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公开(公告)号:CN112002799B
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202010921361.5
申请日:2020-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L41/187 , H01L41/257 , H01L41/318 , H01L41/39 , C01G9/02
Abstract: 一种铁‑锂离子对掺杂改性的高压电系数氧化锌基压电薄膜及其制备方法,涉及一种高压电系数的掺杂氧化锌压电薄膜的制备方法。是要解决现有方法无法使ZnO薄膜的压电性能得到优化提高的问题。该氧化锌基压电薄膜材料,化学通式为Zn1‑2x(FexLix)O。方法:一、将二水合醋酸锌和乙醇胺溶解于乙二醇甲醚中,搅拌得到前驱体溶液;二、将九水合硝酸铁和二水合醋酸锂加入前驱体溶液中,搅拌得到溶液;三、将溶液陈化形成胶体;四、利用溶胶凝胶旋涂法将胶体在Si衬底上涂覆薄膜;五、热解;六、通过重复步骤四和步骤五;七、将薄膜进行晶化处理;八、将薄膜进行电场极化处理,至室温,得到极化后的薄膜。本发明用于无铅压电陶瓷领域。
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公开(公告)号:CN108352443B
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN201680049774.0
申请日:2016-08-26
Applicant: 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 , 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L41/43 , H01L41/318 , H01L21/316 , H01L21/8246 , H01L27/105 , H01L41/187
Abstract: 本发明包括下述的工序:涂布PZT铁电体膜形成用液体组合物的工序;将涂布液体组合物而得的膜干燥的工序;对已干燥的膜在含氧气氛下以150~200℃的温度进行紫外线照射的工序;以及,将涂布工序、干燥工序及紫外线照射工序进行1次或2次以上之后,在含氧气氛下以0.5℃/秒以上的速度升温、或在不含氧气氛下以0.2℃/秒以上的速度升温,并保持于400~500℃的温度,由此将经紫外线照射的铁电体膜前体膜煅烧而结晶的工序。其中,设定液体组合物的每1次的涂布量,使得每涂布1次的铁电体膜的厚度为150nm以上,且在紫外线照射时供给臭氧。
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公开(公告)号:CN112119103A
公开(公告)日:2020-12-22
申请号:CN201980032446.3
申请日:2019-05-13
Applicant: 学校法人关西大学 , 大阪有机化学工业株式会社
IPC: C08F220/22 , H01L41/193 , H01L41/318
Abstract: 本发明公开了有机铁电材料用聚合物材料及有机铁电材料。该聚合物材料为(甲基)丙烯酸类聚合物,包含为主要单体单元的(甲基)丙烯酸酯以及主要单体单元以外的(甲基)丙烯酸类单体单元,主要单体单元为在侧链包含键合于氧羰基的末端侧的饱和或不饱和烃骨架的(甲基)丙烯酸酯单体单元,该烃骨架中,在相对于该氧羰基的β碳原子上具有氢原子,在β碳原子上和/或比其更靠近末端侧的1个或2个以上的碳原子上键合有选自卤原子、氰基、氧代基和硝基的1个以上的吸电子基团以取代氢原子,主要单体单元相对于所有(甲基)丙烯酸类单体单元的比例小于80摩尔%。
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公开(公告)号:CN106133932B
公开(公告)日:2018-11-27
申请号:CN201580015351.2
申请日:2015-03-20
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L41/187 , C01G25/00 , H01L41/318
Abstract: 本发明的掺杂Ce的PZT系压电膜形成用组合物含有PZT系前体、二醇及聚乙烯吡咯烷酮等,所述PZT系前体含有构成复合金属氧化物的各金属原子。组合物中的金属原子比Pb:Ce:Zr:Ti满足(1.00~1.28):(0.005~0.05):(0.40~0.55):(0.60~0.45),且以Zr与Ti的金属原子比的合计比例成为1的比例含有PZT系前体。组合物100质量%中所占的PZT系前体的浓度以氧化物浓度计为17~35质量%,组合物100质量%中的二醇的比例为16~56质量%,聚乙烯吡咯烷酮等的比例相对于PZT系前体1摩尔,以单体换算为0.01~0.25摩尔。
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公开(公告)号:CN108780839A
公开(公告)日:2018-11-09
申请号:CN201780016688.4
申请日:2017-03-14
Applicant: 赛尔科技有限公司
Inventor: 彼得·马迪洛维奇 , 高松远 , 苏珊·特罗利尔-麦金斯特里 , 特伦特·博尔曼
IPC: H01L41/187 , H01L41/318 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0805 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 一种压电薄膜元件,其包括第一电极、第二电极和位于它们之间的一个或更多个压电薄膜,其中第一电极是具有平均晶粒尺寸大于50nm的铂金属电极,并且其中邻近铂金属电极的压电薄膜包括具有多个压电薄膜层的叠层,其中接触铂金属电极的压电薄膜层包括为或大约为PbZrxTi1-xO3(其中0
