及其制备方法，该方法制备的热电堆和加热器位于不同的平面上，热电堆位于加热器的下面，可以进一步实现热电型真空传感器的微型化；采用干法腐蚀释放结构，可以避免湿法腐蚀释放过程中存在的结构层与衬底黏连的问题，提高了器件的成品率；增加了硅盖板，即增加了盖板和加热器之间的气体热传导，有利于提高热传导真空计在较高气体压强端的灵敏度。此外，本发明中所采用的半导体衬底、热电堆和微加热器的材料、以及采用的制备工艺都是半导体工艺中常用的，可以很容易与现有CMOS工艺相兼容。
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