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公开(公告)号:CN105393338A
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201480041141.6
申请日:2014-08-27
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L21/316 , C01G33/00 , H01L21/8246 , H01L27/105 , H01L41/318
CPC classification number: H01L41/1876 , H01L21/02197 , H01L21/02282 , H01L28/56 , H01L28/75 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种膜中的各组成大致均匀,且压电特性及介电特性较高的PNbZT薄膜的制造方法。本发明的PNbZT薄膜的制造方法,其包含如下工序:准备满足组成式PbzNbxZryTi1-yO3且锆及钛的浓度比Zr/Ti不同的多种溶胶-凝胶液,其中,0<x≤0.05、0.40≤y≤0.60及1.05≤z≤1.25;以浓度比Zr/Ti阶段性变小的方式从多种溶胶-凝胶液中选择规定的溶胶-凝胶液,在基板上将溶胶-凝胶液的涂布及临时烧结重复进行两次以上,由此在基板(12)上层叠浓度比Zr/Ti阶段性变小的两层以上的临时烧结膜(11a~11c);及将多个临时烧结膜(11a~11c)一并烧成,由此得到单一的PNbZT薄膜(11)的工序。
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公开(公告)号:CN114901863A
公开(公告)日:2022-08-12
申请号:CN202180007823.5
申请日:2021-02-04
Applicant: 阿库斯蒂斯有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/08 , C23C16/18 , C23C16/458 , C30B25/16 , H01L41/318
Abstract: 一种用于形成半导体膜的设备包括水平流反应器,该水平流反应器包括上部和下部,该上部和下部可移动地彼此耦接以在打开位置中彼此分离,并且以在闭合位置中配合在一起以形成反应器腔室。中央注入器柱可以穿透水平流反应器的上部进入到反应器腔室中,中央注入器柱被配置成在闭合位置中允许金属有机前体进入到反应器腔室中。加热的金属有机前体管线可以耦接到中央注入器柱并且被配置成将包含在中央注入器柱上游的加热的金属有机前体管线中的低蒸气压金属有机前体蒸气加热到约70摄氏度至200摄氏度的温度范围。
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公开(公告)号:CN112216788A
公开(公告)日:2021-01-12
申请号:CN202011099236.7
申请日:2020-10-14
Applicant: 北京化工大学
IPC: H01L41/37 , H01L41/318 , H01L41/18
Abstract: 一种制备气凝胶/PZT纳米粉体压电复合材料的方法,属于压电材料技术领域。该方法首先采用溶胶‑凝胶法制备PZT前驱体凝胶,随后将PZT凝胶烘干后进行退火处理得到PZT陶瓷,随后将一定量的正硅酸乙酯、乙醇、草酸溶液按一定比例配制成气凝胶前驱液,在前驱液水解过程中加入PZT陶瓷粉末,经过凝胶、老化和置换等步骤后,复合凝胶在经过CO2超临界干燥后,得到SiO2/PZT复合气凝胶。本发明中PZT分散于气凝胶孔隙中,利用气凝胶材料的立体三维网络结构,当气凝胶外表面受到力的作用时,网络骨架就会将力均匀的传递给每个PZT陶瓷粉末,由此产生压电效应,而且可解决传统压电材料质量大、灵敏度低等缺点。本发明通过复合材材料设计,克服了压电陶瓷脆性的局限性。
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公开(公告)号:CN106575700B
公开(公告)日:2020-06-19
申请号:CN201580038020.0
申请日:2015-04-27
Applicant: 友技科株式会社
Inventor: 木岛健
IPC: H01L41/319 , C01G25/00 , C01G55/00 , C04B35/491 , H01L41/187 , H01L41/318 , H01L21/316
Abstract: 以提高压电特性为课题。本发明的一个方式是铁电体陶瓷,其特征在于,具备Pb(Zr1‑ATiA)O3膜和形成在所述Pb(Zr1‑ATiA)O3膜上的Pb(Zr1‑xTix)O3膜,所述A以及所述x满足下述式1~式3。0≤A≤0.1…式1;0.1<x<1…式2;A<x…式3。
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公开(公告)号:CN106104826B
公开(公告)日:2018-09-14
申请号:CN201580015871.3
申请日:2015-03-27
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L41/318 , C04B35/491 , H01B3/12 , H01L41/187
Abstract: 本发明涉及一种用于形成PZT系压电膜的组合物,该PZT系压电膜由掺杂Mn的复合金属氧化物所构成,所述组合物含有PZT系前体、二醇及聚乙烯吡咯烷酮,该PZT系前体包含构成所述复合金属氧化物的各金属原子,且所述组合物以如下比例含有所述PZT系前体:将所述组合物中的金属原子比表示为Pb:Mn:Zr:Ti时,Pb满足1.00~1.20、Mn满足0.002以上且小于0.05、Zr满足0.40~0.55、Ti满足0.45~0.60,且所述Zr与所述Ti的金属原子比的合计比例成为1。
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